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光掩膜版(又稱(chēng)光罩，掩膜版，英文 Photo-mask )是芯片制作中實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)圖形轉(zhuǎn)移的載體，是決定其微細(xì)結(jié)構(gòu)和線寬精度的核心材料和工具。 目前中國(guó)半導(dǎo)體掩膜版的國(guó)產(chǎn)化率10%左右，90%需要進(jìn)口，高端掩膜版國(guó)產(chǎn)化率3%，miniLED和microLED產(chǎn)業(yè)升級(jí)也需要更多高端掩膜版。隨著中國(guó)市場(chǎng)需求的持續(xù)提升，掩膜版產(chǎn)能?chē)?yán)重不足。并且中國(guó)半導(dǎo)體掩膜版的產(chǎn)業(yè)起步較晚，技術(shù)滯后，核心技術(shù)和裝備基本讓國(guó)外公司壟斷，特別是在設(shè)備、材料領(lǐng)域眾多技術(shù)處于“卡脖子”狀態(tài)，例如掩膜版制造的核心裝備光刻機(jī)、檢測(cè)機(jī)、測(cè)量機(jī)、修復(fù)機(jī)和貼膜機(jī)等都依賴進(jìn)口，嚴(yán)重制約中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。華中科技大學(xué)徐智謀教授團(tuán)隊(duì)致力于全套高端半導(dǎo)體光掩膜版的關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)與量產(chǎn)，為“卡脖子”技術(shù)研究而努力。 具有建立180 nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)半導(dǎo)體掩膜版量產(chǎn)線相關(guān)核心技術(shù)；具備130 nm至28 nm半導(dǎo)體掩膜版研發(fā)、設(shè)計(jì)及驗(yàn)證能力。主要研究成果如下： 1） 工藝突破 團(tuán)隊(duì)掌握了掩膜版MEMS微納加工量產(chǎn)核心技術(shù)，如電子束光刻、激光光刻和納米壓印光刻等MEMS微納加工工藝的各類(lèi)技術(shù)參數(shù)的搭配和優(yōu)化，以及大數(shù)據(jù)量軟件快速處理、補(bǔ)償?shù)取? 2） 裝備國(guó)產(chǎn)化 A. 超高精度二維測(cè)量裝備 尺寸測(cè)量是驗(yàn)證掩膜版技術(shù)指標(biāo)的核心，主要包括關(guān)鍵尺寸測(cè)量(CD)和長(zhǎng)尺寸測(cè)量(TP)。團(tuán)隊(duì)已掌握掩膜版的關(guān)鍵測(cè)量技術(shù)，達(dá)到國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平，具有整套設(shè)備的整機(jī)制造能力。 TP測(cè)量是掩膜版制作的核心指標(biāo)，直接影響到客戶的套合精度，該測(cè)量設(shè)備一直由國(guó)外極少數(shù)廠商壟斷，且價(jià)格昂貴，一般在1000萬(wàn)美元以上，高端限制對(duì)中國(guó)出口。團(tuán)隊(duì)目前正在攻克該項(xiàng)技術(shù)，已取得階段性成果。 B. 缺陷修復(fù)裝備 掩膜版修補(bǔ)技術(shù)是提升良品率的關(guān)鍵手段，該技術(shù)一直為國(guó)外壟斷。團(tuán)隊(duì)已熟練掌握UV、DUV激光化學(xué)沉積技術(shù)及皮秒飛秒激光金屬處理技術(shù)，具備整機(jī)制造能力，可降低設(shè)備采購(gòu)成本70%以上。 C. Pellicle自動(dòng)貼膜裝備 隨著產(chǎn)品精度的提升和應(yīng)用領(lǐng)域的高端化，掩膜版貼膜是個(gè)不可缺少的重要環(huán)節(jié)。在IC制造領(lǐng)域100%掩膜版需貼Pellicle，在IC封裝領(lǐng)域90%以上需貼膜，在LED領(lǐng)域80%以上需貼膜。