基于超材料的肖特基型毫米波多譜信號(hào)探測(cè)器和制備方法
本發(fā)明公開(kāi)了一種基于超材料的肖特基型毫米波多譜信號(hào)探測(cè)器,包括自下而上依次設(shè)置的襯底層、N 型砷化鎵層、二氧化硅層與超材料層、歐姆電極和肖特基電極;其中超材料層為具有周期性微納米結(jié)構(gòu)的金屬開(kāi)環(huán)共振單元陣列,所述金屬開(kāi)環(huán)共振單元陣列包含了多種圖形及其特征尺寸參數(shù),每個(gè)圖形對(duì)于特定電磁波具有完全吸收特性,通過(guò)改變金屬開(kāi)環(huán)共振單元的結(jié)構(gòu)和尺寸參數(shù)可以調(diào)控對(duì)應(yīng)的電磁波吸收頻段,通過(guò)改變 N 型砷化鎵的耗盡層寬度可以調(diào)控超材料
華中科技大學(xué)
2021-04-14