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浙江大學聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎研究、技術攻關和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術 一、項目分類 關鍵核心技術突破 二、技術分析 如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關乎整機產(chǎn)品的產(chǎn)線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統(tǒng)國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎研究、技術攻關和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎理論與方法依據(jù)，同時自主研發(fā)的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎支撐。

本發(fā)明公開了一種基于多位采樣的數(shù)字解調(diào)方法及應用該方法的超再生接收機，其中解調(diào)方法包括如下步驟：１、對接收信號進行放大濾波，去除高頻熄滅信號分量；２、對濾波后的信號進行采樣，將模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號；３、對采樣后的數(shù)字信號進行同步和判決處理，得到輸出信號。采用本發(fā)明提供的解調(diào)方法，可以減少因硬判決造成的信息丟失，從而減少誤碼，提高接收機的靈敏度。

2020年3月19日，《自然-通訊》（Nature Communications）雜志在線發(fā)表了北京師范大學地理科學學部何春陽教授團隊的最新研究成果，定量評估和揭示了中國空氣污染防控政策成效，指出中國依然需要在未來實施更強有力的空氣質(zhì)量控制政策。該論文題為“中國需要進一步改善空氣質(zhì)量以減少PM2.5污染導致的人口死亡（Stronger policy required to substantially reduce deaths from PM2.5 pollution in China）”。 PM2.5污染是指直徑小于2.5μm的細顆粒物散布在空氣中，進而影響人類福祉與健康的現(xiàn)象。聯(lián)合國可持續(xù)發(fā)展目標3.9明確指出，到2030年，需要實質(zhì)性地減少危險化學品以及空氣、水和土壤污染導致的死亡和患病人數(shù)。根據(jù)全球疾病負擔項目最新的測算結果，中國每年有近一百萬人死于PM2.5污染。為了控制空氣污染及其負面影響，國務院于2013年施行了“大氣污染防治行動計劃”（以下簡稱“大氣十條”），計劃到2017年將城市中的PM2.5濃度降低10-25%。該計劃的整體投入約1.7萬億人民幣（約合2700億美元），覆蓋了中國三百多個地級行政區(qū)，橫跨能源、工業(yè)、交通、法律和法規(guī)等多個部門，是一項前所未有的空氣污染防治行動。2018年，中國生態(tài)環(huán)境部宣布該計劃設定的PM2.5濃度控制目標順利達成。然而，“大氣十條”相關的PM2.5污染防控所帶來的健康效益依然缺乏定論。 評價“大氣十條”健康效益的難點在于，PM2.5污染致死人數(shù)受PM2.5濃度、人口數(shù)量、年齡結構和疾病死亡率等多個因素的共同影響。目前已有研究往往使用PM2.5污染致死人數(shù)在2013-2017年的變化量來近似表示“大氣十條”所帶來的健康效益，也有研究通過假設其它因素不變來量化PM2.5濃度變化的影響。但是，這些研究都很難區(qū)分各個因素的相對貢獻，部分結果甚至相互矛盾。施行“大氣十條”究竟產(chǎn)生了多少健康效益依然缺乏定論。 為此，該研究結合長期的PM2.5監(jiān)測數(shù)據(jù)和最新的流行病學模型，對比了實施“大氣十條”前后（2000-2013和2013-2017）中國PM2.5污染致死人數(shù)的變化趨勢。