一種離子團(tuán)束 3D 打印裝置及方法
本發(fā)明公開了一種離子團(tuán)束 3D 打印裝置,包括離子源、離子團(tuán) 束打印頭、XYZ 三軸移動平臺和載物平臺,離子源用于提供離子團(tuán)束; 離子團(tuán)束打印頭包括牽引電極、一級靜電透鏡、限束光闌、多級磁偏 轉(zhuǎn)裝置和二級靜電透鏡,牽引電極用于從離子源中引出離子團(tuán)束;一 級靜電透鏡用于提高離子團(tuán)束的速度;多級磁偏轉(zhuǎn)裝置用于調(diào)整離子 團(tuán)束的位置以減少像散以及實(shí)現(xiàn)離子團(tuán)束消隱;二級靜電透鏡用于聚 焦得到所需孔徑的離子團(tuán)束;XYZ 三軸移動平臺用于帶動離子源和離 子團(tuán)束打印頭移動;載物平臺,用于承接工件。本發(fā)明采用將離子團(tuán)
華中科技大學(xué)
2021-04-14