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本發(fā)明公開了一種基于 CMP 的機(jī)器人磨拋系統(tǒng)，包括六軸機(jī)器人、放置工件的工件夾、對需要拋 光工件進(jìn)行檢測并三維重構(gòu)的輪廓檢測單元、帶拋光墊的磨輪、安裝磨輪的基座、以及主控制器，所述 六軸機(jī)器人自由端部設(shè)有帶伺服電機(jī)的電主軸，工件夾上方設(shè)有能向工件噴 CMP 拋光液的拋光液噴射 裝置，工件夾安裝在所述電主軸上，所述主控制器控制輪廓檢測單元、六軸機(jī)器人、電主軸

一種多點(diǎn)接觸模式下的大面積納米壓印硅模具加工方法，它將硅(100)單晶片置于多微球的多點(diǎn)接觸板垂直下方位置，再使硅片與多點(diǎn)接觸板兩者垂直相對運(yùn)動至發(fā)生接觸，并達(dá)到一定接觸載荷F；使多點(diǎn)接觸板和硅片按照既定軌跡相對運(yùn)動，進(jìn)行刻劃；刻劃后，將硅片放入質(zhì)量分?jǐn)?shù)為15～25％的KOH溶液中腐蝕一段分鐘，即可得到具有預(yù)先設(shè)定結(jié)構(gòu)的納米壓印硅模具。該方法在多點(diǎn)接觸模式下進(jìn)行，可以方便地控制所加工納米壓印硅模具的圖案、排列方式等；刻劃過程中硅片與多點(diǎn)接觸板始終保持平行狀態(tài)。該方法的設(shè)備和原材料成本低，操作簡便、步驟簡單，能一次性完成大面積的硅(100)單晶片納米壓印模具加工，具有明顯的低成本、高效率的特點(diǎn)。

本項目突破了機(jī)理模型與工況數(shù)據(jù)混合驅(qū)動的航空/航天復(fù)雜薄壁曲面零件全流程加工精度/效率/能耗預(yù)測技術(shù)，提出了零件全流程加工智能工藝優(yōu)化決策方法，開發(fā)了具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的智能加工產(chǎn)線工藝全流程智能決策和優(yōu)化軟件系統(tǒng)。 一、項目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、成果簡介 本項目突破了機(jī)理模型與工況數(shù)據(jù)混合驅(qū)動的航空/航天復(fù)雜薄壁曲面零件全流程加工精度/效率/能耗預(yù)測技術(shù)，提出了零件全流程加工智能工藝優(yōu)化決策方法，開發(fā)了具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的智能加工產(chǎn)線工藝全流程智能決策和優(yōu)化軟件系統(tǒng)。 1、提出機(jī)理模型和工況數(shù)據(jù)混合驅(qū)動的航空/航天復(fù)雜薄壁零件全流程加工精度/效率/能耗高效高精預(yù)測算法，突破全流程加工工藝智能優(yōu)化與決策技術(shù)。 2、開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)的智能加工產(chǎn)線工藝全流程智能決策和優(yōu)化軟件系統(tǒng)，實現(xiàn)能耗監(jiān)測/DFM/CAM/CAPP等工藝設(shè)計軟件核心算法完全自主可控。

本實用新型公開了一種用于軸類零件在裝配或加工中實現(xiàn)翻轉(zhuǎn)的裝置。包括氣爪機(jī)構(gòu)和翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，傳送鏈上沿傳送方向依次設(shè)置有用于控制軸類零件前進(jìn)和停止的氣爪機(jī)構(gòu)和翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括兩個底座、兩根豎直導(dǎo)桿、水平導(dǎo)桿和導(dǎo)向桿，兩根豎直導(dǎo)桿下部分別插裝在兩側(cè)的底座上；豎直導(dǎo)桿上部固定安裝有水平導(dǎo)桿，兩側(cè)的水平導(dǎo)桿相對布置，兩側(cè)的水平導(dǎo)桿之間套接有導(dǎo)向桿；底座底部側(cè)壁開有槽口，槽口內(nèi)裝有用于防止軸類零件過度翻轉(zhuǎn)的彈簧片。本實用新型能有效的保證零件的翻轉(zhuǎn)，減少了操作工位，同時也減少工作設(shè)備，結(jié)構(gòu)簡單，而且不會占用太多空間，適用于各種軸類零件，降低了成本，大大提高了生產(chǎn)效率。

本發(fā)明涉及一種大型復(fù)雜金屬表面等離子體與脈沖放電復(fù)合拋 光加工裝置，目的是解決常規(guī)金屬表面精密加工和拋光方法的不足及 加工和拋光效率低、易產(chǎn)生加工應(yīng)力和表層損傷等問題。該裝置包括 射頻電源、射頻電源匹配器、高壓直流脈沖電源、脈沖電源極性調(diào)節(jié) 裝置、高壓直流脈沖電源阻抗、等離子體炬、加工保護(hù)罩、控制電路 和聯(lián)動機(jī)構(gòu)；本發(fā)明是在大氣壓下對金屬的表面的精密加工和拋光， 不需要真空室和特制的拋光液，可降低設(shè)備成本并擴(kuò)大其使用范圍。 加工效率是傳統(tǒng)拋光方法的幾倍，并且是無應(yīng)力加工，無表面和亞表 層損傷、無表面污染，拋光工件的表面粗糙度可達(dá)到 Ra-0.2μm。 

