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本發(fā)明公開了一種硅通孔結(jié)構(gòu)的制造方法，包括以下步驟：將硅片的厚度減薄至 5 微米至 20 微米；去除硅片表面的所有絕緣層；在硅片的導(dǎo)電區(qū)表面和絕緣區(qū)表面制作摻雜掩膜，以對(duì)導(dǎo)電區(qū)和絕緣區(qū)分別進(jìn)行粒子摻雜，絕緣區(qū)與導(dǎo)電區(qū)摻雜的粒子的極性相反；在粒子摻雜完成后去除摻雜掩膜；在導(dǎo)電區(qū)表面覆蓋金屬電極；在硅片的表面除金屬電極之外的區(qū)域覆蓋絕緣層。本發(fā)明的方法制造工藝簡(jiǎn)單，可避免刻蝕、絕緣處理等工藝對(duì)硅片的破壞，并能夠提高制造硅通孔結(jié)構(gòu)的成品率。本發(fā)明還公開了一種硅通孔結(jié)構(gòu)。

型號(hào)： VMC330 產(chǎn)品特點(diǎn)： 1、整機(jī)各大鑄件皆采用高級(jí)HT250鑄鐵鑄造，均經(jīng)過完全退火處理，消除殘留內(nèi)應(yīng)力，久不變形。 2、導(dǎo)軌為臺(tái)灣Hiwin上銀直線導(dǎo)軌，采用完全支撐設(shè)計(jì)，確保切削穩(wěn)定性、滑道精度及機(jī)械壽命。 3、三軸C3級(jí)精密滾珠絲桿,經(jīng)中周波熱處理及精密研磨，各軸施以預(yù)拉減少熱變形，定位及重覆精度高。 4、所有機(jī)器出廠經(jīng)雷尼紹激光干涉儀精確檢測(cè)，確保三軸精度背隙,保證定位精度。 5、三軸均采用伺服驅(qū)動(dòng)，傳動(dòng)平穩(wěn)、精度高、扭力大。 6、三軸軌道以防塵防屑伸縮護(hù)罩包覆，保護(hù)軌道及滾珠螺桿免與切削水、殘料進(jìn)入造成磨損。 7、標(biāo)配Xendoll 工業(yè)級(jí)數(shù)控系統(tǒng)，可選配其他數(shù)控系統(tǒng)。 8、主軸為BT30，傳遞切削扭矩大，配置8工位刀庫，換刀時(shí)間短，換刀動(dòng)作安全可靠，可極大提高復(fù)雜產(chǎn)品的加工效率及加工精度。 9、主軸電機(jī)采用2.2KW伺服主軸電機(jī)及驅(qū)動(dòng)，功率大，主軸能定向換刀可剛性攻牙。 10、電子手輪三檔可調(diào)極大地方便操作和對(duì)刀。 11、立柱內(nèi)加平衡配重塊，主軸上下運(yùn)行平穩(wěn)。 12、全封閉式的鈑金護(hù)罩,確保工作區(qū)的清潔及工作安全。 13、配置間歇潤(rùn)滑系統(tǒng)，全防護(hù)結(jié)構(gòu)及配置氣動(dòng)拉刀系統(tǒng)。 14、集成水箱及水泵系統(tǒng)，程序或手動(dòng)控制加工冷卻液的開關(guān)。 15、空壓檢測(cè)開關(guān)，在氣壓低于額定壓力時(shí)報(bào)警，確保加工及換刀的安全。 16、加工殘碴收集裝置，清潔方便、簡(jiǎn)單；整機(jī)外觀美觀大方，結(jié)構(gòu)緊湊。 17、可選配數(shù)控分度頭（第四軸），加工更復(fù)雜的零件，數(shù)控分度精度零回差，定位精度達(dá)0.005mm。   適合行業(yè)： 工廠小零件批量生產(chǎn)加工、可連續(xù)24小時(shí)工作，可自動(dòng)換8把刀、具備銑削、鉆孔、攻牙等功能，可把機(jī)器搬到辦公室，性價(jià)比超高，讓中小企業(yè)、數(shù)控培訓(xùn)、科研單位用得起的設(shè)備。   技術(shù)參數(shù)   工作臺(tái)尺寸   690mm*210mm   工作臺(tái)最大承載   100KG   X軸行程   330mm   Y軸行程   220mm   Z軸行程   310mm   控制系統(tǒng)   Xendoll 工業(yè)級(jí)數(shù)控系統(tǒng)（可選配其他數(shù)控系統(tǒng)）   主軸電機(jī)類型   伺服主軸(可剛性攻絲)   主軸電機(jī)功率   2.2KW   主軸電機(jī)轉(zhuǎn)速   100-6000轉(zhuǎn)/分鐘   主軸錐度   BT30   定位精度   0.02mm   重復(fù)定位   0.015mm   快速移動(dòng)速度   10 m/min   X、Y、Z軸電機(jī)扭矩   2.4 N.m   X、Y、Z伺服電機(jī)功率   750W   自動(dòng)換刀系統(tǒng)形式   氣動(dòng)換刀   換刀時(shí)間   5s   刀庫數(shù)量   8工位   T型槽數(shù)量-寬-間距   3-16mm-63mm   主軸端面至工作臺(tái)面   90-400mm   主軸中心至立柱導(dǎo)軌面   280 mm   輸入電壓   380V/50Hz   潤(rùn)滑系統(tǒng)   自動(dòng)間歇潤(rùn)滑   使用氣壓Mpa   0.6Mpa   凈重/毛重   900KG/1000KG   外型尺寸   1400mm*1650mm*1900mm   數(shù)控分度頭(第四軸)   支持?jǐn)?shù)控分度頭（選配）   精度檢測(cè)設(shè)備   采用雷尼紹激光干涉儀精確檢測(cè)   隨機(jī)配件： BT30刀柄1把、 BT30刀柄拉釘1個(gè)、鎖頭1個(gè)、銑刀1把、鎖刀座1個(gè)、鉤頭扳手1個(gè)、快速平口鉗1個(gè)、螺絲刀2把、T型螺母4個(gè)、外六角螺栓4個(gè)、平墊4個(gè)、雙頭扳手1把、防震墊鐵4個(gè)、內(nèi)六角扳手1套、說明書1套。（配置不同或有細(xì)微區(qū)別，以實(shí)際為準(zhǔn)）   可選配件： 快速平口鉗、組合壓板、6件套進(jìn)口硬質(zhì)合金刀、7件套HSS鍵槽銑刀、Z軸對(duì)刀器、偏心式尋邊器、BT30鎖頭套件、BT30鎖刀座、0.6Mpa空壓機(jī)、數(shù)控分度頭（第四軸）等。（配置不同或有細(xì)微區(qū)別，以實(shí)際為準(zhǔn)）

