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一種 MEMS 器件的封裝方法

本發(fā)明公開(kāi)了一種 MEMS 器件的封裝方法，包括 S1 在框架基 板與封蓋的內(nèi)表面上對(duì)稱(chēng)附著圖形化的過(guò)渡金屬化層和釬料層；S2 在 框架基板的釬料層上附著圖形化的自蔓延多層膜；S3 將芯片鍵合固定 在框架基板上并實(shí)現(xiàn)信號(hào)互連；S4 將固定有芯片的框架基板與封蓋進(jìn) 行除氣除濕處理后對(duì)準(zhǔn)堆疊形成封裝結(jié)構(gòu)；S5 對(duì)封裝結(jié)構(gòu)施加壓力、 預(yù)熱后引燃自蔓延多層膜，自蔓延多層膜燃燒并熔化釬料層實(shí)現(xiàn)冶金 互連。本發(fā)明將封蓋直接與框架

華中科技大學(xué) 2021-04-14

新型諧振MEMS微慣性傳感器

針對(duì)我國(guó)在軍事、工業(yè)等領(lǐng)域?qū)Ω咝阅堋⑿〕叽纭⒏呖煽啃訫EMS微慣性傳感器日益迫切的需求，上海交通大學(xué)自2001年起就開(kāi)展基于MEMS技術(shù)的微慣性傳感器的研究，已成功研制十余款傳感器樣機(jī)，在研的半球諧振微陀螺、圓盤(pán)多環(huán)微陀螺等預(yù)期體積小于1cm3，成本低于50美元，功耗低于100mW，有望達(dá)到慣性級(jí)，在微小衛(wèi)星、微航天器等場(chǎng)合極具應(yīng)用潛力。與傳統(tǒng)的微陀螺相比，該陀螺無(wú)運(yùn)動(dòng)部件，抗沖擊性更好；同時(shí)該陀螺可以采用角速度檢測(cè)和角速度積分檢測(cè)兩種工作模式，極大的提升了其應(yīng)用場(chǎng)合與范圍，特別適合在高G環(huán)境下進(jìn)行空間位置測(cè)量、導(dǎo)航與姿態(tài)控制等。此外，其在消費(fèi)電子市場(chǎng)以及汽車(chē)市場(chǎng)也擁有這巨大的應(yīng)用空間，如手機(jī)、游戲機(jī)等手持電子設(shè)備的姿態(tài)控制系統(tǒng)，照相機(jī)、攝像機(jī)的穩(wěn)定電子平臺(tái)，汽車(chē)的防翻車(chē)預(yù)警系統(tǒng)等。。相關(guān)研究?jī)?nèi)容作為重要組成部分曾獲省部級(jí)及以上獎(jiǎng)勵(lì)多次，授權(quán)發(fā)明專(zhuān)利幾十余項(xiàng)，微陀螺方面的專(zhuān)利國(guó)內(nèi)第一，國(guó)際第二，發(fā)表SCI/EI等論文幾十篇。

上海交通大學(xué) 2021-04-13

基于MEMS的胰島素泵系統(tǒng)

已有樣品/n該研究得到科技部“863計(jì)劃”資助（編號(hào)：2005AA404220），旨在研制與無(wú)損血糖監(jiān)測(cè)耦聯(lián)的閉環(huán)式人工胰島微系統(tǒng)，將檢測(cè)和治療系統(tǒng)集成。減小系統(tǒng)體積、減輕重量，提高可靠性，方便使用；集成血糖儀、微泵、硅針、微流通道與控制系統(tǒng)于一體，實(shí)現(xiàn)無(wú)痛化注射。成果的先進(jìn)性或獨(dú)特性：該研究研制與無(wú)損血糖監(jiān)測(cè)耦聯(lián)的閉環(huán)式人工胰島微系統(tǒng)，將檢測(cè)和治療系統(tǒng)集成。減小系統(tǒng)體積、減輕重量，提高可靠性，方便使用；集成血糖儀、微泵、硅針、微流通道與控制系統(tǒng)于一體，實(shí)現(xiàn)無(wú)痛化注射。目

武漢大學(xué) 2021-01-12

MEMS 耐高溫壓力傳感器及技術(shù)

該項(xiàng)目應(yīng)用先進(jìn)的MEMS技術(shù)，研制完成了耐高溫壓力傳感器設(shè)計(jì)、制造關(guān)鍵技術(shù)及系列產(chǎn)品開(kāi)發(fā)。解決了一直困擾航空航天、石油化工、軍工、能源電力等領(lǐng)域因高溫、高頻響、高過(guò)載、微型化、瞬時(shí)高溫沖擊等惡劣環(huán)境下的壓力、力、加速度測(cè)量難題。該成果獲得2006年度國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)、2005年度教育部技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)、2004年度陜西省科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)和2004年度西安市科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)四項(xiàng)獎(jiǎng)勵(lì)。相關(guān)技術(shù)已獲得國(guó)家授權(quán)發(fā)明專(zhuān)利20余項(xiàng)。

西安交通大學(xué) 2021-04-11

全數(shù)字MEMS地震檢波器技術(shù)研究

項(xiàng)目主要針對(duì)瑞雷波物探方法使用的動(dòng)圈式檢波器的缺點(diǎn)，開(kāi)展全數(shù)字MEMS檢波器研制，以此提高公路路基物探精度。主要研究?jī)?nèi)容如下：（1）全數(shù)字MEMS檢波器電路系統(tǒng)及硬件裝置的研制；（2）針對(duì)所研制的檢波器檢測(cè)軟件系統(tǒng)研制；（3）針對(duì)所研制的檢波器對(duì)瑞雷波信號(hào)的振動(dòng)模型研究；

