一種高電子透過率的冷陰極X射線管柵極結(jié)構(gòu)及制作方法
本發(fā)明公開了一種高電子透過率的冷陰極X射線管柵極結(jié)構(gòu)及制作方法,包括柵極法蘭、銅網(wǎng)、金屬柵極片、柵極套筒、陰極底座和陰極發(fā)射材料;柵極法蘭設(shè)有法蘭中心通孔和法蘭凹槽;銅網(wǎng)嵌套在法蘭凹槽中,銅網(wǎng)的一側(cè)包覆有納米級厚度的碳膜;金屬柵極片設(shè)在銅網(wǎng)的下方,金屬柵極片與柵極法蘭相連接,套筒內(nèi)腔中設(shè)有陰極底座,陰極底座通過陶瓷墊片與柵極套筒可拆卸連接;陰極底座的高度能夠調(diào)整,陰極底座的頂部設(shè)有陰極發(fā)射材料。本發(fā)明采用覆蓋有碳膜的銅柵網(wǎng)作為柵極,采用碳納米管為陰極發(fā)射材料,改進了因柵網(wǎng)網(wǎng)孔處電場下降帶來的發(fā)射效率降低的問題,并提升了陰極發(fā)射電子在柵極處的透過率,從而增大了陽極電流。
東南大學
2021-04-11