一種柔性超疏水超疏油結(jié)構(gòu)制備方法
本發(fā)明公開了一種柔性超疏水超疏油結(jié)構(gòu)制備方法,該制備方 法包括如下步驟:(1)制作柔性超疏水超疏油結(jié)構(gòu)底層:在基底上旋涂 一層負(fù)性光刻膠,不用掩膜進(jìn)行曝光;(2)在步驟(1)曝光后的負(fù)性光刻 膠上旋涂一層負(fù)性光刻膠,利用陣列圖形掩膜進(jìn)行曝光;(3)結(jié)構(gòu)層光 刻膠第二次曝光:采用跟步驟(2)對應(yīng)的掩模進(jìn)行套刻曝光;(4)顯影: 將上述步驟中曝光后的結(jié)構(gòu)進(jìn)行顯影;(5)鍍保護(hù)層膜:在步驟(4)中得 到的結(jié)構(gòu)表面形成一層保護(hù)膜;(6)剝離:將經(jīng)過步驟(5)處理后得到的 結(jié)構(gòu)從基底上剝離,得到所述柔性超疏水超疏油結(jié)構(gòu)。按照本發(fā)明的 制備方法,工藝簡單,成本低廉,對該柔性超疏水超疏油結(jié)構(gòu)的普及 應(yīng)用具有極大的促進(jìn)作用。
華中科技大學(xué)
2021-04-11