同時使用解構的思路量化了PM2.5濃度、人口數(shù)量、年齡結構和疾病死亡率等因素對于PM2.5污染致死人數(shù)變化趨勢的影響，全面揭示了“大氣十條”通過減緩PM2.5污染所產(chǎn)生的健康效益。結果表明，中國的PM2.5污染致死人數(shù)在2000-2017年總體呈現(xiàn)增加趨勢，從2000年的71.4萬人增加到了2017年的97.1萬人，增加了36.1%，年均增長率為1.8%。“大氣十條”實施以后中國的PM2.5污染致死人數(shù)依然呈現(xiàn)增加趨勢，但是年均增長率在2013年以后有所下降。2000-2013年，中國的PM2.5污染致死人數(shù)新增了22.1萬人，年均增長率為2.1%。而在2013-2017年，中國PM2.5污染致死人數(shù)增加了3.6萬人，其年均增長率為1.0%，明顯低于實施“大氣十條”之前的水平。進一步的解構分析表明，由于實施“大氣十條”后PM2.5濃度降低，2017年的PM2.5污染致死人數(shù)比2013年減少了6.4萬人。 在此基礎上，該研究進一步探索了2030年PM2.5污染致死人數(shù)在兩種不同的PM2.5控制政策情景（趨勢情景和強力政策情景）下的變化趨勢。研究假設趨勢情景中，中國會延續(xù)現(xiàn)有的空氣質(zhì)量控制力度，人口加權的PM2.5濃度會在2030年逐漸降低到35μg/m3（中國現(xiàn)行的空氣質(zhì)量標準）。而在強力政策情境中，中國會采取更加嚴格的空氣污染控制政策，人口加權的PM2.5濃度會在2030年大幅度降低至10μg/m3（世界衛(wèi)生組織公布的空氣質(zhì)量標準）。與此同時，人口和年齡結構按照現(xiàn)有趨勢發(fā)展，而疾病死亡率由于醫(yī)療保健水平的提高而進一步降低。該研究的預測結果表明，趨勢情景中PM2.5污染致死人數(shù)將在2030年達到95.3萬人，僅比2017年降低了2%。而在強力政策情景中，PM2.5污染致死人數(shù)將在2030年達到55.0萬人，比2017年降低了40%以上。這意味著，如果延續(xù)當前政策趨勢，雖然PM2.5濃度依然會有所下降，但是由于老齡化等其它因素的影響，PM2.5污染致死人數(shù)依然很難實現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展目標3.9所提到的“實質(zhì)性”降低的目標。中國依然需要在未來實施更強有力的空氣質(zhì)量控制政策，才能夠一定程度上抵消老齡化等因素的影響，使得PM2.5污染致死人數(shù)“實質(zhì)性”地下降（圖2）。 該研究的主要貢獻是通過解構分析全面認識了PM2.5濃度、人口數(shù)量、年齡結構和疾病死亡率等多個因素對PM2.5污染致死人數(shù)變化的影響，進而準確地估算了施行“大氣十條”所帶來的健康效益。同時，該研究還綜合考慮了各個影響因素的變化，對未來PM2.5污染致死人數(shù)進行了預測，為中國制定未來的環(huán)境政策，實現(xiàn)相關的聯(lián)合國可持續(xù)發(fā)展目標提供了重要參考。

成果簡介：小型水下觀測機器人（ROV）是一型可以水面遙控水下運動，水 下錄像水面呈現(xiàn)的潛水器，水下機器人自身攜帶高強度水下光源以及高清晰廣角 度攝像機。中性浮力、低水阻力、超強拉力、多芯集成的超細柔性臍帶纜來實現(xiàn) 水面監(jiān)控單元與水下機器人之間的數(shù)據(jù)、電源和視頻信號的傳輸。 136天津大學科技成果選編 技術特點：該微型纜控水下觀測機器人采用磁耦合傳動技術、直流載波技術、 超細中性浮力凱夫拉纜技術、自動航向保持和定深技術、高效水動力外形設計技 術，平臺具有極大的技術先進性。其操作簡便簡單，便攜小巧。 技術指標： 1、高分辨率彩色攝像頭，數(shù)字變焦與云臺控制； 2、3 個磁耦合推進器，方向和速度可調(diào)； 3、高亮度 LED 燈組； 4、超細柔性臍帶纜； 5、配置深度計和高度計，可實現(xiàn)自動定深操作； 6、配置電子羅盤，自動航向保持； 7、視頻與字符疊加，實時狀態(tài)顯示，屏幕菜單操作； 8、數(shù)字信號傳輸，減小信號失真； 9、簡易游戲操縱手柄控制； 137天津大學科技成果選編 10、富有美學設計理念的流線型機器造型，靜電噴漆外觀，硬質(zhì)氧化水 下機身。 