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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
山東省人民政府關于加快構建一流科技創新生態的意見
為積極順應新一輪科技革命和產業變革新趨勢，努力爭當高水平科技自立自強排頭兵，現就加快建設科技強省，構建一流科技創新生態，提出如下意見。
山東省人民政府
2025-04-03
連續流微反應器技術
上海交通大學
2021-04-11
三分螺旋折流板換熱器
該項目應用領域：可替代現有各種管殼式換熱器方案，尤其對貴重材料應用的經濟性更好，如銅管干式蒸發器、鈦管閉式冷卻器等。
東南大學
2021-04-10
新型微流控注射器“濾頭”
開發了一種新型微流控注射器“濾頭”，通過簡單將樣品注入濾頭即可實現微粒的“片上濃縮”
東南大學
2021-04-11
螺旋折流板換熱器熱力設計技術
管殼式換熱器在現代工業中占有十分重要的地位，特別是在動力、能源、化工、空調制冷、石油、冶金、核能等工業領域中應用極為廣泛，它是工藝流程中的一種主要設備。傳統的弓形折流板換熱器存在流動死區，易結垢，無法充分利用傳熱面積從而導致傳熱系數低，壓降大，管束易產生流體誘導振動等缺點。高效的管殼式換熱設備能從多方面節省能源的消耗：一方面可以節省驅使換熱器中冷熱兩種流體的運動所需的功耗，同時換熱面積的縮小可以減少生產換熱設備所需的能耗以及原材料，有效的結構形式還可以減少換熱面結垢的可能性，延長運行周期。因此換熱設備的高效強化是實現我國過程工業節能的關鍵因素之一。據統計，管殼式換熱器大約占世界換熱器市場總份額的35–40%，且在石油、化工領域管殼式換熱器能占到高達70％的份額。因此對螺旋折流板管殼式換熱器進行推廣應用對于節能具有重要的意義，可以創造巨大的社會效益和經濟效益。 上世紀末提出使用螺螺旋折流板支撐結構代替傳統的弓形折流板支撐結構可以顯著降低殼側壓降，也有利于強化換熱，具有良好的綜合性能，雖然近十余年中國內外對于螺旋折流板管殼式換熱器開展了較多的研究，但現有的公開發表的資料中未見到有關螺旋折流板換熱器的完整的設計方法介紹。本技術基于本課題組大量的試驗與數值模擬研究并參考相關公開發表的文獻，開發一套完整的熱力設計方法和軟件。 該項目是在教育部重點課題和“973”項目的大力支持下，經過多年的努力完成的。針對單殼程多管程單相介質流動換熱的螺旋折流板管殼式換熱器所開發的熱力設計軟件，該軟件擁有完全的自主知識產權。本軟件采用VB6.0、EXCEL2003和FORTRAN混合編程。VB形成可視化操作界面，可視化數據輸入輸出，實現數據傳遞功能；調用FROTRAN語言編制的可執行程序讀取所需數據完成核心計算；調用EXCEL軟件進行相關數據的保存和輸入輸出管理。
西安交通大學
2021-04-11
一種初期雨水棄流裝置
本實用新型提出了一種初期雨水棄流裝置，包括井體、進水管、棄流管和出水管，井體側壁上端設有進水口，井體內中部設有隔板，且隔板的最高端不高出進水口，隔板將井體內部分隔成過濾腔和棄流腔，且過濾腔設置在井體靠近進水口一側，井體側壁上設有與過濾腔連通的出水口以及與棄流腔連通的棄流口，過濾腔內填充有砂層，井體內靠近進水口處并位于砂層上方設有活性炭層；進水管與進水口連通，棄流管與棄流口連通，出水管與出水口連通。本實用新型能夠將小流量的雨水資源通過過濾等方式凈化其水質，加以利用；通過紗布網對活性炭層進行固定，以防止
安徽建筑大學
2021-01-12
新型煤粉旋流燃燒器
該種新型煤粉旋流燃燒器的特點如下：⑴使用“變截面中心管”和“擋塊”結合的可調煤粉濃縮器，將煤粉氣流用慣性分離為內濃外淡的兩股環狀氣流，以實現徑向濃淡燃燒。⑵有擴口的外二次風使用較高流速，以強化后期混合。⑶有擴口的內二次風為強旋轉射流，用于組織回流區和前期燃燒。⑷外一次風口和內二次風口之間有一個“雙錐形噴口”，也就是內、外兩側呈相對的兩個錐形的噴口，能輔助內二次風組織流場，形成穩定且有適當回流量的中心回流區；可延遲一、二次風的混合，以保證煤粉的著火和揮發分析出區的還原性氣氛；將外一次風中的煤粉引向中心回流區方向，可強化著火；噴口后將形成一圈小的駐渦，幫助穩燃并擠壓中心回流區使之變得狹長。⑸外一次風，即淡側一次風具有隔離濃側一次風與二次風的作用，使一次燃燒區為一個狹長的還原性區域。⑹內一次風使用了齒形穩燃環，齒后將形成一個個小駐渦，利于著火；齒狀阻塞將加強濃一次風與回流區之間的湍流混合；齒狀噴口會加大濃一次風的周界長度，也可強化混合，穩定著火。。
西安交通大學
2021-04-11
旋流輸運、抽排和凈化技術
成果創新點 通風換氣、餐飲油煙凈化、腐蝕物輸運、工業分離輸 送、河道除淤疏浚、采礦打沙及食品加工等領域。主要技 術創新路徑：龍卷風旋渦能夠產生強大抽吸力 核心優勢：風機抽吸力絲毫不減，而套筒抽排能力與 風機相當，總排風量大大高于單獨的風機的排風量；旋流 卷吸套筒獨立使用，為風機另辟進風渠道實現免污染，排 風管道暢通無阻，特別適合腐蝕性或復雜環境中工作；旋 流卷吸無需額外能耗，旋轉氣流產生離
中國科學技術大學
2021-04-14
旋流輸運、抽排和凈化技術
通風換氣、餐飲油煙凈化、腐蝕物輸運、工業分離輸送、河道除淤疏浚、采礦打沙及食品加工等領域。主要技術創新路徑：龍卷風旋渦能夠產生強大抽吸力
核心優勢：風機抽吸力絲毫不減，而套筒抽排能力與風機相當，總排風量大大高于單獨的風機的排風量；旋流卷吸套筒獨立使用，為風機另辟進風渠道實現免污染，排風管道暢通無阻，特別適合腐蝕性或復雜環境中工作；旋流卷吸無需額外能耗，旋轉氣流產生離心力還可以實現分選截留，實現凈化功能。
中國科學技術大學
2023-05-16