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本發明公開了一種超精密工作臺，它包括宏運動平臺與微位移工作臺，其中宏運動平臺的導軌形式采用氣浮導軌，微位移工作臺與宏運動平臺連接，并隨宏運動平臺一起沿 X 向、Y 向移動。微位移工作臺中包含壓電智能結構，其中該壓電智能結構既能感知外界對其施加的力、位移等信號，又能主動地對外界施加力、位移等。此外，壓電智能結構不僅可以用于超精密工作臺的微位移工作臺中，而且也可以制成類似彈簧-阻尼系統的俘能機構，應用在超精密工作臺中。本發明可以廣泛應用于超精密機床、超精密測量、微電子制造等領域。

針對極紫外光刻機物鏡的溫管和溫控技術難題，設計和開發了針對極紫外光刻機的具有自主知識產權的超精密溫控裝置，目前已應用在半導體制造業及光刻機生產廠商、高檔數控行業和民用航天上，涉及企事業單位共30余家。研制了不同控溫精度和控溫功率的系列產品，采用主動溫度控制方法，解決了單點溫度控制穩定性和多通道溫度控制均勻性的問題；設計了具有功能模塊化的溫控層次結構，解決了超精密溫控中系統內外的擾動和時滯問題，控溫速度快；研制了大功率串聯半導體制冷模塊，結合模糊PID控制算法，提高了收斂速度、控制精度和抗擾動能力。項

拋光是一種常見的表面加工技術，主要目的是降低表面粗糙度、去除損傷層，最終獲得光滑且無損傷的高質量表面。無論是日常生活中的消費用品還是制造技術高度集成的半導體芯片，拋光加工都是保證表面質量不可或缺的技術手段。近年來，在金屬材料超精密加工領域，具有復雜外形和內腔的金屬零件的拋光一直是工業界所面臨的技術難題。傳統的諸如化學機械拋光、激光拋光以及磁流變拋光

本發明公開了一種三自由度超精密微動工作臺，該工作臺 X、Y和θ方向的運動由四個垂直布置在微動臺外框架和內框架的直線電機提供，直線電機的動子安裝在外框架的內側，直線電機定子安裝在內框架外側。外框架由安裝在外框架底部四角的四個圓形氣浮軸承實現垂直方向的支承，內框架分別由環形氣浮軸承和圓形真空預緊吸盤實現垂向的支承。微動臺的位置信息由垂直安裝在載物平臺上的第一、第二平面配合激光干涉儀測量。本發明所提出的一種三自由度超精密微動工作臺可實現大負載、大慣量、高精度的運動，該平臺 X 和 Y 向的行程為 2mm，

應用領域： 超凈工作臺是開展生物技術研究和實驗必不可少的基礎設備之一，該設備廣泛應用于生物制藥，生物化學，環境監測及電子儀器儀表等行業，供操作區空氣凈化使用。 ◆產品特點 1.垂直層流送風，防止操作室內部樣品相互交叉污染。 2.采用超高效無隔板過濾器，對0.3微米的顆粒過濾效率達到99.99%(操作區潔凈度遠高于100級）． 3.高品質離心式，超低噪音風機。 4.正壓式過濾系統，確保工作區域為無塵無菌環境。 5.人體工程學60傾斜角操作面，減輕操作者壓迫感； 6.工作臺面選用優質304不銹鋼材質，美觀、易清理、耐腐蝕。 7.箱體表面采用靜電噴涂工藝，耐酸堿，美觀大方。 8.前窗采用全鋼化玻璃視窗及配重平衡，既可保證操作者的人身安全又任意升降，定位靈活， 工作區內配備多功能插座，為操作者提供便利。兩側為透明玻璃視窗，內外通透美觀舒適。  9.分體式結構，下設角輪. 10.標配液晶智能控制器，具有高效過濾器失效報警功能、壓差顯示功能、 紫外殺菌定時功能、溫度顯示功能、預約開機功能、累計工作時間功能；手動調風速。

最大功率（KW） : 1.1KW （含備用插座），操作臺側面備有插 座，方便其它設備用電，無需另接電源。 熒光燈/紫外燈規格及數量14W X2/8WX2 在送風系統設置“阻泄露”技術的優質HEPA FILTER器裝置， 對于0.3um的塵埃顆粒捕集效率》99.99%,確保達到潔凈度 IS05 級。 過濾材料：采用進口濾膜，材質為硅硼酸鹽超細玻璃纖維，滿 足使用條件下的溫度、濕度、耐腐蝕性和機械強度的要求，無 釋放對人員、環境和設備產生不利影響的物質。 風機系統采用可調風量風機系統，輕觸型開關調節電壓，保證 工作區風速始終處于理想態。 滑動前窗采用進口懸掛升降系統，使用鋼化安全玻璃能任意升 降定位技術，可靠性，無故障、免維護，并能完全關閉以便滅 困O 箱體及操作臺面材質箱體采用優質冷軋鋼板烤漆處理，操作臺 面為304不銹鋼。 安全互鎖功能照明和紫外燈具有安全互鎖功能，具有紫外燈預 約定時開關功能。

