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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
維意真空高真空金屬有機蒸發鍍膜機支持定制
EV-400高真空金屬有機蒸發鍍膜機
真空腔室：前開門真空腔體，方便取放基片、更換鎢舟、添加蒸發材料以及真空室的日常維護保養；
真空系統：國產分子泵作為主抽泵，真空極限優于5.0?10-5Pa（經烘烤除氣后）；另可選進口磁懸浮分子泵或是低溫泵作為主抽泵，真空極限優于3.0?10-6Pa（經烘烤除氣后）；
真空抽速：大氣～8?10-4Pa≤30min；
蒸發源：4～6組歐美技術金屬或是有機束源爐蒸發源可選，多源共蒸獲得復合膜/分蒸獲得多層膜，功能強大，性能穩定；
蒸發電源：真空專業蒸發電源，恒流/恒功率控制。電流、功率可預先設置，可實現一鍵啟動和停止的自動控制功能；
基片臺：最大120mm基片/15～25mmITO/FTO玻璃25片，可定制一體化高精度刻蝕掩膜板；基片臺公轉，轉速0～20r/min連續可調；
基片臺功能：襯底可選擇加熱（室溫～300℃可調可控）或水冷，基片臺可選升降，源基距最大350mm；
濺射電源：直流脈沖濺射電源、全自動匹配的射頻濺射電源可任選；
膜厚監控儀：可選配國產或進口單水冷探頭膜厚儀；
可鍍材料：可沉積金屬（Au、Ag、Al、Ca、Cu、Mg、Fe、Cr、Ti、Ni等）、非金屬、化合物（MoO3、LiF等）及有機材料，可拓展沉積單層膜、多層膜及混合膜；
控制方式：PLC+觸摸屏控制系統，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實現一鍵抽停真空。
北京維意真空技術應用有限責任公司
2025-04-25
高阻燃高回彈軟質聚氨酣泡沫塑料
項目簡介： 軟質聚氨酣泡沫塑料具有密度低、比強度大、彈性回復好、吸音、透氣等優點， 而被廣泛用作家具墊材、交通工具座椅坐墊等墊材，以及隔音材料、防震材料、裝飾材料和包 裝材料等。本樣品為阻燃高回彈聚氨酣軟泡，不僅解決了軟泡本身易燃的問題，還保持了自身 &nbs
西華大學
2021-04-14
線控制動 EHB 線控液壓剎車 無人車線控底盤 自動駕駛 i-booster
浙江天尚元科技有限公司
2022-06-20
5MW生物質固定床氣化發電裝備技術
目前我國生物質熱化學轉化技術應用較多的是固定床氣化，但生產規模普遍較小且高效連續運行性能差，尚無法適應以發電為代表的規模化利用方式。因此，在生物質轉化利用領域，開發規模化高效可靠的氣化技術是迫切需要攻克的關鍵技術。2007年華東理工大學主持實施世界銀行的全球環境基金項目（CRESP）“規模化生物質固定床氣化爐的研制”，之后又負責完成了多項相關重點科研，核心裝備技術于2009年7月通過專家驗收。本項目的技術原理是將生物質燃料通過固定床自熱氣化生產可燃氣體，其關鍵技術包括氣化爐控溫防止結渣、降低飛灰夾帶及燃氣深度凈化等。本項目核心裝備—固定床氣化爐的單爐產氣量大于5000m3 /h，采用典型農作物秸稈為原料的燃氣熱值大于1500kcal/m 3 ，同時還可獲得焦油和草木灰等副產品，氣化系統運行高效、可靠而潔凈，已完全達到規模化工業生產的要求。本項目成果可廣泛應用于供氣、發電和供熱等場合。
華東理工大學
2021-04-11
5MW生物質固定床氣化發電裝備技術
