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1、主要功能和應(yīng)用領(lǐng)域： 本設(shè)備由多通道圖像采集模塊、復(fù)雜光學(xué)模塊、復(fù)雜照明模塊、精密機(jī)械運(yùn)動(dòng)模塊、分布式大數(shù)據(jù)分析處理模塊等多個(gè)模塊組成。能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)第4.5代以上的液晶顯示器件ITO、銀漿線路的快速檢測(cè)并輸出報(bào)表。利用高分辨率線陣相機(jī)陣列和光源對(duì)PET基材的觸摸屏進(jìn)行成像，并利用計(jì)算機(jī)圖像處理、模式識(shí)別及人工智能的理論與技術(shù)，拍攝到的觸摸屏圖像進(jìn)行研究，通過對(duì)各種線路和特征進(jìn)行特征匹配與邊緣分析，分別檢測(cè)上述線路缺陷并自動(dòng)報(bào)告，從而達(dá)到在線自動(dòng)檢測(cè)觸摸屏線路缺陷的目的，作為生產(chǎn)線上品質(zhì)保證的重要方法。 2、特色及先進(jìn)性： 1）針對(duì)ITO材料的高透光率：采用特殊設(shè)計(jì)的高功率光源和精密光學(xué)成像系統(tǒng)，確保能夠采集到圖像清晰、缺陷顯著、ITO線路對(duì)比度高的圖片，為算法處理達(dá)到不漏檢和低誤檢打下良好基礎(chǔ)。 2）針對(duì)ITO線路不規(guī)則：由于ITO線路的形式多樣且比較復(fù)雜，需要采用樣品和模板配準(zhǔn)、像素值直接對(duì)比、線路邊緣對(duì)比、周期性判斷及DRC方法等算法方案同時(shí)進(jìn)行處理。 3）針對(duì)軟材質(zhì)基板（PET）：由于基板為軟材質(zhì)，并且基板為600*600 mm的大規(guī)格尺寸，采用高精度的光學(xué)平臺(tái)和自動(dòng)快速對(duì)焦系統(tǒng)，保證大尺寸范圍內(nèi)圖像采集的清晰度。 4）針對(duì)缺陷類型繁多：采取提取局部特征并結(jié)合周期性和對(duì)比性完成缺陷檢測(cè)，針對(duì)不同類型的缺陷進(jìn)行建標(biāo)以達(dá)到較高的檢測(cè)效率，通過框選候選(潛在)缺陷位置，采用神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法進(jìn)行自主機(jī)器學(xué)習(xí)，不斷匹配各種可能存在的缺陷類型，并結(jié)合不同的算法模塊進(jìn)行檢測(cè)，寬進(jìn)嚴(yán)出保證檢測(cè)效果。 3、技術(shù)指標(biāo)： ？ 檢測(cè)對(duì)象： PET和電子玻璃為基板的ITO。 ？ 檢測(cè)項(xiàng)目：線路過寬、過窄、多線、線斷、線裂、連線、毛刺、爆點(diǎn)；膜刮痕、導(dǎo)電薄膜異物、氣泡、針孔、凸出、凹陷。 ？ 臺(tái)面要求：臺(tái)面能滿足檢測(cè)600mm×600mm以下尺寸產(chǎn)品。 ？ 檢測(cè)精度：能檢測(cè)最小線寬間距為20um。 ？ 最大檢測(cè)面積：檢測(cè)精度為20um時(shí)，最大檢測(cè)面積是600mm*600mm。 ？ 檢測(cè)效率：?jiǎn)螐垺未螜z測(cè)時(shí)間小于等于30秒。 ？ 檢測(cè)效果：錯(cuò)報(bào)率控制在1%以下,檢出率99%以上。 ？ 設(shè)備穩(wěn)定性：設(shè)備至少可5*24小時(shí)連續(xù)無故障工作。 4、關(guān)鍵問題和實(shí)施效果 該設(shè)備可廣泛應(yīng)用于觸摸屏行業(yè)、LCD行業(yè)、太陽能行業(yè)和LED行業(yè)等領(lǐng)域，可滿足觸摸屏行業(yè)需求。