成果水平： 國際領先，已獲發(fā)明專利 應用范圍：微型纜控水下觀測機器人通過視頻搜索并觀察水下目標物，廣泛 應用于河壩巡檢、失事船只搜救、水下攝影、水上娛樂、水產(chǎn)養(yǎng)殖、江邊垂釣、 生態(tài)修復和艦船維護等。 市場分析及前景：該平臺可以廣泛應用于江河湖泊的深度測量測繪，水質(zhì)監(jiān)測、 水質(zhì)取樣、大眾娛樂，視頻獲取等，科研做為大眾娛樂消費品或者兒童玩具進行 營銷，具有廣泛的科研、業(yè)務和大眾消費需求。 主要技術指標：主體長度：600mm 排水量：小于 18kg 最大航速：2m/s 下潛深度：200 米 投資規(guī)模：生產(chǎn)線、裝配車間等需要大約 100 萬的投資。 合作方式：技術轉(zhuǎn)讓，總價值 200 萬元。 19 透明海洋-智能化信息技術架構 20 透明海洋-遠距離大數(shù)據(jù)量海洋通信 21 水下激光通信技術 22 多維度海洋探測系統(tǒng) 23 海洋浮標自動監(jiān)測系統(tǒng) 24 海洋物聯(lián)網(wǎng)技術 25 海底淤泥微生物燃料電池 26 重要海洋微生物（微藻）活性產(chǎn)物工程化技術研發(fā)

成果簡介： 纜控水下觀測機器人（ROV）是一型可以水面遙控水下運動，水下錄像水面 呈現(xiàn)的潛水器，水下機器人自身攜帶高強度水下光源以及高清晰廣角度攝像機。 中性浮力、低水阻力、超強拉力、多芯集成的超細柔性臍帶纜來實現(xiàn)水面監(jiān)控單 元與水下機器人之間的數(shù)據(jù)、電源和視頻信號的傳輸。 技術特點：該微型纜控水下觀測機器人采用磁耦合傳動技術、直流載波技術、 超細中性浮力凱夫拉纜技術、自動航向保持和定深技術、高效水動力外形設計技 術，平臺具有極大的技術先進性。其操作簡便簡單，便攜小巧。 技術指標： 1、高分辨率彩色攝像頭，數(shù)字變焦與云臺控制； 2、3 個磁耦合推進器，方向和速度可調(diào)； 3、高亮度 LED 燈組； 4、超細柔性臍帶纜； 5、配置深度計和高度計，可實現(xiàn)自動定深操作； 135天津大學科技成果選編 6、配置電子羅盤，自動航向保持； 7、視頻與字符疊加，實時狀態(tài)顯示，屏幕菜單操作； 8、數(shù)字信號傳輸，減小信號失真； 9、簡易游戲操縱手柄控制； 10、富有美學設計理念的流線型機器造型，靜電噴漆外觀，硬質(zhì)氧化水下機 身。成果水平：國際先進 應用范圍：微型纜控水下觀測機器人通過視頻搜索并觀察水下目標物，廣泛 應用于河壩巡檢、失事船只搜救、水下攝影、水上娛樂、水產(chǎn)養(yǎng)殖、江邊垂釣、 生態(tài)修復和艦船維護等。 市場分析及前景：該平臺可以廣泛應用于江河湖泊的深度測量測繪，水質(zhì)監(jiān)測、 水質(zhì)取樣、大眾娛樂，視頻獲取等，科研做為大眾娛樂消費品或者兒童玩具進行 營銷，具有廣泛的科研、業(yè)務和大眾消費需求。 主要技術指標：主體長度：300mm 排水量：小于 2.8kg 最大航速：2m/s 下潛深度：100 米 投資規(guī)模：生產(chǎn)線、裝配車間等需要大約 100 萬的投資。 合作方式：技術轉(zhuǎn)讓，轉(zhuǎn)讓價格 200 萬。 

2020年3月19日，《自然-通訊》（Nature Communications）雜志在線發(fā)表了北京師范大學地理科學學部何春陽教授團隊的最新研究成果，定量評估和揭示了中國空氣污染防控政策成效，指出中國依然需要在未來實施更強有力的空氣質(zhì)量控制政策。該論文題為“中國需要進一步改善空氣質(zhì)量以減少PM2.5污染導致的人口死亡（Stronger policy required to substantially reduce deaths from PM2.5 pollution in China）”。 PM2.5污染是指直徑小于2.5μm的細顆粒物散布在空氣中，進而影響人類福祉與健康的現(xiàn)象。聯(lián)合國可持續(xù)發(fā)展目標3.9明確指出，到2030年，需要實質(zhì)性地減少危險化學品以及空氣、水和土壤污染導致的死亡和患病人數(shù)。根據(jù)全球疾病負擔項目最新的測算結果，中國每年有近一百萬人死于PM2.5污染。