非金屬軟材料3D工件加工，比如毛氈、軟汽車內(nèi)飾件等 高速智能復(fù)合材料的五軸聯(lián)動精密加工設(shè)備

成果的背景及主要用途： 該成果屬于高端裝備制造業(yè)領(lǐng)域，內(nèi)容涉及數(shù)控技術(shù)創(chuàng)新與自主數(shù)控系統(tǒng)及其產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，是在已完成天津市數(shù)控系統(tǒng)技術(shù)重點(diǎn)攻關(guān)項目成果的基礎(chǔ)上，通過進(jìn)一步深化研究取得的。實施期限為 5 年，自 2006 年 10 月至 2011 年 12 月。該成果針對復(fù)雜數(shù)控裝備的集成監(jiān)控、可重構(gòu)數(shù)控系統(tǒng)流水線架構(gòu)和三級加工自優(yōu)化與控制等方面進(jìn)行系統(tǒng)的研究。 技術(shù)原理與工藝流程簡介： （1）針對數(shù)控系統(tǒng)內(nèi)多任務(wù)調(diào)度及實時并行化執(zhí)行的特點(diǎn)，提出基于可重構(gòu)的數(shù)控流水線架構(gòu)。該架構(gòu)由數(shù)控主控流水線線程、驅(qū)動程序和數(shù)控微代碼實時執(zhí)行單元構(gòu)成數(shù)控流水線體系，可實現(xiàn)軟件乃至于硬件的多重可重構(gòu)。 （2）針對數(shù)控系統(tǒng)因功能集成造成的核心運(yùn)動控制實時性差、結(jié)構(gòu)復(fù)雜等問題，提出一種新的多層次集成監(jiān)控數(shù)控的系統(tǒng)架構(gòu)。該監(jiān)控系統(tǒng)架構(gòu)通過底層數(shù)控系統(tǒng)監(jiān)控層、監(jiān)控管理層、遠(yuǎn)程診斷監(jiān)控層進(jìn)行分級式地故障分析與診斷，實現(xiàn)數(shù)控裝備的監(jiān)控與維護(hù)。 （3）提出一種具有三級加工自優(yōu)化功能的智能控制方法，實現(xiàn)通過數(shù)控系統(tǒng)對數(shù)控機(jī)床的智能控制。 技術(shù)水平及專利與獲獎情況： 該成果在國內(nèi)外首次提出并研究基于可重構(gòu)、多層次集成監(jiān)控和三級加工自優(yōu)化的數(shù)控流水線架構(gòu)，并開發(fā)了全新的 2-6 軸聯(lián)動控制可重構(gòu)數(shù)控系統(tǒng)，已獲得三項國家發(fā)明專利和兩項軟件著作權(quán)，并發(fā)表重要論文 12 篇。經(jīng)專家組鑒定，達(dá)到了國際領(lǐng)先的水平。 應(yīng)用前景分析及效益預(yù)測： 鑒于該成果的獨(dú)特技術(shù)特征及數(shù)控產(chǎn)業(yè)的國家需求和巨大市場潛力，依托該成果的“天大精益數(shù)字化制造產(chǎn)業(yè)園”項目已于 2011 年在天津海河科技園區(qū)奠基建設(shè)，占地面積 100 畝，可實現(xiàn)年產(chǎn)值 10 億元以上的規(guī)模。 應(yīng)用領(lǐng)域：高端裝備制造業(yè) 技術(shù)轉(zhuǎn)化條件： 該成果已實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化運(yùn)作，并推廣到福建威諾數(shù)控、鑫菱機(jī)床廠、威海東云數(shù)控機(jī)床、天地股份有限公司等企業(yè)，取得了很好的經(jīng)濟(jì)社會效益。 合作方式及條件：根據(jù)具體情況面議

棉油皂腳經(jīng)采用本技術(shù)加工，可在不影響脂肪酸的品質(zhì)和收率的前提下從中 提取出棉酚，每噸棉油皂腳的棉酚的收率，以原料的新鮮程度，在 0.5-3%。投資 800 萬元建設(shè)一套年處理 3000 噸棉油皂腳的裝置，可年產(chǎn)藥用原料棉酚 1500 kg 以上，按 16 元/g 計，年產(chǎn)值可達(dá) 2400 萬元以上，利潤在 1500 萬元以上。同時可徹底根除皂腳加工酸化油過程中的廢水的產(chǎn)生。

二級肥膘經(jīng)采用本技術(shù)加工，可全部轉(zhuǎn)化為豬油和膠原蛋白，其中豬油的得 率可高達(dá) 60%，膠原蛋白的得率可高達(dá) 20%。投資 800 萬元建設(shè)一套年處理 3000 噸二級肥膘的裝置，可年產(chǎn)豬油 1800 噸，膠原蛋白 600 噸，按豬油 16 元/kg，膠原蛋白 60 元/kg 計，年產(chǎn)值可達(dá) 6000 萬元以上，利潤在 1500 萬元以上。