高檔超精密磨床及LED劃片裝備
為滿(mǎn)足光電通訊、光學(xué)、信息等產(chǎn)業(yè)中小口徑非球面光學(xué)玻璃透鏡模具產(chǎn)業(yè)化的需求,研制了小口徑非球面光學(xué)玻璃透鏡模具超精密數(shù)控復(fù)合機(jī)床,具備納米級(jí)精度斜軸鏡面納米磨削、斜軸磁流變研拋、在線(xiàn)測(cè)量補(bǔ)償加工等功能,為小口徑非球面光學(xué)透鏡模具的產(chǎn)業(yè)化制造提供可靠的裝備支撐。分辨率10nm,主軸回轉(zhuǎn)精度50nm;加工對(duì)象為微小非球面透鏡及模具;加工口徑10mm以下;加工面形狀精度:PV小于300nm ,工件表面粗糙度小于Ra10nm。應(yīng)用領(lǐng)域包括集成電路(IC)、發(fā)光二極管(LED)、光學(xué)光電、MEMS、NTC、塑封件(QFN、BGA)、電子陶瓷、通訊、醫(yī)療器械等,能切割硅晶圓、砷化鎵、陶瓷、石英、PCB板、LED芯片、玻璃、鈮酸鋰、氧化鋁、藍(lán)寶石等。GUI交互界面。具備接觸式測(cè)高及非接觸式測(cè)高,刀痕檢測(cè),具有切割深度自動(dòng)補(bǔ)償,刀片破損補(bǔ)償功能,能保證切割質(zhì)量。
湖南大學(xué)
2021-04-11