一種對(duì)射式多焦點(diǎn)激光分離脆性透射材料方法及裝置
本發(fā)明公開(kāi)了一種對(duì)射式多焦點(diǎn)激光分離脆性透射材料方法及 裝置,該方法采用相同的工藝參數(shù),在待分離脆性透射材料的厚度方 向兩側(cè),每側(cè)利用同軸激光分別穿過(guò)多焦點(diǎn)鏡片組并反向?qū)ι洌勾?性透射材料內(nèi)部產(chǎn)生的焦點(diǎn)數(shù)量加倍,以改善脆性透射材料沿厚度方 向上對(duì)激光能量吸收的均勻性,使脆性透射材料沿厚度方向的受熱膨 脹均勻性增強(qiáng),激光多焦點(diǎn)光束離開(kāi)后,沿脆性透射材料厚度方向迅 速冷卻而產(chǎn)生拉應(yīng)力,實(shí)現(xiàn)激光對(duì)厚脆性透射材料的分離。裝
華中科技大學(xué)
2021-04-14