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先進薄膜材料研發項目
1、制備設備技術先進： 多弧離子鍍設備加裝脈沖磁控后實現了對等離子體的約束與控制，從而制 備的涂層物理性能更好，并實現了 Ti/TiNX/TiC1-xNx/TiC、 Cr/ CrNX/ CrC1-xNx/ CrC 薄膜顏色可調，實驗證明此工藝制備的涂層表面更加光潔、硬度更大，效 率更高。脈沖電源、磁系統和 PLC 控制系統均為課題組自行開發，具有設備技 術創新，此項工作在國內領先。 2. 涂層設計理念合理 用脈沖磁控多弧離子鍍制備 Ti/TiNX/TiN、Ti/TiNX/TiC1-xNx/TiC、Cr/Cr NX/ CrC1-xNx/ CrC、Cr/CrN/CrAlSiN 梯度復合薄膜。本方案通過優化膜系和制備工 藝參數，可以有效緩解應力，提高涂層在基底上的附著力，此項研究具有薄膜 材料設計創新，具有國內先進水平。由于梯度復合薄膜制備參數變化多，工藝 參數實現了 PLC 控制，生產效率和重復性大大提高。 3. 綠色環保無污染 由于真空鍍膜工藝無污染，且制備的薄膜質量好，此工藝代替高污染的電 鍍工藝，是綠色環保產業，符合國家提倡主導的產業發展方向 4. 制備開發 DLC 薄膜 利用線性離子源發電技術制備了 DLC（Diamond like carbon）薄膜，此薄 膜制備工藝國內領先，具有沉積溫度低、薄膜質量好特點，可用于醫療器械和 各種機械配件鍍膜等，其制備方法重復性好、襯底溫度低等特點。
山東大學
2021-04-13
類金剛石薄膜
類金剛石薄膜（diamond-like carbon, DLC）是一種亞穩態的非晶碳膜，其結構、物理化學性質接近于金剛石。作為一種新型的硬質薄膜材料具有一系列類似于金剛石的多種優異性能，如高硬度、低摩擦系數、高耐磨耐蝕性、高熱導率、在可見到紫外光范圍內透明、良好的絕緣性和化學穩定性、優異的生物兼容性及表面光滑等，可廣泛用于機械、電子、光學、熱學、聲學、醫學等領域。 本項目通過物理氣相沉積方法制備的類金剛石薄膜具備質量穩定，與基體結合強，硬度、彈性模量、摩擦系數和透光性可調控，耐摩擦磨
南京理工大學
2021-04-14
Er3+Yb0.20Y2.80Al5N0.10F0.10O11.80Pt-TiO2光催化劑及其在光催
本發明提供了光催化劑 Er3+:Yb0.20Y2.80Al 5 N0.10F0.10O11.80 /Pt-TiO2 的制備方法，并將其應用在在光催化分解水制氫中。
遼寧大學
2021-04-11
柔性薄膜超級電容器
隨著便攜式電子設備的快速發展，將微型電子設備運用到可穿戴設備或者作為生物植入物的可行性越來越大。用柔性電子器件來替代傳統的硬質電子器件的重要性也愈加凸顯，如何解決柔性電子設備的儲能問題，是實現這些可能性的重要因素之一。 本成果設計并制備了一種新型柔性微型超級電容器，其具有制備工藝簡單，成本較低，適用于各種粉末狀電極材料等特點。
電子科技大學
2021-04-10
透明防偽材料—光變色薄膜
根據多層膜光學干涉的原理，當光線照射到薄膜，在進入各膜層時由于各膜層的光 學性質不一樣使得有些光相干相長，有些光相干相消，隨著觀察者視角的變化薄膜呈現 不同的顏色。早在 1973 年加拿大國家研究院的 J.A.Dob-railski 等人就預見了變色薄 膜在防偽領域中的應用前景，并于 1987 年首次應用于 50 圓的貨幣上。稍后美國人也研 制出有金色變到綠色的全介質變色薄膜。再以后又有人與瑞士 SICPA 公司合作將變色薄 膜作為顏料摻入到油墨中，研制成光變色油墨。現在許多國家的護照、簽證和貨幣上都 用上了光變色油墨。 光變色薄膜的光變色功能來自于多層膜的復合特性，光變色效果與組成該薄膜的各 膜層的材料性質、厚度以及膜層之間的組合有關。薄膜多采用金屬膜與金屬氧化物介質 組合，用物理方法（如熱蒸發、電子束或離子鍍、磁控濺射等）鍍制薄膜。金屬氧化物 介質膜用物理方法鍍制質量控制比較困難，效率低，成本也比較高。同濟大學課題組用 氣凝膠或有機材料替代金屬氧化物，材料性能穩定，可進行大面積快速涂膜，效率大大 提高，成本也很低。