?  成果簡(jiǎn)介：具有對(duì)新型高硬超高強(qiáng)度鋼、不銹鋼、新型復(fù)合材料、鎢合金、硅鋁合金和灰鑄鐵的精密高效切削工藝和刀具成套技術(shù)。開發(fā)了能對(duì)FMS的刀具管理和可靠性壽命進(jìn)行預(yù)報(bào)，對(duì)金剛石涂層刀具薄膜與基體結(jié)合強(qiáng)度、新型刀具材料切削性能進(jìn)行分析的系統(tǒng)軟件以及高速孔加工刀具CAD軟件系統(tǒng)。切削高硬超高強(qiáng)鋼的速度可達(dá)150m/min，切削不銹鋼的速度可達(dá)200m/min，提高生產(chǎn)效率30%。?  項(xiàng)目來源：自行開發(fā)?  技術(shù)領(lǐng)

具有對(duì)新型高硬超高強(qiáng)度鋼、不銹鋼、新型復(fù)合材料、鎢合金、硅鋁合金和灰鑄鐵的精密高效切削工藝和刀具成套技術(shù)；開發(fā)有對(duì)FMS的刀具管理和可靠性壽命預(yù)報(bào)、金剛石涂層刀具薄膜與基體結(jié)合強(qiáng)度、新型刀具材料切削性能分析的系統(tǒng)軟件；高速孔加工刀具CAD軟件系統(tǒng)。切削高硬超高強(qiáng)鋼的速度可達(dá)150m/min，切削不銹鋼的速度可達(dá)200m/min。提高生產(chǎn)效率30%。

多自由度精密位移平臺(tái)由壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，包含傳感器、驅(qū)動(dòng)器和控制器等部件，是精密儀器運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的核心部分，也是精密加工設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備、微電子制造檢測(cè)設(shè)備、測(cè)量?jī)x器、印刷設(shè)備、生物醫(yī)療設(shè)備、自動(dòng)化生產(chǎn)線的關(guān)鍵組件。其壓電馬達(dá)具有高分辨率、小尺寸、低能耗等特點(diǎn)，其運(yùn)動(dòng)控制部分采用先進(jìn)的EtherCAT（通用超高速以太網(wǎng)現(xiàn)場(chǎng)總線）方案，使系統(tǒng)不僅更簡(jiǎn)潔、更靈活，還具有更好的實(shí)時(shí)性。