為了控制空氣污染及其負面影響，國務院于2013年施行了“大氣污染防治行動計劃”（以下簡稱“大氣十條”），計劃到2017年將城市中的PM2.5濃度降低10-25%。該計劃的整體投入約1.7萬億人民幣（約合2700億美元），覆蓋了中國三百多個地級行政區(qū)，橫跨能源、工業(yè)、交通、法律和法規(guī)等多個部門，是一項前所未有的空氣污染防治行動。2018年，中國生態(tài)環(huán)境部宣布該計劃設定的PM2.5濃度控制目標順利達成。然而，“大氣十條”相關的PM2.5污染防控所帶來的健康效益依然缺乏定論。 評價“大氣十條”健康效益的難點在于，PM2.5污染致死人數(shù)受PM2.5濃度、人口數(shù)量、年齡結構和疾病死亡率等多個因素的共同影響。目前已有研究往往使用PM2.5污染致死人數(shù)在2013-2017年的變化量來近似表示“大氣十條”所帶來的健康效益，也有研究通過假設其它因素不變來量化PM2.5濃度變化的影響。但是，這些研究都很難區(qū)分各個因素的相對貢獻，部分結果甚至相互矛盾。施行“大氣十條”究竟產(chǎn)生了多少健康效益依然缺乏定論。 為此，該研究結合長期的PM2.5監(jiān)測數(shù)據(jù)和最新的流行病學模型，對比了實施“大氣十條”前后（2000-2013和2013-2017）中國PM2.5污染致死人數(shù)的變化趨勢。同時使用解構的思路量化了PM2.5濃度、人口數(shù)量、年齡結構和疾病死亡率等因素對于PM2.5污染致死人數(shù)變化趨勢的影響，全面揭示了“大氣十條”通過減緩PM2.5污染所產(chǎn)生的健康效益。結果表明，中國的PM2.5污染致死人數(shù)在2000-2017年總體呈現(xiàn)增加趨勢，從2000年的71.4萬人增加到了2017年的97.1萬人，增加了36.1%，年均增長率為1.8%。“大氣十條”實施以后中國的PM2.5污染致死人數(shù)依然呈現(xiàn)增加趨勢，但是年均增長率在2013年以后有所下降。2000-2013年，中國的PM2.5污染致死人數(shù)新增了22.1萬人，年均增長率為2.1%。而在2013-2017年，中國PM2.5污染致死人數(shù)增加了3.6萬人，其年均增長率為1.0%，明顯低于實施“大氣十條”之前的水平。進一步的解構分析表明，由于實施“大氣十條”后PM2.5濃度降低，2017年的PM2.5污染致死人數(shù)比2013年減少了6.4萬人。 在此基礎上，該研究進一步探索了2030年PM2.5污染致死人數(shù)在兩種不同的PM2.5控制政策情景（趨勢情景和強力政策情景）下的變化趨勢。研究假設趨勢情景中，中國會延續(xù)現(xiàn)有的空氣質(zhì)量控制力度，人口加權的PM2.5濃度會在2030年逐漸降低到35μg/m3（中國現(xiàn)行的空氣質(zhì)量標準）。而在強力政策情境中，中國會采取更加嚴格的空氣污染控制政策，人口加權的PM2.5濃度會在2030年大幅度降低至10μg/m3（世界衛(wèi)生組織公布的空氣質(zhì)量標準）。與此同時，人口和年齡結構按照現(xiàn)有趨勢發(fā)展，而疾病死亡率由于醫(yī)療保健水平的提高而進一步降低。該研究的預測結果表明，趨勢情景中PM2.5污染致死人數(shù)將在2030年達到95.3萬人，僅比2017年降低了2%。而在強力政策情景中，PM2.5污染致死人數(shù)將在2030年達到55.0萬人，比2017年降低了40%以上。這意味著，如果延續(xù)當前政策趨勢，雖然PM2.5濃度依然會有所下降，但是由于老齡化等其它因素的影響，PM2.5污染致死人數(shù)依然很難實現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展目標3.9所提到的“實質(zhì)性”降低的目標。中國依然需要在未來實施更強有力的空氣質(zhì)量控制政策，才能夠一定程度上抵消老齡化等因素的影響，使得PM2.5污染致死人數(shù)“實質(zhì)性”地下降（圖2）。 該研究的主要貢獻是通過解構分析全面認識了PM2.5濃度、人口數(shù)量、年齡結構和疾病死亡率等多個因素對PM2.5污染致死人數(shù)變化的影響，進而準確地估算了施行“大氣十條”所帶來的健康效益。同時，該研究還綜合考慮了各個影響因素的變化，對未來PM2.5污染致死人數(shù)進行了預測，為中國制定未來的環(huán)境政策，實現(xiàn)相關的聯(lián)合國可持續(xù)發(fā)展目標提供了重要參考。

