寬波段硅基探測器產(chǎn)業(yè)化開發(fā)
圖像傳感器,是一種常用的光電探測器件,它能將光子信號轉(zhuǎn)換成電子信號,被廣泛地應(yīng)用在高性能光譜儀、數(shù)碼相機(jī)以及其他的電子光學(xué)設(shè)備中。普通的CCD、CMOS硅基探測器能獲得高量子效率的光譜響應(yīng)范圍在400~900nm波段,在紫外波段,由于多晶硅柵的吸收系數(shù)很大,這就意味著紫外光子在極端淺(小于2nm)的表層被吸收,導(dǎo)致其在波長小于400nm的紫外波段量子效率(QE)極低。紫外量子效率低的缺陷限制了前照式硅基探測器在航空業(yè)、工業(yè)以及制造業(yè)等領(lǐng)域中的應(yīng)用。因此,研制寬波段硅基探測器件使其響應(yīng)范圍延伸到紫外和深紫外波段是國內(nèi)外紫外探測領(lǐng)域的迫切需要。
上海理工大學(xué)
2021-04-13