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MEMS 耐高溫壓力傳感器及技術(shù)

該項(xiàng)目應(yīng)用先進(jìn)的MEMS技術(shù)，研制完成了耐高溫壓力傳感器設(shè)計(jì)、制造關(guān)鍵技術(shù)及系列產(chǎn)品開發(fā)。解決了一直困擾航空航天、石油化工、軍工、能源電力等領(lǐng)域因高溫、高頻響、高過載、微型化、瞬時(shí)高溫沖擊等惡劣環(huán)境下的壓力、力、加速度測量難題。該成果獲得2006年度國家技術(shù)發(fā)明二等獎、2005年度教育部技術(shù)發(fā)明一等獎、2004年度陜西省科技進(jìn)步一等獎和2004年度西安市科技進(jìn)步一等獎四項(xiàng)獎勵(lì)。相關(guān)技術(shù)已獲得國家授權(quán)發(fā)明專利20余項(xiàng)。

西安交通大學(xué) 2021-04-11

全數(shù)字MEMS地震檢波器技術(shù)研究

項(xiàng)目主要針對瑞雷波物探方法使用的動圈式檢波器的缺點(diǎn)，開展全數(shù)字MEMS檢波器研制，以此提高公路路基物探精度。主要研究內(nèi)容如下：（1）全數(shù)字MEMS檢波器電路系統(tǒng)及硬件裝置的研制；（2）針對所研制的檢波器檢測軟件系統(tǒng)研制；（3）針對所研制的檢波器對瑞雷波信號的振動模型研究；

重慶大學(xué) 2021-04-14

基于石墨烯的 MEMS 壓力傳感器

基于石墨烯的 MEMS 壓力傳感器，屬于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的壓力檢測器件，解決現(xiàn)有 MEMS 壓力傳感器尺寸較大，靈敏度有限的問題。本實(shí)用新型包括基底、絕緣層，所述基底表面氧化形成絕緣層，絕緣層內(nèi)刻蝕出空腔，絕緣層上表面覆蓋石墨烯薄膜，將所述空腔封閉，石墨烯薄膜為 1~5 層；所述石墨烯薄膜邊緣沉積兩個(gè)金屬電極，兩個(gè)金屬電極上分別焊接有導(dǎo)線。本實(shí)用新型采用石墨烯薄膜構(gòu)成 MEMS 壓阻式壓力傳感器，制備方法簡單，可靠性好，壓力傳感器體積更小，從微米尺度變?yōu)榧{米尺度，靈敏度更高，在 1~5 層內(nèi)增

華中科技大學(xué) 2021-04-14

基于體積圖形學(xué)的MEMS工藝仿真系統(tǒng)

項(xiàng)目的背景及目的 本軟件是MEMS器件的設(shè)計(jì)人員的輔助工具，通過該軟件設(shè)計(jì)人員可以在實(shí)際生產(chǎn)之前提前預(yù)覽到所設(shè)計(jì)器件的三維幾何形狀，如果不符合要求可以進(jìn)行重新設(shè)計(jì)或者對原來設(shè)計(jì)進(jìn)行修改。這樣可以大大的降低設(shè)計(jì)的成本和時(shí)間，為MEMS設(shè)計(jì)人員提供較為感性的認(rèn)識。 技術(shù)原理與工藝流程 基于體積圖形學(xué)的MEMS工藝仿真系統(tǒng)需要結(jié)合體積圖形學(xué)和專家系統(tǒng)以及物理模型，最終實(shí)現(xiàn)MEMS典型工藝的真實(shí)模

南開大學(xué) 2021-04-14

耐高溫聚芳醚樹脂及功能膜制備技

二、成果介紹1、 成果簡介：（500字以內(nèi)） 本項(xiàng)目針對國內(nèi)外對特種高分子樹脂及膜材料的重大需求，在傳統(tǒng)聚芳醚酮和聚醚砜樹脂的基礎(chǔ)上，制備高附加值和高性能的功能型改性聚芳醚樹脂及功能膜材料。具體的研究內(nèi)容和完成情況包括：（1）功能型聚芳醚樹脂合成、化學(xué)改性及放大；（2）適合耐高溫樹脂的膜制備工藝；（3）針對功能膜材料在分離膜、質(zhì)子交換膜、功能涂層和生物醫(yī)用材料方面的應(yīng)用性開發(fā)。研制

