一種圖像壓縮光學(xué)芯片的實(shí)時(shí)在線制作檢測(cè)系統(tǒng)及方法
本發(fā)明屬于光電子芯片加工制造技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種圖像壓縮光學(xué)芯片的實(shí)時(shí)在線制作檢測(cè)系統(tǒng)及方法。利用計(jì)算機(jī)對(duì)待壓縮圖像進(jìn)行壓縮得到第一圖像,并掃描得到第一圖像灰度信息,根據(jù)第一圖像得到第一控制信息;超快激光器根據(jù)第一控制信息對(duì)光學(xué)芯片材料進(jìn)行波導(dǎo)結(jié)構(gòu)加工;激光器陣列根據(jù)第一圖像灰度信息產(chǎn)生對(duì)應(yīng)功率的激光并通過(guò)光纖進(jìn)入至光學(xué)芯片材料;利用光功率探測(cè)器陣列接收光學(xué)芯片材料輸出的激光并得到功率信息;計(jì)算機(jī)根據(jù)功率信息得到第二圖像灰度信息,重構(gòu)得到第二圖像,根據(jù)第一圖像和第二圖像得到第二控制信息;超快激光器根據(jù)第二控制信息對(duì)光學(xué)芯片材料進(jìn)行在線矯正加工。本發(fā)明能夠提高光學(xué)芯片的生產(chǎn)效率、降低制造成本。
湖北工業(yè)大學(xué)
2021-01-12