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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
一種具備零直流電壓故障穿越能力的 MMC 及其設計方法
本發明公開了一種具備零直流電壓故障穿越能力的 MMC 及其 設計方法。綜合半橋子模塊成本低、運行效率高及全橋子模塊可輸出 負電平的優勢，采用本發明所提出的零直流電壓故障穿越方案，根據 半橋子模塊與全橋子模塊額定電壓，并結合 MMC 直流側額定電壓及 交流側相電壓峰值，計算出半橋和全橋子模塊配置個數；得到的 MMC 可在保證其能實現零直流電壓故障穿越的前提下，有效降低變換器成 本及提高變換器的運行效率。本發明提出的技術方案并不局限于半橋子模塊和全橋子模塊的組合，還可以是半橋子模塊和其它能在非閉鎖 狀態
華中科技大學
2021-04-14
一種用于加工大直徑薄壁盤類零件的數控雙面車床
華中科技大學
2021-04-14
復雜零件全流程加工精度/效率/能耗預測技術與智能工藝優化決策系統
本項目突破了機理模型與工況數據混合驅動的航空/航天復雜薄壁曲面零件全流程加工精度/效率/能耗預測技術，提出了零件全流程加工智能工藝優化決策方法，開發了具有完全自主知識產權的智能加工產線工藝全流程智能決策和優化軟件系統。
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、成果簡介
本項目突破了機理模型與工況數據混合驅動的航空/航天復雜薄壁曲面零件全流程加工精度/效率/能耗預測技術，提出了零件全流程加工智能工藝優化決策方法，開發了具有完全自主知識產權的智能加工產線工藝全流程智能決策和優化軟件系統。
1、提出機理模型和工況數據混合驅動的航空/航天復雜薄壁零件全流程加工精度/效率/能耗高效高精預測算法，突破全流程加工工藝智能優化與決策技術。
2、開發具有自主知識產權的智能加工產線工藝全流程智能決策和優化軟件系統，實現能耗監測/DFM/CAM/CAPP等工藝設計軟件核心算法完全自主可控。
華中科技大學
2022-07-27
一種短路電流零點預測方法及短路電流選相分斷控制方法
本發明公開了一種短路電流零點預測方法及短路電流選相分斷 控制方法，短路電流選相分斷控制方法包括 S1 實時采集電流信號，并 判斷是否發生短路故障，若是，則轉入步驟 S2，若否，則繼續采集電 流信號；S2 采用類-Prony 方法對短路電流進行處理，獲得短路電流零 點；S3 根據短路電流零點、斷路器的分閘動作時間和最佳燃弧時間獲 得距離目標相位的延時時間；S4 判斷繼電保護指令是否達到，若是， 則直接分斷開關，若否，則進入延時倒計時；S5 判斷延時倒計時時間 是否為 0，若是，則轉入步驟 S6，若否，
華中科技大學
2021-04-14
一種適用于復雜零件的固熔復合增材成形方法
本發明公開了一種適用于復雜零件的固熔復合增材成形方法， 該方法包括以下步驟：建立金屬零件 CAD 幾何模型，然后提取 STL 模型，利用分層切片軟件以分層厚度為單位對 STL 模型進行合理分層 并提取各層的輪廓信息，由計算機根據這些輪廓信息生成控制指令； 通過切割裝置用該層對應的數控指令沿該層的輪廓軌跡切割該層板 料；按照各層的排列次序通過焊料依次將各層板料進行粘合，以此完 成整個零件的粘合處理；粘合處理后的整個零件進行加熱，以實現固 熔復合熔接成形，以此方式，完成復雜零件的增材成形。本發明與現 有
華中科技大學
2021-04-14
一種用于軸類零件在裝配或加工中實現翻轉的裝置
本實用新型公開了一種用于軸類零件在裝配或加工中實現翻轉的裝置。包括氣爪機構和翻轉機構，傳送鏈上沿傳送方向依次設置有用于控制軸類零件前進和停止的氣爪機構和翻轉機構；翻轉機構包括兩個底座、兩根豎直導桿、水平導桿和導向桿，兩根豎直導桿下部分別插裝在兩側的底座上；豎直導桿上部固定安裝有水平導桿，兩側的水平導桿相對布置，兩側的水平導桿之間套接有導向桿；底座底部側壁開有槽口，槽口內裝有用于防止軸類零件過度翻轉的彈簧片。本實用新型能有效的保證零件的翻轉，減少了操作工位，同時也減少工作設備，結構簡單，而且不會占用太多空間，適用于各種軸類零件，降低了成本，大大提高了生產效率。
浙江大學
2021-04-13
羅云波、朱鴻亮教授團隊揭示番茄SlRBP1蛋白在轉錄本翻譯調控水平維持葉綠體功能的重要機制
SlRBP1通過與SleIF4A2翻譯起始復合物結合促進靶標RNAs翻譯以調節葉綠體功能。該發現闡明了RNA結合蛋白依托細胞器調控番茄生長發育的機制，為番茄增產、品種改良提供了潛在育種價值。
中國農業大學
2022-05-31
格列本脲在制備用于防治由植物病原菌引起的植物病害的殺菌劑中的用途
本發明公開了格列本脲在制備用于防治由植物病原菌引起的植物病害的殺菌劑中的用途，本發明通過室內毒力測定，證明了格列本脲對植物病原真菌具有良好的抑制活性。格列本脲作為殺菌劑，具有高效和低毒的優點，適合于植物病害化學防治的要求。目前大量殺菌劑的使用，導致病原菌的抗藥性增強，而且傳統的殺菌劑對環境污染大、殘留高，直接威脅著人類的食品安全。而格列本脲是一種可降解、無污染、對環境友好的小分子化合物，并且其抗藥性差、對非靶標生物及人畜安全，能夠保證農產品及果蔬的高品質，符合可持續發展的要求，其研究和市場應用前景廣闊。
青島農業大學
2021-04-13
一種采用選區激光熔化成形技術成形功能梯度零件的方法
本發明公開了一種采用選區激光熔化成形技術成形功能梯度零 件的方法，包括以下步驟：(1)將零件三維模型導入到選區激光熔化成 形設備中；(2)將粉末 A 放置于送粉床里，將粉末 B 放置于送粉斗中； (3)先成形粉末 A，再成形粉末 B；(4)采用線切割工藝將功能梯度零件 從基板上分離，在馬弗爐中進行退火處理，則得到成品。本發明利用 粉床增材制造中的粉床鋪粉結合送粉斗下落粉技術，可以一次性成形 出功能梯度材料，節約總成形
華中科技大學
2021-04-14