多自由度精密位移平臺(tái)
多自由度精密位移平臺(tái)由壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng),包含傳感器、驅(qū)動(dòng)器和控制器等部件,是精密儀器運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的核心部分,也是精密加工設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備、微電子制造檢測(cè)設(shè)備、測(cè)量?jī)x器、印刷設(shè)備、生物醫(yī)療設(shè)備、自動(dòng)化生產(chǎn)線的關(guān)鍵組件。其壓電馬達(dá)具有高分辨率、小尺寸、低能耗等特點(diǎn),其運(yùn)動(dòng)控制部分采用先進(jìn)的EtherCAT(通用超高速以太網(wǎng)現(xiàn)場(chǎng)總線)方案,使系統(tǒng)不僅更簡(jiǎn)潔、更靈活,還具有更好的實(shí)時(shí)性。
北京大學(xué)
2021-02-01