一種基于紅外成像的薄膜測厚儀
本發(fā)明公開了一種基于紅外成像的薄膜測厚儀,包括光源、準直透鏡、分光棱鏡、參考路散射玻璃、參考路紅外濾光片、參考路反 射鏡、測量路散射玻璃、測量路紅外濾光片、測量路反射鏡、半透半 反分光鏡、成像透鏡、CCD;測量時參考物經(jīng)反射鏡、分光鏡和成像 透鏡成像到 CCD 光敏面,被測物經(jīng)反射鏡和成像透鏡也成像到 CCD 光敏面,CCD 將圖像傳送至計算機,經(jīng)圖像處理后根據(jù)圖像的灰度值 求得被測物的厚度;如此形成雙光路測量系統(tǒng),避免了光源光強變化 的影響;使用散射光透射成像的測量體系,避免了傳統(tǒng)紅外測厚裝置 中存在的干涉影響;設置具有多個局部標準厚度的參考物,該裝置可 以獲取參考物各個局部標準厚度,從而能夠更加精確地測量薄膜厚度。
華中科技大學
2021-04-11