一種三自由度超精密微動工作臺
本發(fā)明公開了一種三自由度超精密微動工作臺,該工作臺 X、Y和θ方向的運動由四個垂直布置在微動臺外框架和內(nèi)框架的直線電機提供,直線電機的動子安裝在外框架的內(nèi)側(cè),直線電機定子安裝在內(nèi)框架外側(cè)。外框架由安裝在外框架底部四角的四個圓形氣浮軸承實現(xiàn)垂直方向的支承,內(nèi)框架分別由環(huán)形氣浮軸承和圓形真空預緊吸盤實現(xiàn)垂向的支承。微動臺的位置信息由垂直安裝在載物平臺上的第一、第二平面配合激光干涉儀測量。本發(fā)明所提出的一種三自由度超精密微動工作臺可實現(xiàn)大負載、大慣量、高精度的運動,該平臺 X 和 Y 向的行程為 2mm,
華中科技大學
2021-04-14