該貼膜設(shè)備一直國(guó)外公司壟斷，國(guó)內(nèi)廠家沒(méi)有提供，國(guó)外采購(gòu)全自動(dòng)貼膜設(shè)備需100萬(wàn)美元左右。團(tuán)隊(duì)具備研發(fā)制造該設(shè)備的能力，貼膜精度±0.1mm,且有設(shè)備正式在產(chǎn)線運(yùn)營(yíng)，制造成本可節(jié)約90%以上。 3） 廠房建設(shè)關(guān)鍵技術(shù) 團(tuán)隊(duì)對(duì)MEMS及其掩膜工廠工藝設(shè)備廠務(wù)設(shè)計(jì)有豐富經(jīng)驗(yàn)，掌握高等級(jí)防微震廠房結(jié)構(gòu)和設(shè)備平臺(tái)的設(shè)計(jì)施工，可達(dá)到VC-D級(jí)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，滿足納米級(jí)生產(chǎn)技術(shù)要求。 【技術(shù)優(yōu)勢(shì)】 （1）掌握了高性價(jià)比掩膜版量產(chǎn)的關(guān)鍵核心技術(shù)，包括部分裝備的國(guó)產(chǎn)化，解決“卡脖子”技術(shù)難題，量產(chǎn)線建設(shè)成本節(jié)約30%以上； （2）具備28 nm及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)掩膜版設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)能力和驗(yàn)證平臺(tái)，驗(yàn)證周期可縮短3倍； （3）擁有一支20多年以上掩膜版量產(chǎn)、研發(fā)和銷(xiāo)售經(jīng)驗(yàn)的隊(duì)伍，成熟的企業(yè)管理經(jīng)驗(yàn)，保證企業(yè)穩(wěn)步成長(zhǎng)，確保投資風(fēng)險(xiǎn)可控。 【合作方式】 股權(quán)投資合作共建或政府孵化+中試線。

本發(fā)明公開(kāi)了一種混合集成電控液晶光開(kāi)關(guān)陣列，包括：被混合集成的電控液晶聚光微透鏡陣列和電控液晶散光微透鏡陣列，每單元液晶聚光微透鏡與每單元液晶散光微透鏡的光軸重合；在加電態(tài)下，聚光微透鏡在不同均方幅度的電驅(qū)控信號(hào)作用下實(shí)施光束的可調(diào)焦聚光操作，散光微透鏡在不同均方幅度的電驅(qū)控信號(hào)作用下實(shí)施光束的可控發(fā)散程度散光操作；在斷電態(tài)下，液晶聚光微透鏡與散光微透鏡被轉(zhuǎn)換為僅延遲光波相位的液晶相移板；液晶聚光微透鏡與散光微透

 本項(xiàng)目針對(duì)光伏發(fā)電分散式接入電網(wǎng)的模式，設(shè)計(jì)了對(duì)電網(wǎng)友好可控的帶儲(chǔ)能裝置的多端口變換器光儲(chǔ)一體能源系統(tǒng)。應(yīng)用環(huán)境有公共建筑、工業(yè)廠房和居民家庭等有公共電網(wǎng)的地方，或者無(wú)公共電網(wǎng)但有電力需求的地方如偏遠(yuǎn)山區(qū)、海島等，該光儲(chǔ)能源系統(tǒng)能夠經(jīng)過(guò)自我調(diào)節(jié)和控制與大電網(wǎng)互為支撐，向重要負(fù)載不間斷供電等功能。 本項(xiàng)目成功開(kāi)發(fā)50Kw光儲(chǔ)一體能源系統(tǒng)，系統(tǒng)含有光伏端口、電池端口和交流端口，光伏組件通過(guò)Boost變換器接入直流母線；蓄電池通過(guò)雙向DC/DC變換器也接在直流母線上；變換器的交流端口可以接電網(wǎng)，也能為三相負(fù)載供電，逆變器采用三相四線制結(jié)構(gòu)，直流母線分裂電容的電壓均衡由均壓橋臂（S11，S12）平衡。本系統(tǒng)有三大特征：采用雙路光伏MPPT輸入，使安裝在不同方向的光伏陣列最大限度獲取太陽(yáng)能；能量采用直流母線匯聚形式，降低了系統(tǒng)損耗和效率；負(fù)載接口分為重要負(fù)載和可控負(fù)載接口，確保系統(tǒng)維持對(duì)重要負(fù)載的供電，實(shí)現(xiàn)能量的平衡自治。 項(xiàng)目具有重大的科研價(jià)值，項(xiàng)目成功實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品轉(zhuǎn)化，將應(yīng)用于海南某小區(qū)幾個(gè)單元的供電系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)能量自給自足、余電上網(wǎng)模式，開(kāi)啟綠色環(huán)保、低碳節(jié)能的新用電方式。