目前我國生物質熱化學轉化技術應用較多的是固定床氣化，但生產規模普遍較小且高效連 續運行性能差，尚無法適應以發電為代表的規模化利用方式。因此，在生物質轉化利用領域， 開發規模化高效可靠的氣化技術是迫切需要攻克的關鍵技術。2007年華東理工大學主持實施世 界銀行的全球環境基金項目 (CRESP)“規模化生物質固定床氣化爐的研制”，之后又負責完成 了多項相關重點科研，核心裝備技術于2009年7月通過專家驗收。 本項目的技術原理是將生物質燃料通過固定床自熱氣化生產可燃氣體，其關鍵技術包括氣 化爐控溫防止結渣、降低飛灰夾帶及燃氣深度凈化等。本項目核心裝備—固定床氣化爐的單爐 產氣量大于5000m3 /h，采用典型農作物秸稈為原料的燃氣熱值大于1500kcal/m3 ，同時還可獲 得焦油和草木灰等副產品，氣化系統運行高效、可靠而潔凈，已完全達到規模化工業生產的要 求。本項目成果可廣泛應用于供氣、發電和供熱等場合。
華東理工大學
2021-04-11
節能環保顆粒氧化鉛移動床深度氧化快速冷卻
該技術以油代電、在移動床中實現深度氧化和快速冷卻，設備密閉，過程連續，是生產顆粒氧化鉛的國際首創全新技術。東南大學在實驗室研究、數學模型研究的基礎上，與江蘇天鵬化工集團有限公司合作，開發出顆粒氧化鉛移動床深度氧化煅燒和快速冷卻新技術，設計了兩套年產各為1500噸的生產裝置，經過調試，各項技術指標均達到設計要求。在此基礎上，經過工業試驗和審慎的放大設計，2000年兩套年產各為15000噸的放大裝置相繼投入生產。
東南大學
2021-04-10
移動式熱泵流化床谷物干燥技術與裝備
熱泵流化床谷物干燥設備是以高效、節能、清潔無污染等優點的熱泵作為供熱裝置，與具有氣-固接觸面積大、傳熱傳質速率高、便于機械化連續操作等優點的流化床技術相結合的谷物干燥設備。移動式熱泵流化床谷物干燥設備，適合于我國目前農業生產的現狀，使用該產品，和機械化收割相結合，可大大提高收獲質量，提高糧食入庫率，降低天氣對收得率的影響，提高糧食生產效率，同時可以大大提高干燥設備的利用率。
北京科技大學
2021-04-13
一種抗搖晃防沙塵的學生雙層床
一種抗搖晃防沙塵的學生雙層床涉及家具領域。為避免上下床的互相影響嚴重，同時住在上床的同學穿著鞋子上床拿東西時很容易將鞋底的泥土、沙塵等臟物散落在下床同學的床上很不衛生。技術方案是：一種抗搖晃方沙塵的學生雙人床，由分離的上床和下床組成，共采用八根邊長為38mm的方管作為立柱，其中下床使用四根立柱，下床尺寸為2000mm，寬900mm，高500mm。上床也使用四根立柱，上床的長度方向的一側的兩立柱與下床長度方向一側的兩個立柱的中心在一條直線上，上床的立柱分別與下床臨近的立柱中心距為43mm，上床的尺寸為長2086mm，寬1000mm，高1700mm。
四川大學
2016-09-28
椎體后方可吸收PLLA/HAP植骨床裝置
該可吸收植骨床裝置的材料是左旋聚乳酸（PLLA）和羥基磷灰石（HAP）復合粉末。其中，左旋聚乳酸作為可降解高分子，具有良好的降解性能和生物相容性，羥基磷灰石作為一種類骨成分，具有良好的生物相容性和誘導骨生長的特性，能誘導間充質細胞分化為成骨細胞，促進骨組織的生長。該裝置主要包括多孔主體部分和固定部分。多孔主體部分設計為半圓柱形，分布有規則排列的孔槽，固定部分分布在多孔主體部分的上下兩端，并設置有對稱分布的螺釘孔。該裝置解決了傳統椎管減壓術后由于缺乏有效且可吸收的植骨床，移植骨無法充分打壓，導致骨缺損無法完全修復的難題。該裝置具有良好的生物相容性、降解性和力學強度。
中南大學
2023-07-18