產品詳細介紹  JHT—DDC單人單面超凈化工作臺（垂直）   這是一種供單人操作的通用型局部凈化設備，氣流形式為垂直層流，它可造就局部高清潔度空氣環境，是科研制藥、醫療衛生、電子光學儀器等行業最為理想的專用設備。 特點： 1、操作區為全不銹鋼 2、外型美觀結構合理 3、采用自定們上下推拉門系統 4、風量可調，雙側電源插座   技術指標：   型號   JHT--DDC 外形尺寸 900×800×1630 工作臺尺寸 870×650×570 潔凈等級 100級@≥0.5ｕm(美聯邦209E) 平均風速 0.3—0.5m/s(可調) 噪音 ≤65dB(A) 振動 ≤3ｕm 照明 ≥300LX 電源 220V 50HZ 消耗功率 ≤360W 紫外線 30W×1 照明 30W×1 備注 不銹鋼臺面，雙側電源，上下推拉門  

1、項目簡介 本項目由江南大學留美博士后趙永武教授獨創.徹底地解決了高硬度零件和 表面帶氧化皮或銹斑零件拋光時間過長或需要多步才能完成的技術難題，填補了 國內空白。 2、創新要點 （1）拋光速度快,效率高,時間短。是國內現有拋光劑拋光速度的數倍至數 十倍以上。 （2）表面加工質量優異。經本拋光劑加工后的工件表面組織非常細膩，表 面粗糙度可達 Ra0.02,零件光亮照人,形狀精度進一步的提高,有可能省去超精 研工序。 （3）多功能化。具有去氧化皮,去銹,去油,防銹和拋光等多種功能,一步拋 光,同時完成。而國內現有的拋光劑大多需要去氧化皮和除油等多道前處理工序， 耗時費力。 （4）加工批量大。對于小零件一次可以加工成千上萬件。 （5）零件的使用性能和壽命得到明顯提高。采用本拋光劑拋光后的零件在 運轉時的振動和噪音顯著降低，而使用壽命大幅度提高。 （6）加工成本低.僅為磨削和精研成本的幾分之一。 （7）無毒無害，對環境友好,且操作方便,易于掌握。377 （8）本拋光劑既適用于螺旋振動和離心式光飾機,也適宜于滾筒和旋轉渦流 式等拋光機。 3、效益分析 對具備 10 臺機床的小型車間而言，每年凈提高產值 150 萬元以上。 4、推廣情況 軸承、紡織、汽車、摩托車，縫紉機、日用五金、建筑五金、金屬工藝品， 五金工具、模具，液壓氣動和精密機械等企業。 

為滿足光電通訊、光學、信息等產業中小口徑非球面光學玻璃透鏡模具產業化的需求，研制了小口徑非球面光學玻璃透鏡模具超精密數控復合機床,具備納米級精度斜軸鏡面納米磨削、斜軸磁流變研拋、在線測量補償加工等功能，為小口徑非球面光學透鏡模具的產業化制造提供可靠的裝備支撐。分辨率10nm，主軸回轉精度50nm；加工對象為微小非球面透鏡及模具；加工口徑10mm以下；加工面形狀精度：PV小于300nm ，工件表面粗糙度小于Ra10nm。應用領域包括集成電路（IC）、發光二極管（LED）、光學光電、MEMS、NTC、塑封件（QFN、BGA）、電子陶瓷、通訊、醫療器械等，能切割硅晶圓、砷化鎵、陶瓷、石英、PCB板、LED芯片、玻璃、鈮酸鋰、氧化鋁、藍寶石等。GUI交互界面。具備接觸式測高及非接觸式測高，刀痕檢測，具有切割深度自動補償，刀片破損補償功能，能保證切割質量。

1、項目簡介 本項目由江南大學留美博士后趙永武教授獨創.徹底地解決了高硬度零件和 表面帶氧化皮或銹斑零件拋光時間過長或需要多步才能完成的技術難題，填補了 國內空白。 2、創新要點 （1）拋光速度快,效率高,時間短。是國內現有拋光劑拋光速度的數倍至數 十倍以上。 （2）表面加工質量優異。經本拋光劑加工后的工件表面組織非常細膩，表 面粗糙度可達 Ra0.02,零件光亮照人,形狀精度進一步的提高,有可能省去超精 研工序。 （3）多功能化。具有去氧化皮,去銹,去油,防銹和拋光等多種功能,一步拋 光,同時完成。而國內現有的拋光劑大多需要去氧化皮和除油等多道前處理工序， 耗時費力。 （4）加工批量大。對于小零件一次可以加工成千上萬件。 （5）零件的使用性能和壽命得到明顯提高。采用本拋光劑拋光后的零件在 運轉時的振動和噪音顯著降低，而使用壽命大幅度提高。 （6）加工成本低.僅為磨削和精研成本的幾分之一。 （7）無毒無害，對環境友好,且操作方便,易于掌握。（8）本拋光劑既適用于螺旋振動和離心式光飾機,也適宜于滾筒和旋轉渦流 式等拋光機。 3、效益分析 對具備 10 臺機床的小型車間而言，每年凈提高產值 150 萬元以上。 4、推廣情況 軸承、紡織、汽車、摩托車，縫紉機、日用五金、建筑五金、金屬工藝品， 五金工具、模具，液壓氣動和精密機械等企業