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一種多點接觸模式下的大面積納米壓印硅模具加工方法
2016-10-20 00:00:00
云上高博會
http://www.a00n.com
關鍵詞：
納米壓印
所屬領域:
產品服務:
一種多點接觸模式下的大面積納米壓印硅模具加工方法，它將硅(100)單晶片置于多微球的多點接觸板垂直下方位置，再使硅片與多點接觸板兩者垂直相對運動至發生接觸，并達到一定接觸載荷F；使多點接觸板和硅片按照既定軌跡相對運動，進行刻劃；刻劃后，將硅片放入質量分數為15～25％的KOH溶液中腐蝕一段分鐘，即可得到具有預先設定結構的納米壓印硅模具。該方法在多點接觸模式下進行，可以方便地控制所加工納米壓印硅模具的圖案、排列方式等；刻劃過程中硅片與多點接觸板始終保持平行狀態。該方法的設備和原材料成本低，操作簡便、步驟簡單，能一次性完成大面積的硅(100)單晶片納米壓印模具加工，具有明顯的低成本、高效率的特點。
項目優勢:
國內領先
市場概況:
前景優越
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