一種適用于納米材料操控的多自由度納米操作臺(tái)
本發(fā)明公開了一種適用于納米材料操控的多自由度納米操作臺(tái),包括底座、Z 向位移臺(tái)、XY 向位移臺(tái)和納米操作臂,其中 Z 向位移臺(tái)沿著豎直方向設(shè)置在底座上,包括彼此連接的固定部件和安裝有 Z 向直線驅(qū)動(dòng)電機(jī)的移動(dòng)部件;XY 向位移臺(tái)沿著水平方向設(shè)置在 Z 向位移臺(tái)的移動(dòng)部件上,并包括彼此并聯(lián)滑動(dòng)連接的第一至第三并聯(lián)部件,其中第一并聯(lián)部件上安裝有 Y 向直線驅(qū)動(dòng)電機(jī),第二并聯(lián)部件上安裝有 X 向直線驅(qū)動(dòng)電機(jī),第三并聯(lián)部件上安裝有旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)電機(jī)和納米操作臂。本發(fā)明通過對(duì)驅(qū)動(dòng)電機(jī)與位移臺(tái)的高精度控制以及主要
華中科技大學(xué)
2021-04-14