|
搜索
搜 索
高等教育領域數字化綜合服務平臺
半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
泡沫炭表面原位合成Si3N4涂層材料
本發明涉及一種在泡沫炭材料表面原位合成Si3N4涂層的方法，屬于新材料技術領域。其主要特點在于利用泡沫炭多孔結構及Si3N4納米纖維復合體對自來水中顆粒及污染物的過濾和吸附功能實現軟凈水一體化功能。
中國地質大學（北京）
2021-02-01
新型 N-P-S 膨脹型磷系阻燃劑
膨脹型阻燃劑(IFR)一般是以 P、N、C 為主要核心成分的復合 阻燃劑(或單體阻燃劑)，可用于多種易燃聚合物的阻燃。膨脹型阻 燃劑作為一類高效低毒的環保型阻燃劑，被公認為是實現阻燃劑無 鹵化的有效途徑之一，因此在高分子材料阻燃領域中極具應用潛力。我們將 N、P、S 三種有效阻燃元素組裝于單一分子內，設計出 一類新型分子內協效膨脹型阻燃劑。該類阻燃劑在 PC+ABS 工程塑 料中少量添加即可以實現高效阻燃，具有環保低毒，阻燃效果好等 優點。 項目特色： 利用有機合成的方法合成一系列適應市場需求的新型膨脹型 N- P-S 磷系阻燃劑，目前已經研發成功的品種包括“六（4-甲氧基苯磺酸 鈉）環三磷腈”，“ 六（4-氨基苯磺酸鈉）環三磷腈”，“ 六（2-氨基乙 磺酸鈉）環三磷腈”等，生產工藝科學，環保高效，生產過程簡單，生 產成本低。
南開大學
2021-04-13
B/N 摻雜型 Al-Ti-C 系晶種合金
鋁合金結晶組織的微細化會顯著提高鋁材的強韌性、組織均勻性、致密性、 耐蝕性、加工工藝性和表面質量等，并減少偏析和裂紋等諸多鑄造缺陷。目前， 國內外通常采用 Al-Ti-B 或 Al-Ti-C 中間合金來細化晶粒，但 Al-Ti-B 中間合金 126 的形核襯底質點 TiB2 本身的直徑大小在 0.5-3.0μm，而且往往以較大的聚集團 形式存在，如此大的顆粒團在加入到鋁合金中后會帶來一系列的副作用。而普 通 Al-Ti-C 中間合金細化效果不穩定，易衰退，難以滿足鋁制品產品質量的要 求。 Al-Ti-C 中間合金之所以細化效果不穩定和容易衰退，是由于其中的 TiCx 晶體存在較多碳空位，從而使之失穩，且隨 TiCx中碳空位數量的增加，Al 原子 在 TiCx 表面的偏聚及有序化受到抑制，由原來的完全共格逐漸轉變為不完全共 格。因此，減少 TiCx中的碳空位是提高其結構穩定性和生核效率的關鍵。 研究表明，無空位的 TiC 是鋁的有效生核襯底，在接近凝固點的鋁熔體中， Al 原子能夠依附于其周圍形成一個完全共格的有序區，最終促進 α-Al 生核和鋁 晶粒細化。經過長期的研究和探索發現，TiCx 中的碳空位可以被原子半徑較小 的 B、N 等原子填充，最終形成摻雜型的 TiCxB1-x和 TiCxN1-x等粒子，從而降低 空位濃度并提高異質生核能力。 B 摻雜型 Al-Ti-C 晶種合金中含有大量直徑在 1μm 以下（亞微米）的 TiCxB1-x 晶核襯底粒子，且彌散分布，當將該中間合金以微量（0.15%左右）加 入到待細化的鋁及其合金熔體中后，立即釋放出大量的亞微米級的摻雜型 TiC 晶核，從而使待細化鋁合金的晶粒組織得到顯著細化甚至超細化（指晶粒直徑 在微米級）。因此，采用摻雜型 Al-Ti-C 晶種合金對鋁熔體進行晶粒細化處理 將是鋁加工行業又一次重要的技術進步。
山東大學
2021-04-13
A10VSO45DR/52R-PC12N00
產品詳細介紹聯系人：何琴 電話：027-50732532/ 13971401600 在線聯系方式： QQ:1375774402 MSN:[email protected]
力士樂柱塞泵
A10VSO18DFR1/31R-PPB12NOO
A10VSO18DR/31R-PPA12N00
A10VSO28DR/31R-PPA12N00
A10VO28DR/31R-PSC12N00
A10VSO28DRF1/31R-PSA12N00
E-A10VSO28DFR1/31R-PPA12N00
A10VSO28DFR/31R-PSA12N00
A10VSO28DR/32R-PPA121V00
A10VO28DFR1/31L-PSC62N00
A10VO28DFR1/31R-PSC62N00
A10VSO45DR/31R-PPA12N00
A10VSO45DFR1/31R-PPA12N00
E-A10VSO45DFR1/31R-PPA12N00
A10VSO45DR/31R-PPA12N00
A10VSO45DR/52R-PC12N00
A10VO45DFR1/31R-PSC62K02
A10VSO45DFR1/32R-PPB12N00
A10VSO71DFR1/31R-PPA12N00
A10VSO71DFR1/31R-PPA12KB5
A10VSO71DFR/31R-PSC62K07
E-A1OVSO71DFR1/31R-PPA12N00
A10VSO71DFR1/32R-VPB22U99
A10VSO100DR/31R-PPA12N00
A10VSO100DR/31R-VPA12N00
A10VSO100DFR1/31R-PPA12N00