以電子玻璃、PET為基板的ITO線路對(duì)于最終產(chǎn)品性能的影響是非常顯著的，如線路發(fā)生缺陷，則會(huì)直接造成產(chǎn)品功能缺陷，而越靠近出貨端檢出缺陷，對(duì)于廠家來說修復(fù)的成本越高，同時(shí)廢品的損失越高。該設(shè)備可以在最早的工藝流程上對(duì)線路進(jìn)行檢測(cè)，從而整體提高生產(chǎn)廠家的制程控制能力。 該設(shè)備采用復(fù)雜高分辨率多通道線陣相機(jī)陣列進(jìn)行光學(xué)成像，同時(shí)配合精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)2.5微米分辨率的圖像采集，其三維組裝圖如下圖所示。

本設(shè)備由多通道圖像采集模塊、復(fù)雜光學(xué)模塊、復(fù)雜照明模塊、精密機(jī)械運(yùn)動(dòng)模塊、分布式大數(shù)據(jù)分析處理模塊等多個(gè)模塊組成。能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)第4.5代以上的液晶顯示器件ITO、銀漿線路的快速檢測(cè)并輸出報(bào)表。利用高分辨率線陣相機(jī)陣列和光源對(duì)PET基材的觸摸屏進(jìn)行成像，并利用計(jì)算機(jī)圖像處理、模式識(shí)別及人工智能的理論與技術(shù)，拍攝到的觸摸屏圖像進(jìn)行研究，通過對(duì)各種線路和特征進(jìn)行特征匹配與邊緣分析，分別檢測(cè)上述線路缺陷并自動(dòng)報(bào)告，從而達(dá)到在線自動(dòng)檢測(cè)觸摸屏線路缺陷的目的，作為生產(chǎn)線上品質(zhì)保證的重要方法。

成果簡(jiǎn)介： 1、主要功能和應(yīng)用領(lǐng)域： 本設(shè)備由多通道圖像采集模塊、復(fù)雜光學(xué)模塊、復(fù)雜照明模塊、精密機(jī)械運(yùn)動(dòng)模塊、分布式大數(shù)據(jù)分析處理模塊等多個(gè)模塊組成。能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)第4.5代以上的液晶顯示器件ITO、銀漿線路的快速檢測(cè)并輸出報(bào)表。利用高分辨率線陣相機(jī)陣列和光源對(duì)PET基材的觸摸屏進(jìn)行成像，并利用計(jì)算機(jī)圖像處理、模式識(shí)別及人工智能的理論與技術(shù)，拍攝到的觸摸屏圖像進(jìn)行研究，通過對(duì)各種線路和特征進(jìn)行特征匹配與邊緣分析，分別檢測(cè)上述線路缺陷并自動(dòng)報(bào)告，從而達(dá)到在線自動(dòng)檢測(cè)觸摸屏線路缺陷的目的，作為生產(chǎn)線上品質(zhì)保證的重要方法。 2、特色及先進(jìn)性： ● 針對(duì)ITO材料的高透光率：采用特殊設(shè)計(jì)的高功率光源和精密光學(xué)成像系統(tǒng)，確保能夠采集到圖像清晰、缺陷顯著、ITO線路對(duì)比度高的圖片，為算法處理達(dá)到不漏檢和低誤檢打下良好基礎(chǔ)。 ● 針對(duì)ITO線路不規(guī)則：由于ITO線路的形式多樣且比較復(fù)雜，需要采用樣品和模板配準(zhǔn)、像素值直接對(duì)比、線路邊緣對(duì)比、周期性判斷及DRC方法等算法方案同時(shí)進(jìn)行處理。 ● 針對(duì)軟材質(zhì)基板（PET）：由于基板為軟材質(zhì)，并且基板為600*600 mm的大規(guī)格尺寸，采用高精度的光學(xué)平臺(tái)和自動(dòng)快速對(duì)焦系統(tǒng)，保證大尺寸范圍內(nèi)圖像采集的清晰度。 ● 針對(duì)缺陷類型繁多：采取提取局部特征并結(jié)合周期性和對(duì)比性完成缺陷檢測(cè)，針對(duì)不同類型的缺陷進(jìn)行建標(biāo)以達(dá)到較高的檢測(cè)效率，通過框選候選(潛在)缺陷位置，采用神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法進(jìn)行自主機(jī)器學(xué)習(xí)，不斷匹配各種可能存在的缺陷類型，并結(jié)合不同的算法模塊進(jìn)行檢測(cè)，寬進(jìn)嚴(yán)出保證檢測(cè)效果。 3、技術(shù)指標(biāo)： ● 檢測(cè)對(duì)象： PET和電子玻璃為基板的ITO。 ● 檢測(cè)項(xiàng)目：線路過寬、過窄、多線、線斷、線裂、連線、毛刺、爆點(diǎn)；膜刮痕、導(dǎo)電薄膜異物、氣泡、針孔、凸出、凹陷。 ● 臺(tái)面要求：臺(tái)面能滿足檢測(cè)600mm×600mm以下尺寸產(chǎn)品。 ● 檢測(cè)精度：能檢測(cè)最小線寬間距為20um。 ● 最大檢測(cè)面積：檢測(cè)精度為20um時(shí)，最大檢測(cè)面積是600mm*600mm。 ● 檢測(cè)效率：?jiǎn)螐垺未螜z測(cè)時(shí)間小于等于30秒。 ● 檢測(cè)效果：錯(cuò)報(bào)率控制在1%以下,檢出率99%以上。 ● 設(shè)備穩(wěn)定性：設(shè)備至少可5*24小時(shí)連續(xù)無故障工作。 4、關(guān)鍵問題和實(shí)施效果 該設(shè)備可廣泛應(yīng)用于觸摸屏行業(yè)、LCD行業(yè)、太陽能行業(yè)和LED行業(yè)等領(lǐng)域，可滿足觸摸屏行業(yè)需求。以電子玻璃、PET為基板的ITO線路對(duì)于最終產(chǎn)品性能的影響是非常顯著的，如線路發(fā)生缺陷，則會(huì)直接造成產(chǎn)品功能缺陷，而越靠近出貨端檢出缺陷，對(duì)于廠家來說修復(fù)的成本越高，同時(shí)廢品的損失越高。該設(shè)備可以在最早的工藝流程上對(duì)線路進(jìn)行檢測(cè)，從而整體提高生產(chǎn)廠家的制程控制能力。 該設(shè)備采用復(fù)雜高分辨率多通道線陣相機(jī)陣列進(jìn)行光學(xué)成像，同時(shí)配合精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)2.5微米分辨率的圖像采集，其三維組裝圖如下圖所示。

氧化銦錫（indium-tin-oxide）簡(jiǎn)稱ITO，ITO靶材是一種功能陶瓷材料，主要用于制造ITO透明導(dǎo)電膜玻璃。以金屬銦、錫為原料采用共沉淀法制備出納米級(jí)ITO復(fù)合粉體。粉體造粒成型后分別采用加壓和常壓燒結(jié)法制備出相對(duì)理論密度大于99.5%、氧化銦單一相的ITO靶材。 粉體純度大于99.99%、顆粒分散性好，粒徑10nm—80nm之間可控，BET比表面積30~60m2/g ，In2O3:90.0±0.5%，SnO2: 10.0±0.5%；ITO靶材相對(duì)理論密度99.5%。 威海市藍(lán)狐特種材料有限公司已采用該技術(shù)建設(shè)年產(chǎn)20噸納米級(jí)氧化銦錫復(fù)合粉體生產(chǎn)線，采用該粉體燒制的ITO靶材相對(duì)理論密度達(dá)到99%以上。國內(nèi)相對(duì)理論密度大于99%的ITO靶材主采用進(jìn)口產(chǎn)品。 金屬銦、錫是我國的優(yōu)勢(shì)資源，生產(chǎn)設(shè)備都是定型通用設(shè)備，年產(chǎn)20噸納米級(jí)氧化銦錫粉體和高密度ITO靶材的生產(chǎn)廠需要人員50名。納米級(jí)氧化銦錫粉體制備已建設(shè)年產(chǎn)20噸生產(chǎn)線。高密度ITO靶材的制備已完成實(shí)驗(yàn)室小試。