同濟大學
2021-04-11
柔性薄膜超級電容器
本成果設計并制備了一種新型柔性微型超級電容器，其具有制備工藝簡單，成本較低，適用于各種粉末狀電極材料等特點。
電子科技大學
2021-04-10
高頻用軟磁薄膜材料
在信息產業飛速發展的今天，為了滿足人們對于手機、計算機、便攜式數碼設備等電子產品進一步輕便、小巧等的使用需求，必須使其核心的電磁元器件向微型化、薄膜化、集成化等方向發展。隨著電路中的射頻磁器件的體積不斷縮小，使用頻率不斷提高，傳統的鐵氧體材料由于其飽和磁化強度低，使其在GHz使用頻率下無法保持高的磁導率，這就迫切需要開發一種能夠應用于GHz頻率范圍的高頻軟磁薄膜材料。目前國內外的科研人員采用不同方法研究并制備了多種軟磁薄膜材料，如CoPdAlO（Sharp公司）、CoZrTa（Intel公司）、Co
廈門大學
2021-01-12
柔性有機熱電薄膜的研究
未經處理的PEDOT：PSS聚合物在成膜后反復彎曲不到十次循環就會出現明顯裂紋，完全無法滿足柔性熱電器件的要求。改善PEDOT：PSS薄膜的機械柔性成為首要任務。李其鍇在閱讀大量的文獻后，提出加入離子液體增加導電高分子鏈間相互作用力，形成交聯結構，從而實現機械性能的改善目的。在試驗過程中嘗試過多種離子液體，最終選定了表現較優的LiTFSI。實驗結果出乎意料，新型的柔性有機熱電薄膜10000次循環后仍保持穩定的電性能。此外，該LiTFSI/PEDOT:PSS復合柔性有機熱電薄膜的電學性能較未處理的PEDOT：PSS薄膜提高了近2個數量級，其功率因子達到75μW·m-1K-2,拉伸應變達到了20%以上。? 目前，發展兼具力學柔性和熱電性能的柔性熱電薄膜材料與器件已經是劉瑋書團隊的重要發展方向。劉瑋書團隊相關研究成果已經提交專利申請，并會被應用到新型的電子皮膚的溫覺仿真中。
南方科技大學
2021-04-13
一種低輻射薄膜
本發明公開了一種低輻射薄膜，包括基底、覆蓋于基底之上的 單銀層和覆蓋于單銀層之上的周期性多層膜，薄膜厚度為 1325nm～ 1575.8nm；其中，單銀層由兩層保護層和 Ag 膜構成，厚度為 29nm～ 92nm；周期性多層膜由高折射率材料和低折射率材料交替疊加而成， 厚度為 1275nm～1490nm。本發明公開的低輻射薄膜采用金屬薄銀層 來抑制長波長紅外波和短波長紫外波的透射，采用周期性結構來增強 可見光波段的透
華中科技大學
2021-04-14
液態金屬薄膜熱界面材料
液態金屬薄膜熱界面材料是一種具有超高熱導率，能解決極端高熱流密度散熱難題的低熔點合金熱界面材料。
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
液態金屬薄膜熱界面材料是一種具有超高熱導率，能解決極端高熱流密度散熱難題的低熔點合金熱界面材料。基本原理為：填充于發熱芯片與散熱器之間，起到減小接觸熱阻，強化傳熱，降低高功率芯片溫度的作用。
液態金屬薄膜熱界面材料實現途徑包括組分調配和物化處理兩步驟。通過組分調配設計具有高熱導率的合金，然后通過物化處理提升材料的傳熱性能和穩定性。
一、主要技術優勢
（1）熱導率是傳統材料的5倍以上；
（2）接觸熱阻相對傳統材料降低50%以上；
（3）耐高溫200ºC，傳統有機材料一般耐溫低于100ºC；
（4）壽命相對傳統有機熱界面材料提高一倍以上。
二、主要性能指標
（1）熱導率不低于30W/(m·K)；
（2）接觸熱阻不大于0.3cm2·K/W；
（3）高溫250ºC老化100小時，接觸熱阻增加值不大于0.3cm2·K/W。
北京理工大學
2022-08-18