A10VSO100DFR1/32R-VPB12N00
A10VSO140DR/31R-PPB12N00
E-A10VSO140DFR1/31R-PPA12N00
A10VSO140DFR1S/31R-PPB12N00
A10VSO140DFR1/31R-PPB12N00
A10VS0140DFLR/31R-PPB12N00
A10VSO140DR/31R-PPB12NOO
A10VSO140DRS/32R-VPB12N00
A10VSO140DRS/32R-VPB22U99
A10VSO140DFR1/31R-PPB12N00
A10VSO140DR/32R-PPA12N00
A4VSO40LR2G/10R-PPB13N00
A4VSO71DFR/10X-PPB13N00
A4VSO71DR/10X-PPB13N00
A4VSO71DRG/10X-PPB13N00
A4VSO71LR2/10R-PPB13N00
A4VSO71LR2D/10R-PPB13N00
A4VSO125DFR/22R-PPB13N00
A4VSO125DR/22R-PPB13N00
A4VSO125DR/22R-VPB13N00
A4VSO125LR2/22R-PPB13N00
A4VSO125LR2G/22R-PPB13N00
A4VSO125LR2N/22R-PPB13N00
A4VSO180LR2N/22R-PPB13N00
A4VSO250DFR/30R-PPB13N00
A4VSO250DR/30R-PPB13N00
A4VSO250DRG/30R-PPB13N00
A4VSO250LR2/30R-PPB13N00
A4VSO250LR2G/30R-PPB13N00
A4VSO250LR2N/30R-PPB13N00
A4VSO180DFR/22R-PPB13N00
A4VSO180DR/22R-PPB13N00
A4VSO180DRG/22R-PPB13N00
A2FO10/61R-PAB06 9424894 A2FO10/61R-PBB06 9610682 A2FO12/61R-PAB06 9420472
A2FO12/61R-PBB06 9610683 A2FO16/61R-PAB06 9411113 A2FO16/61R-PBB06 9411121
A2FO23/61R-PAB05 9427223 A2FO23/61R-PBB05 9610684 A2FO28/61R-PAB05 9425164
A2FO28/61R-PBB05 9610685 A2FO32/61R-PAB05 9410193 A2FO32/61R-PBB05 9410198
A2FO45/61R-PZB05 9411585 A2FO56/61R-PAB05 9425190 A2FO56/61R-PBB05 9610686
A2FO63/61R-PAB05 9408527 A2FO63/61R-PBB05 9408552 A2FO80/61R-PAB05 9424687
A2FO80/61R-PBB05 9610687 A2FO90/61R-PAB05 9408467 A2FO90/61R-PBB05 9408472
A2FO107/61R-PAB05 9423259 A2FO107/61R-PBB05 9438282 A2FO125/61R-PAB05 9409641
A2FO125/61R-PBB05 9409642 A2FO160/61R-PAB05 9422192 A2FO160/61R-PBB05 9610688
A2FO180/61R-PAB05 9409371 A2FO180/61R-PBB05 9409358 A2FO200/63R-PAB05 2011993
A2FM定容量 液壓馬達
A2FM32/61W-VAB010 9410189 A2FM32/61W-VAB020 9410190 A2FM32/61W-VAB040 9410192
A2FM32/61W-VBB010 9410194 A2FM32/61W-VBB020 9410195 A2FM32/61W-VBB040 9410197
A2FM45/61W-VZB010 9411581 A2FM45/61W-VZB020 9411582 A2FM45/61W-VZB040 9411584
A2FM56/61W-VAB010 9424905 A2FM56/61W-VAB020 9422129 A2FM56/61W-VAB040 9429251
A2FM56/61W-VBB010 9610664 A2FM56/61W-VBB020 9610665 A2FM56/61W-VBB040 9605544
A2FM63/61W-VAB010 9408523 A2FM63/61W-VAB020 9408524 A2FM63/61W-VAB040 9408526
A2FM63/61W-VBB010 9408514 A2FM63/61W-VBB020 9408549 A2FM63/61W-VBB040 9408551
