一種基于投影莫爾原理的 BGA 共面度測(cè)量系統(tǒng)
本發(fā)明公開了一種基于投影莫爾原理的共面度測(cè)量系統(tǒng),包括冷光源(1),準(zhǔn)直透鏡(3),CCD 攝像機(jī)(2,4),LCD 面板(5),投影透鏡(6),光學(xué)平臺(tái)(7),高精度移動(dòng)臺(tái)(8)和計(jì)算機(jī)(9)。所述 LCD 面板(5)上顯示通過所述計(jì)算機(jī)(9)產(chǎn)生的條紋圖案,所述冷光源(1)發(fā)出的光經(jīng)所述準(zhǔn)直透鏡(3)后照射到所述 LCD 面板(5)上,將顯示在所述 LCD 面板(5)上的條紋圖案投影到被裝載在高精度移動(dòng)臺(tái)(8)上的參考平面或者待測(cè)物表面上,所述 CCD 攝像機(jī)為兩個(gè),對(duì)稱設(shè)置于 LCD 面板(5
華中科技大學(xué)
2021-04-14