一種非接觸式金屬電遷移測量方法和裝置
本發(fā)明公開了一種非接觸式金屬互連線電遷移測量方法,具體為:使用平行光照射標定用金屬互聯(lián)線,同時采用四探針檢測標定用金屬互聯(lián)線的電阻;建立四探針檢測到的標定用金屬互聯(lián)線的電阻與標定用金屬互聯(lián)線的表面反射光強的對應(yīng)關(guān)系;使用平行光照射待測金屬互聯(lián)線;實時檢測待測金屬互聯(lián)線表面反射光的強度;依據(jù)建立的電阻與反射光強的對應(yīng)關(guān)系獲取待測金屬互聯(lián)線在某反射光強下對應(yīng)的電阻值。本發(fā)明還提供了測量裝置,主要包括四探針、平行光光源、光學顯微鏡和計算機。本發(fā)明不接觸試樣的情況下對試樣上的較大范圍金屬互連線電遷移同時進行實時檢測,與普通的四探針檢測方法相比,檢測范圍更大,時間更快、成本更低。
華中科技大學
2021-04-11