A2FM80/61W-VAB010 9422638 A2FM80/61W-VAB020 9422089 A2FM80/61W-VBB010 9610666
A2FM80/61W-VBB020 9610667 A2FM90/61W-VAB010 9408463 A2FM90/61W-VAB020 9408464
A2FM90/61W-VBB010 9408468 A2FM90/61W-VBB020 9408469 A2FM107/61W-VAB010 9424300
A2FM107/61W-VAB020 9424093 A2FM107/61W-VBB010 9610668 A2FM107/61W-VBB020 9610669
A2FM125/61W-VAB010 9409630 A2FM125/61W-VAB020 9409634 A2FM125/61W-VBB010 9409637
A2FM125/61W-VBB020 9409638 A2FM160/61W-VAB010 9425163 A2FM160/61W-VAB020 9424094
A2FM160/61W-VBB010 9610670 A2FM160/61W-VBB020 9610671 A2FM180/61W-VAB010 9409189
A2FM180/61W-VAB020 9409190 A2FM180/61W-VBB010 9409372 A2FM180/61W-VBB020 9409373
A2FM200/63W-VAB010 2011528 A2FM250/60W-VZB010 915383 A2FM250/60W-VZB020 910653
A2FM355/60W-VZH010 920780 A2FM500/60W-VPH010 943251 A2FM500/60W-VZH010 968982
A2FLM710/60W-VPH010 969815 A2FLM710/60W-VZH010 965974 A2FM1000/60W-VPH010 949444
A2FM1000/60W-VZH010 944773
聯系人：何琴 電話：027-50732532/ 13971401600 在線聯系方式： QQ:1375774402 MSN:[email protected]
武漢晨豐機電設備有限公司
2021-08-23
新品上市 諾為 N31 激光筆 ppt翻頁筆
產品詳細介紹
上海諾為電子科技有限公司
2021-08-23
EM860N 選頻電磁輻射分析儀
適用環保/5G基站/廣電/通信/航空/船舶/鐵路等相關行業電磁輻射環境監測分析。EM860N主機基于高性能頻譜信號分析平臺，在軟件功能和應用上，充分考慮到不同的用戶場景，EM860設置有兩種工作模式：即有適于工程師專業測試的《專業分析模式》，又有特別適宜基站測試現場的一鍵式《工程監測模式》操作軟件，作業簡單，便捷，高效率!
主機9kHz~9GHz頻譜測試接收機；
頻譜掃速可以達到16GHz/s，可對信號進行100%捕獲；
支持3G UMTS、4G LTE、5G NR等多種移動通信系統解調分析功能；
支持多種場強天線，適用于中短波、電視、無線通信、環境監測等多個應用場景；
配合PC機可實現工單系統下的一鍵測試、自動導出測試報告；
實時的“記錄或屏幕錄制和回放功能”，是有力的研發、交流、學習、培訓工具;
可直接高清電視投屏，便于培訓、研討會;
支持手機APP控制操作;
同時具備溫濕度測試、藍牙/WIFI通信、光纖通信、電子羅盤、GPS定位、多點觸摸屏、 USB通信等多種功能集成的一體化設計;
符合國標《BG8702-2014》，環保部《HJ1151- 2020》規定要 求，以及其他環境法規文件。
天津德力儀器設備有限公司
2022-06-06
頭頸部層次解剖模型附腦N、AXM-633
XM-633頭頸部層次解剖模型附腦N、A
?
XM-633頭頸部層次解剖模型附腦N、A模型顯示頭部、頸部深、淺層血管和神經，在顯示頭部、頸部的肌肉基礎上顯示血管、神經的分布和走向，頭部、頸部作正中矢狀切面顯示各種器官結構，左側半腦拆下可示腦神經外形及腦神經進出腦及腦顱底部位，腦可拆下示眼外肌。
尺寸：自然大，38.5×24×50cm
材質：PVC材料
上海欣曼科教設備有限公司
2021-08-23
XM-N3高級女性宮內避孕器訓練模型
XM-N3高級女性宮內避孕訓練模型
?
一、功能特點：
■ XM-N3高級女性宮內避孕器訓練模型采用高分子材料制成，仿真度高。
■ 模擬了一成年女性子宮，解剖結構包括子宮、卵巢、輸卵管和陰道。
■ 可學習女性子宮及附件的內部結構。
■ 訓練宮內避孕器的插入置放和取出。
■ 模型上有透明窗覆蓋，可清楚地觀察宮內避孕器的插入和置放全過程。
■ 可反復進行練習。
?
二、標準配置：
■ 高級女性宮內避孕器訓練模型：1個
■ 避孕器：1個
■ 說明書：1冊
■ 保修卡合格證：1張
上海欣曼科教設備有限公司
2021-08-23
XM-N5高級女性宮內避孕器訓練模型
XM-N5高級女性宮內避孕器訓練模型
?
XM-N5高級女性宮內避孕器訓練模型精確展現子宮側切面，內生殖器內部結構，清楚觀察宮內避孕器的插入和放置過程。
上海欣曼科教設備有限公司
2021-08-23