聯(lián)網(wǎng)智慧公路節(jié)能管控系統(tǒng)是集能耗監(jiān)測與能耗管控于一體的智能化節(jié)能管理系統(tǒng)，針對各級公路隧道照明節(jié)能管控效果尤為顯著。本系統(tǒng)采用先進的網(wǎng)絡構建模式，搭建一個服務于各級公路隧道節(jié)能管控的平臺，具有良好的穩(wěn)定性、拓展性、實用性等。物聯(lián)網(wǎng)智慧公路節(jié)能管控系統(tǒng)其結構主要包括：人機交互界面、業(yè)務邏輯、數(shù)據(jù)訪問。為了豐富界面展示效果，方案采用專業(yè)界面控件作為人機交互界面主要技術手段，該技術提供了一種在 Web 上體現(xiàn)強交互性的解決方案。業(yè)務邏輯負責能耗數(shù)據(jù)的采集、處理、計算及前端監(jiān)測/控制設備控制策略等工作。數(shù)據(jù)訪問提供對數(shù)據(jù)庫的存儲訪問支持。物聯(lián)網(wǎng)隧道照明節(jié)能管控系統(tǒng)即在隧道入口前 500 米通過微波車輛檢測器、激光車輛檢測器兩種檢測方式，準確檢測有無車輛通過。有車輛駛?cè)霑r，服務器結合環(huán)境光傳感器的實時采集數(shù)據(jù)及設置的相應數(shù)值，開關或調(diào)節(jié)入口加強照明段的照明設備，加強照明段的環(huán)境光傳感器可檢測照明設備的開關狀態(tài)及效果。隧道內(nèi)布置激光車輛檢測器，當車輛通過時，上傳數(shù)據(jù)（信號）至服務器，用于進行本地和遠程隧道照明控制。隧道內(nèi)分段布置物聯(lián)網(wǎng)在線診斷系統(tǒng)，可實時監(jiān)測路況信息。

一、項目簡介物聯(lián)網(wǎng)智慧公路節(jié)能管控系統(tǒng)是集能耗監(jiān)測與能耗管控于一體的智能化節(jié)能管理系統(tǒng)，針對各級公路隧道照明節(jié)能管控效果尤為顯著。本系統(tǒng)采用先進的網(wǎng)絡構建模式，搭建一個服務于各級公路隧道節(jié)能管控的平臺，具有良好的穩(wěn)定性、拓展性、實用性等。物聯(lián)網(wǎng)智慧公路節(jié)能管控系統(tǒng)其結構主要包括：人機交互界面、業(yè)務邏輯、數(shù)據(jù)訪問。為了豐富界面展示效果，方案采用專業(yè)界面控件作為人機交互界面主要技術手段，該技術提供了一種在 Web 上體現(xiàn)強交互性的解決方案。業(yè)務邏輯負責能耗數(shù)據(jù)的采集、處理、計算及前端監(jiān)測/控制設備控制策略等工作。數(shù)據(jù)訪問提供對數(shù)據(jù)庫的存儲訪問支持。物聯(lián)網(wǎng)隧道照明節(jié)能管控系統(tǒng)即在隧道入口前 500 米通過微波車輛檢測器、激光車輛檢測器兩種檢測方式，準確檢測有無車輛通過。有車輛駛?cè)霑r，服務器結合環(huán)境光傳感器的實時采集數(shù)據(jù)及設置的相應數(shù)值，開關或調(diào)節(jié)入口加強照明段的照明設備，加強照明段的環(huán)境光傳感器可檢測照明設備的開關狀態(tài)及效果。隧道內(nèi)布置激光車輛檢測器，當車輛通過時，上傳數(shù)據(jù)（信號）至服務器，用于進行本地和遠程隧道照明控制。隧道內(nèi)分段布置物聯(lián)網(wǎng)在線診斷系統(tǒng)，可實時監(jiān)測路況信息、確認照明設備開

二聚酸是具有三十六個碳的二元酸，具有優(yōu)良的耐低溫性能。本團隊致力于二聚酸基尼龍產(chǎn)品的開發(fā)研究多年，形成了二聚酸基尼龍制備的核心技術。設計比例的二元酸與二元胺在催化劑存在下經(jīng)成鹽、加壓及常壓分階段聚合、切粒等過程獲得目標產(chǎn)品，工藝簡單，反應平穩(wěn)，根據(jù)需要可以通過改變工藝參數(shù)及操作條件，靈活控制尼龍數(shù)均相對分子質(zhì)量，制備出的產(chǎn)品性能達到或超過現(xiàn)有尼龍11、尼龍10和尼龍1212等長鏈尼龍產(chǎn)品。相關技術已獲國家發(fā)明專利。