成果簡(jiǎn)介：在航空航天領(lǐng)域，光電儀器受溫度影響會(huì)產(chǎn)生像移，成像質(zhì)量會(huì) 變差，影響探測(cè)。本技術(shù)將光學(xué)設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、有限元分析、光學(xué)表面自由曲面面型擬合結(jié)合起來(lái)，可以分析在恒溫和瞬態(tài)溫度變化的情況下，成像 質(zhì)量的變化，進(jìn)而給溫控提供準(zhǔn)確的技術(shù)方案和技術(shù)途徑。 項(xiàng)目來(lái)源：橫向項(xiàng)目 技術(shù)領(lǐng)域：信息技術(shù) 應(yīng)用范圍：航空航天光電探測(cè)領(lǐng)域 現(xiàn)狀特點(diǎn)：國(guó)內(nèi)領(lǐng)先 技術(shù)創(chuàng)新： 本技術(shù)將光學(xué)設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、有限元分析、光

產(chǎn)品概述： 磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)磁學(xué)測(cè)量?jī)x器  您也可以在淘寶網(wǎng)首頁(yè)搜索“錦正茂科技”，就能看到我們的企業(yè)店鋪，聯(lián)系更加方便快速！   磁光克爾效應(yīng)裝置是一種基于磁光效應(yīng)原理設(shè)計(jì)的超高靈敏度磁強(qiáng)計(jì)，是研究磁性薄膜、磁性微結(jié)構(gòu)的理想測(cè)量工具。旋轉(zhuǎn)磁光克爾效應(yīng)（RotMOKE）是在磁光克爾效應(yīng)測(cè)量基礎(chǔ)上的一種類(lèi)似于轉(zhuǎn)矩測(cè)量各向異性的實(shí)驗(yàn)方法，可以定量的得到樣品的磁各向異性的值。但由于電磁鐵磁場(chǎng)大小的限制，只適合于測(cè)量磁各向異性的易軸在膜面內(nèi)而且矯頑場(chǎng)不太大的磁性薄膜材料。結(jié)合源表可以進(jìn)行樣品的磁輸運(yùn)性能測(cè)量。RotMOKE具有以下特點(diǎn)：測(cè)量精度高、測(cè)量時(shí)間短；非接觸式測(cè)量，是一種無(wú)損測(cè)量；測(cè)量范圍為一個(gè)點(diǎn)，可以測(cè)量同一樣品不同部位的磁化情況；可以產(chǎn)生平滑、穩(wěn)定的受控磁場(chǎng)，并且磁場(chǎng)平滑過(guò)零。 您也可以在淘寶網(wǎng)首頁(yè)搜索“錦正茂科技”，就能看到我們的企業(yè)店鋪，聯(lián)系更加方便快速！ 磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)磁學(xué)測(cè)量?jī)x器 應(yīng)用領(lǐng)域： 磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于諸如磁性納米技術(shù)、自旋電子學(xué)、磁性薄膜、磁性隨機(jī)存儲(chǔ)器、GMR/TMR等磁學(xué)領(lǐng)域。 可測(cè)試材料：記錄磁頭，磁性薄膜，特殊磁介質(zhì)，磁場(chǎng)傳感器  技術(shù)指標(biāo): 1· 樣品尺寸：大Φ10mm的圓 2· 克爾角分辨率（δ）：0.001度； 3·橢偏率分辨率（ε）：0.1%； 4·小光斑（Φ）：10微米； 5· 大磁場(chǎng)：?jiǎn)尉S0.26特斯拉； 6· 樣品電動(dòng)角度步進(jìn)0.1度，手動(dòng)位移步進(jìn)10微米； 7·噪音：1%。 