一種同質(zhì)結(jié)型感存算集成器件及其制備方法
本發(fā)明公開(kāi)一種同質(zhì)結(jié)型感存算集成器件及其制備方法。該同質(zhì)結(jié)型感存算集成器件包括:柔性襯底;底電極,其為有機(jī)導(dǎo)電聚合物,形成在所述柔性襯底上;第一功能層,其為經(jīng)退火后的三元素n型氧化物半導(dǎo)體薄膜,具有光電響應(yīng)的結(jié)晶相,形成在所述底電極上;第二功能層,其為未經(jīng)退火的三元素n型氧化物半導(dǎo)體薄膜,與所述第一功能層的材料相同,共同構(gòu)成同質(zhì)結(jié);多個(gè)彼此間隔分布的凹槽,貫穿所述第二功能層和所述第一功能層至底電極,其內(nèi)填充有隔離層;頂電極,形成在所述第二功能層上,其中,第一功能層在光照下產(chǎn)生光生載流子,對(duì)光學(xué)信息進(jìn)行感知,并以電流的形式反饋至器件,同時(shí)借助第二功能層的憶阻特性,以實(shí)現(xiàn)整體器件狀態(tài)的記憶存儲(chǔ),通過(guò)對(duì)器件不斷地施加光電信號(hào),實(shí)現(xiàn)器件電導(dǎo)的連續(xù)調(diào)制,從而實(shí)現(xiàn)神經(jīng)形態(tài)計(jì)算中權(quán)重更迭。
復(fù)旦大學(xué)
2021-01-12