重慶大學(xué) 2021-04-14

基于石墨烯的 MEMS 壓力傳感器

基于石墨烯的 MEMS 壓力傳感器，屬于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的壓力檢測(cè)器件，解決現(xiàn)有 MEMS 壓力傳感器尺寸較大，靈敏度有限的問(wèn)題。本實(shí)用新型包括基底、絕緣層，所述基底表面氧化形成絕緣層，絕緣層內(nèi)刻蝕出空腔，絕緣層上表面覆蓋石墨烯薄膜，將所述空腔封閉，石墨烯薄膜為 1~5 層；所述石墨烯薄膜邊緣沉積兩個(gè)金屬電極，兩個(gè)金屬電極上分別焊接有導(dǎo)線。本實(shí)用新型采用石墨烯薄膜構(gòu)成 MEMS 壓阻式壓力傳感器，制備方法簡(jiǎn)單，可靠性好，壓力傳感器體積更小，從微米尺度變?yōu)榧{米尺度，靈敏度更高，在 1~5 層內(nèi)增

華中科技大學(xué) 2021-04-14

基于體積圖形學(xué)的MEMS工藝仿真系統(tǒng)

項(xiàng)目的背景及目的 本軟件是MEMS器件的設(shè)計(jì)人員的輔助工具，通過(guò)該軟件設(shè)計(jì)人員可以在實(shí)際生產(chǎn)之前提前預(yù)覽到所設(shè)計(jì)器件的三維幾何形狀，如果不符合要求可以進(jìn)行重新設(shè)計(jì)或者對(duì)原來(lái)設(shè)計(jì)進(jìn)行修改。這樣可以大大的降低設(shè)計(jì)的成本和時(shí)間，為MEMS設(shè)計(jì)人員提供較為感性的認(rèn)識(shí)。 技術(shù)原理與工藝流程 基于體積圖形學(xué)的MEMS工藝仿真系統(tǒng)需要結(jié)合體積圖形學(xué)和專(zhuān)家系統(tǒng)以及物理模型，最終實(shí)現(xiàn)MEMS典型工藝的真實(shí)模

南開(kāi)大學(xué) 2021-04-14

新型氣敏材料及MEMS氣敏器件的研究

復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院教授盧紅亮團(tuán)隊(duì)首次結(jié)合硬模板法、原子層沉積技術(shù)和水熱工藝，在低功耗MEMS器件上原位合成了單層有序SnO2納米碗支化ZnO納米線的多級(jí)異質(zhì)復(fù)合納米材料，并以此作為氣體傳感器，對(duì)濃度低至1 ppm的硫化氫實(shí)

復(fù)旦大學(xué) 2021-01-12

最新的MEMS陀螺儀--HTG系列陀螺儀

產(chǎn)品詳細(xì)介紹 最新的MEMS陀螺儀--HTG系列陀螺儀 MEMS陀螺儀HTG系列簡(jiǎn)介：最新的MEMS陀螺儀--HTG系列陀螺儀是用來(lái)測(cè)量角速率的固態(tài)傳感器, 采用MEMS芯片，制造采用BIMOS生產(chǎn)工藝和載流焊工藝技術(shù)。HTG系列MEMS陀螺儀具有高可靠性和高封裝堅(jiān)固性;可用于慣性測(cè)量元件、高可靠性的汽車(chē)電子、導(dǎo)彈制導(dǎo)和控制、飛行器穩(wěn)定控制、天線穩(wěn)定、攝像、數(shù)碼攝影、機(jī)器人等系統(tǒng)。 MEMS陀螺儀HTG系列性能參數(shù)：

陜西航天長(zhǎng)城科技有限公司 2021-08-23

基于MEMS技術(shù)的傳感器及數(shù)據(jù)記錄儀

在空氣動(dòng)力學(xué)研究、飛行器及發(fā)動(dòng)機(jī)試驗(yàn)、風(fēng)洞試驗(yàn)、流體力學(xué)及水工試驗(yàn)、水輪機(jī)及 水下兵器試驗(yàn)、生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用，化爆或核爆沖擊波等許多研究中，出于對(duì)不改變被測(cè)流場(chǎng)的 考慮或受安放位置局限，必須原位測(cè)壓時(shí)，常常對(duì)傳感器的外形尺寸的微型化有較為苛刻的 要求，以期在不干擾流場(chǎng)狀態(tài)情況下，復(fù)現(xiàn)動(dòng)態(tài)流場(chǎng)的變化規(guī)律。XJG4 微型壓力傳感器正 是為這些應(yīng)用開(kāi)發(fā)的，它采用了微型化設(shè)計(jì)的微機(jī)械加工工藝制成集成壓阻力敏元件，進(jìn)行 精致巧妙的微型封裝，通常外徑在Φ8mm 到Φ15mm、長(zhǎng)度不超過(guò) 25mm，并且可按照用戶要求 的形狀與尺寸定制。微型壓力傳感器系列以其小巧的外形、高輸出、高溫、優(yōu)異的動(dòng)態(tài)和靜 態(tài)特性以及極高的可靠性而顯示其特色。

西安交通大學(xué) 2021-04-10