您也可以在淘寶網(wǎng)首頁(yè)搜索“錦正茂科技”，就能看到我們的企業(yè)店鋪，聯(lián)系更加方便快速！ 作為北京高科技企業(yè)，錦正科技以現(xiàn)代高科技產(chǎn)業(yè)和傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)為核心業(yè)務(wù)，對(duì)內(nèi)承接科研生產(chǎn)任務(wù)，對(duì)外以商務(wù)平臺(tái)方式實(shí)現(xiàn)軍民兩用技術(shù)成果轉(zhuǎn)換，形成了科學(xué)管理的現(xiàn)代化經(jīng)營(yíng)模式，專(zhuān)門(mén)從事物理、化學(xué)和材料等領(lǐng)域的科學(xué)儀器研發(fā)、銷(xiāo)售各類(lèi)型超低溫測(cè)試設(shè)備（液氮 液氦）制冷機(jī)系統(tǒng)集成 ，定制 ，高低溫真空磁場(chǎng)發(fā)生系統(tǒng)，Helmholtz線圈（全套解決方案），電磁鐵（全系列支持定制），螺線管，電子槍?zhuān)ǜ叻€(wěn)定性雙極性磁鐵恒流電源1ppm），高低溫磁場(chǎng)真空探針臺(tái)，霍爾測(cè)試系統(tǒng)，電輸運(yùn)測(cè)量解決方案，磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)等產(chǎn)品種類(lèi)齊全，性能可靠，至今已有近10余年的歷史，是國(guó)內(nèi)（較早）生產(chǎn)探針臺(tái)，電輸運(yùn)，電磁鐵的廠家之一。    

120mm×80mm×110mm，紅、綠、藍(lán)三色光源亮度可調(diào)，學(xué)生可分組探究光的三原色合成。

335mm×200mm×95mm，光罩φ35mm×160mm，工作電壓DC6V/0.3A，內(nèi)外接電源均可，三色光可單獨(dú)或合并工作，可合成白光。

深圳市德普光業(yè)科技有限公司是一家集研究、生產(chǎn)、銷(xiāo)售為一體的科技創(chuàng)新型公司，目前公司已研發(fā)的產(chǎn)品包括但不限于4K實(shí)時(shí)同屏直播系統(tǒng)、實(shí)時(shí)音視頻編碼輸出系統(tǒng)、4K多媒體自動(dòng)同步播放器、CastMore輕量級(jí)投屏軟件、CastFileCoder轉(zhuǎn)碼器等產(chǎn)品，為教育、辦公場(chǎng)景的音視頻底層處理、傳輸?shù)葢?yīng)用提供完整、成熟、可靠的解決方案。 根據(jù)廣大用戶的強(qiáng)列要求，公司還基于騰訊云研發(fā)了云直播及CastManager服務(wù)，能為廣大用戶提供高并發(fā)、無(wú)用戶數(shù)量限制云直播服務(wù)及無(wú)區(qū)域限制（限國(guó)內(nèi)）的產(chǎn)品級(jí)聯(lián)服務(wù)。 經(jīng)營(yíng)范圍包括一般經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目是：計(jì)算機(jī)軟件、信息系統(tǒng)軟件的開(kāi)發(fā)、銷(xiāo)售；信息系統(tǒng)設(shè)計(jì)、集成、運(yùn)行維護(hù)；信息技術(shù)咨詢；集成電路設(shè)計(jì)、研發(fā)；設(shè)計(jì)、制作、加工計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)產(chǎn)品； 辦公用品及耗材銷(xiāo)售；通訊網(wǎng)絡(luò)設(shè)備及線材銷(xiāo)售；多媒體電教設(shè)備研發(fā)及銷(xiāo)售；舞臺(tái)燈光音響工程、安防工程、 聲學(xué)裝飾工程設(shè)計(jì)安裝；建材五金、電器；塑膠制品、文具辦公用品、體育用品及器材、服飾、照相器材、 樂(lè)器、燈具、日用百貨、家具、美術(shù)用品、玩具及玩具器材的批發(fā)與銷(xiāo)售；電子商務(wù)平臺(tái)建設(shè)及運(yùn)營(yíng)；攝影攝像、多媒體制作、圖文設(shè)計(jì)制作、上門(mén)維修服務(wù)；影視器材、計(jì)算機(jī)及通訊設(shè)備、辦公設(shè)備租賃；文化體育活動(dòng)策劃；國(guó)內(nèi)貿(mào)易；經(jīng)營(yíng)電子商務(wù)；貨物及技術(shù)的進(jìn)出口。許可經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目是：食品的銷(xiāo)售。  

磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)高靈敏磁強(qiáng)計(jì)磁性測(cè)量 您也可以在淘寶網(wǎng)首頁(yè)搜索“錦正茂科技”，就能看到我們的企業(yè)店鋪，聯(lián)系更加方便快速！ 磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)高靈敏磁強(qiáng)計(jì)磁性測(cè)量 您也可以在淘寶網(wǎng)首頁(yè)搜索“錦正茂科技”，就能看到我們的企業(yè)店鋪，聯(lián)系更加方便快速！ 您也可以在淘寶網(wǎng)首頁(yè)搜索“錦正茂科技”，就能看到我們的企業(yè)店鋪，聯(lián)系更加方便快速！ 作為北京高科技企業(yè)，錦正科技以現(xiàn)代高科技產(chǎn)業(yè)和傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)為核心業(yè)務(wù)，對(duì)內(nèi)承接科研生產(chǎn)任務(wù)，對(duì)外以商務(wù)平臺(tái)方式實(shí)現(xiàn)軍民兩用技術(shù)成果轉(zhuǎn)換，形成了科學(xué)管理的現(xiàn)代化經(jīng)營(yíng)模式，專(zhuān)門(mén)從事物理、化學(xué)和材料等領(lǐng)域的科學(xué)儀器研發(fā)、銷(xiāo)售各類(lèi)型超低溫測(cè)試設(shè)備（液氮 液氦）制冷機(jī)系統(tǒng)集成 ，定制 ，高低溫真空磁場(chǎng)發(fā)生系統(tǒng)，Helmholtz線圈（全套解決方案），電磁鐵（全系列支持定制），螺線管，電子槍?zhuān)ǜ叻€(wěn)定性雙極性磁鐵恒流電源1ppm），高低溫磁場(chǎng)真空探針臺(tái)，霍爾測(cè)試系統(tǒng)，電輸運(yùn)測(cè)量解決方案，磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)等產(chǎn)品種類(lèi)齊全，性能可靠，至今已有近10余年的歷史，是國(guó)內(nèi)（較早）生產(chǎn)探針臺(tái)，電輸運(yùn)，電磁鐵的廠家之一。 錦正茂始終秉承“誠(chéng)信、合作、創(chuàng)造、共贏”的經(jīng)營(yíng)理念，將現(xiàn)代化管理技術(shù)引入到產(chǎn)品生產(chǎn)與管理中，通過(guò)新的軍民融合平臺(tái)建設(shè)，形成具有一定市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)的高科技企業(yè)；其次，公司逐步形成以現(xiàn)代化高科技產(chǎn)業(yè)化帶動(dòng)企業(yè)價(jià)值增張的商業(yè)模式，堅(jiān)持“與時(shí)俱進(jìn)，科技創(chuàng)新”的思路，彰顯業(yè)務(wù)的核心優(yōu)勢(shì)，共創(chuàng)新的戰(zhàn)略制高點(diǎn)。 公司目前擁有各類(lèi)技術(shù)人員30余名，其中產(chǎn)品研發(fā)工程師10余名（高級(jí)工程師4名）、工藝工程師3名、檢測(cè)工程師2名，售后服務(wù)工程師3名。已形成完整的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、安裝、調(diào)試、維修及相關(guān)配套服務(wù)的專(zhuān)業(yè)化的人才隊(duì)伍。承接大、中、小型儀器儀表的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、安裝、調(diào)試、維修業(yè)務(wù)。