一種提拉法晶體生長爐
一種提拉法晶體生長爐,屬于提拉法單晶生長裝置,解決現(xiàn)有提拉法晶體生長爐內(nèi)由于冷卻氣的非對稱流動引起的不穩(wěn)定性和熔體內(nèi)包裹體雜質(zhì)在晶體中聚集的問題。本發(fā)明包括爐體、基座、內(nèi)隔熱層、電磁感應(yīng)加熱器、爐蓋、坩堝、坩堝蓋和籽晶桿;坩堝內(nèi)固定有坩堝整流筒,坩堝整流筒下端具有沿圓周均布的矩形孔;籽晶桿下部通過徑向呈輻射狀均勻分布的肋條與隔熱環(huán)連接,所述隔熱環(huán)為圓環(huán)形,其外徑與內(nèi)隔熱層的內(nèi)徑相適應(yīng)。本發(fā)明設(shè)計(jì)簡單可靠,能夠有
華中科技大學(xué)
2021-04-14