一、項(xiàng)目簡(jiǎn)介團(tuán)隊(duì)依托西安交通大學(xué)航空航天學(xué)院機(jī)械結(jié)構(gòu)強(qiáng)度與震動(dòng)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室組建，以學(xué)院副院長(zhǎng)、實(shí)驗(yàn)室主任徐明龍為帶頭人，經(jīng)過十余年的積累，在壓電驅(qū)動(dòng)原理、驅(qū)動(dòng)方案、驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)控制等方向取得了豐碩的研究成果與深厚的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。形成了多自由度精密作動(dòng)平臺(tái)，大行程高精度作動(dòng)器件、驅(qū)動(dòng)控制算法與硬件三個(gè)方面系列化成果，在壓電驅(qū)動(dòng)的精密作動(dòng)領(lǐng)域能夠提供國際領(lǐng)先的壓電精密驅(qū)動(dòng)解決方案。二、多自由度精密驅(qū)動(dòng)平臺(tái)1.二自由度精密組東平臺(tái)在衛(wèi)星光通信中，兩自由度精確指向調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)用于快速調(diào)整角度的精密偏轉(zhuǎn)定位機(jī)構(gòu)，它是用于精密瞄準(zhǔn)，相對(duì)于傳統(tǒng)光學(xué)伺服系統(tǒng)，其精度和帶寬都有大幅度提高，彌補(bǔ)了傳統(tǒng)光學(xué)系統(tǒng)慣量大、帶寬窄的缺陷，因此這種機(jī)構(gòu)在軍事、航空航天、光學(xué)工程以及精密檢測(cè)等領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。本團(tuán)隊(duì)采用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，設(shè)計(jì)了小體積直驅(qū)型高帶寬壓電直驅(qū)的精指向執(zhí)行機(jī)構(gòu)兩自由度精-- 30 --西安交通大學(xué)國家技術(shù)轉(zhuǎn)移中心確指向調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)。該機(jī)構(gòu)利用單個(gè)壓電堆直接驅(qū)動(dòng)，不引入放大機(jī)構(gòu)，通過單軸下一對(duì)壓電堆推-拉”工作模式實(shí)現(xiàn)鏡面偏轉(zhuǎn)。該機(jī)構(gòu)采用直驅(qū)作動(dòng)方式，與位移放大式執(zhí)“行機(jī)構(gòu)相比，該設(shè)計(jì)很大程度上減

團(tuán)隊(duì)依托西安交通大學(xué)航空航天學(xué)院機(jī)械結(jié)構(gòu)強(qiáng)度與震動(dòng)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室組建，以學(xué)院副院長(zhǎng)、實(shí)驗(yàn)室主任徐明龍為帶頭人，經(jīng)過十余年的積累，在壓電驅(qū)動(dòng)原理、驅(qū)動(dòng)方案、驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)控制等方向取得了豐碩的研究成果與深厚的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。形成了多自由度精密作動(dòng)平臺(tái)，大行程高精度作動(dòng)器件、驅(qū)動(dòng)控制算法與硬件三個(gè)方面系列化成果，在壓電驅(qū)動(dòng)的精密作動(dòng)領(lǐng)域能夠提供國際領(lǐng)先的壓電精密驅(qū)動(dòng)解決方案。二、多自由度精密驅(qū)動(dòng)平臺(tái)1.二自由度精密組東平臺(tái)在衛(wèi)星光通信中，兩自由度精確指向調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)用于快速調(diào)整角度的精密偏轉(zhuǎn)定位機(jī)構(gòu)，它是用于精密瞄準(zhǔn)，相對(duì)于傳統(tǒng)光學(xué)伺服系統(tǒng)，其精度和帶寬都有大幅度提高，彌補(bǔ)了傳統(tǒng)光學(xué)系統(tǒng)慣量大、帶寬窄的缺陷，因此這種機(jī)構(gòu)在軍事、航空航天、光學(xué)工程以及精密檢測(cè)等領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。本團(tuán)隊(duì)采用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，設(shè)計(jì)了小體積直驅(qū)型高帶寬壓電直驅(qū)的精指向執(zhí)行機(jī)構(gòu)兩自由度精-- 30 --西安交通大學(xué)國家技術(shù)轉(zhuǎn)移中心確指向調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)。該機(jī)構(gòu)利用單個(gè)壓電堆直接驅(qū)動(dòng)，不引入放大機(jī)構(gòu)，通過單軸下一對(duì)壓電堆推-拉”工作模式實(shí)現(xiàn)鏡面偏轉(zhuǎn)。