一種采用圖形噴嘴的有機(jī)氣相成膜裝置及其成膜方法
本發(fā)明公開(kāi)了一種采用圖形噴嘴的有機(jī)氣相成膜裝置,包括蒸 發(fā)腔、與蒸發(fā)腔連通的噴印頭及與噴印頭相距一定間隙的基板載臺(tái), 基板載臺(tái)受控制相對(duì)噴印頭分別沿噴印頭主軸方向、與噴印頭主軸垂 直平面內(nèi)的水平方向以及平面內(nèi)與水平方向垂直的第三方向直線移 動(dòng)。噴印頭包括噴印頭基體、包覆噴印頭基體的加熱套、位于噴印頭 基體一端的圖形噴嘴、與圖形噴嘴連通的混合腔以及連通所述蒸發(fā)腔 與混合腔的氣體入口。圖形噴嘴的開(kāi)口具有一定形狀,蒸發(fā)腔用于蒸 發(fā)固體有機(jī)材料得到氣相有機(jī)材料并通過(guò)噴印頭的氣體入口進(jìn)入噴印 頭的混合腔,接著
華中科技大學(xué)
2021-04-14