波導(dǎo)微納加工系統(tǒng)以及加工方法
本發(fā)明提供一種加工成本低、精度高、一致性好的波導(dǎo)微納加工系統(tǒng)以及加工方法。本發(fā)明所涉及的波導(dǎo)微納加工系統(tǒng),其特征在于,包括:光源部,提供激光束;加工部,將激光束聚焦至基底上進(jìn)行光刻加工,并對(duì)加工過(guò)程進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),具有:可變焦透鏡、三維形貌儀、相機(jī)、以及測(cè)溫儀;多自由度工作臺(tái),根據(jù)預(yù)設(shè)的波導(dǎo)圖案帶動(dòng)基底在多個(gè)自由度方向上進(jìn)行移動(dòng);光學(xué)平臺(tái),用于安放多自由度工作臺(tái),并隔絕外界振動(dòng);吹氣部,設(shè)置在多自由度工作臺(tái)的一側(cè),對(duì)著加工區(qū)域進(jìn)行吹氣;吸氣部,設(shè)置在多自由度工作臺(tái)的另一側(cè),對(duì)吹氣部吹送來(lái)的氣體進(jìn)行吸除;控制部,連接并控制光源部、加工部、多自由度工作臺(tái)、光學(xué)平臺(tái)、吹氣部、以及吸氣部的運(yùn)行。
湖北工業(yè)大學(xué)
2021-01-12