基于硅基懸臂梁T型結(jié)直接加熱在線式毫米波相位檢測器
本發(fā)明的基于硅基懸臂梁T型結(jié)直接加熱在線式毫米波相位檢測器,主要由懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)、T型結(jié)和直接加熱式微波功率傳感器構(gòu)成。懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)中,兩個懸臂梁在CPW中央信號線上方,結(jié)構(gòu)相同,用于耦合部分待測信號,通過錨區(qū)與T型結(jié)相連,兩個懸臂梁之間CPW傳輸線的電長度為λ/8。懸臂梁下方的CPW中央信號線上覆蓋了一層Si3N4介電層,用于防止電學短路。參考信號通過T型結(jié)分成兩路信號,分別與兩路懸臂梁耦合的信號通過T型結(jié)合成,T型結(jié)的輸出端連接到直接加熱式微波功率傳感器進行功率檢測。最后根據(jù)兩個直接加熱式微波
東南大學
2021-04-14