吉林大學(xué) 2021-04-14

新型氣敏材料及MEMS氣敏器件的研究

復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院教授盧紅亮團(tuán)隊(duì)首次結(jié)合硬模板法、原子層沉積技術(shù)和水熱工藝，在低功耗MEMS器件上原位合成了單層有序SnO2納米碗支化ZnO納米線的多級異質(zhì)復(fù)合納米材料，并以此作為氣體傳感器，對濃度低至1 ppm的硫化氫實(shí)

復(fù)旦大學(xué) 2021-01-12

最新的MEMS陀螺儀--HTG系列陀螺儀

產(chǎn)品詳細(xì)介紹 最新的MEMS陀螺儀--HTG系列陀螺儀 MEMS陀螺儀HTG系列簡介：最新的MEMS陀螺儀--HTG系列陀螺儀是用來測量角速率的固態(tài)傳感器, 采用MEMS芯片，制造采用BIMOS生產(chǎn)工藝和載流焊工藝技術(shù)。HTG系列MEMS陀螺儀具有高可靠性和高封裝堅(jiān)固性;可用于慣性測量元件、高可靠性的汽車電子、導(dǎo)彈制導(dǎo)和控制、飛行器穩(wěn)定控制、天線穩(wěn)定、攝像、數(shù)碼攝影、機(jī)器人等系統(tǒng)。 MEMS陀螺儀HTG系列性能參數(shù)：

陜西航天長城科技有限公司 2021-08-23

十年科技創(chuàng)新口號微調(diào)背后的國家意志

“科技創(chuàng)新是提高社會生產(chǎn)力和綜合國力的戰(zhàn)略支撐，必須擺在國家發(fā)展全局的核心位置”，強(qiáng)調(diào)要堅(jiān)持走中國特色自主創(chuàng)新道路、實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略。

中國青年報(bào) 2022-04-14

基于MEMS技術(shù)的傳感器及數(shù)據(jù)記錄儀

在空氣動力學(xué)研究、飛行器及發(fā)動機(jī)試驗(yàn)、風(fēng)洞試驗(yàn)、流體力學(xué)及水工試驗(yàn)、水輪機(jī)及 水下兵器試驗(yàn)、生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用，化爆或核爆沖擊波等許多研究中，出于對不改變被測流場的 考慮或受安放位置局限，必須原位測壓時(shí)，常常對傳感器的外形尺寸的微型化有較為苛刻的 要求，以期在不干擾流場狀態(tài)情況下，復(fù)現(xiàn)動態(tài)流場的變化規(guī)律。XJG4 微型壓力傳感器正 是為這些應(yīng)用開發(fā)的，它采用了微型化設(shè)計(jì)的微機(jī)械加工工藝制成集成壓阻力敏元件，進(jìn)行 精致巧妙的微型封裝，通常外徑在Φ8mm 到Φ15mm、長度不超過 25mm，并且可按照用戶要求 的形狀與尺寸定制。微型壓力傳感器系列以其小巧的外形、高輸出、高溫、優(yōu)異的動態(tài)和靜 態(tài)特性以及極高的可靠性而顯示其特色。

西安交通大學(xué) 2021-04-10

一種基于 MEMS 的智能服裝及其制作方法

本發(fā)明公開了一種基于 MEMS 的智能服裝及其制備方法，可用于采集心電、心音等人體生理參數(shù)，該智能服裝的功能是通過將柔性傳感器陣列薄膜與紡織品整合的方式來實(shí)現(xiàn)的：首先，在晶圓上采用MEMS 技術(shù)分別制作出聲/電換能器及其電氣互聯(lián)結(jié)構(gòu)。其次，在晶圓的反面刻蝕出硅島圖形，使得每個(gè)傳感器之間相互孤立。再次，在晶圓的正反面旋涂上聚合物，并對其進(jìn)行光刻圖形化出傳感器窗口以及縫紉孔，即得到柔性傳感器陣列薄膜。聚合物起到對傳感器的保護(hù)作用，縫紉孔可用于讓導(dǎo)電纖維將傳感器傳感器陣列薄膜與紡織品縫合于一體，即得到有特

華中科技大學(xué) 2021-04-14