基于多足旋轉壓電驅動器實現(xiàn)的跨尺度驅動激勵方法
多足旋轉壓電驅動器及其實現(xiàn)跨尺度驅動的激勵方法,屬于壓電驅動技術領域.解決了現(xiàn)有壓電驅動器的驅動方法在具備快速,大行程響應能力的同時,難于兼具高精度,納米尺度定位功能這一突出問題.本方法基于多足旋轉壓電驅動器的兩組彎振壓電陶瓷實現(xiàn)的,并根據目標輸出位移選擇三種激勵模式之一,兩種激勵模式的組合或者三種激勵模式的組合來實現(xiàn)不同位移尺度的輸出,所述激勵模式包括交流連續(xù)激勵模式,脈沖步進激勵模式和直流微驅動模式,使得驅動器不僅具備快速,大行程響應能力,同時具備高精度,納米尺度定位功能,最終實現(xiàn)真正的跨尺度,超精密驅動.它用于壓電驅動領域中實現(xiàn)跨尺度,超精密驅動.
哈爾濱工業(yè)大學
2021-05-04