一種氧化鋅納米線陣列紫外光電探測(cè)器的制備方法
本發(fā)明公開了一種基于氧化鋅納米線陣列的紫外光電探測(cè)器,屬于光電子器件領(lǐng)域。本發(fā)明利用化學(xué)氣相沉積技術(shù),通過調(diào)節(jié)雙溫區(qū)管式爐裝中真空壓力等實(shí)驗(yàn)參數(shù),在氮化鎵襯底上實(shí)現(xiàn)氧化鋅納米線陣列的均勻可控生長(zhǎng),然后利用透明導(dǎo)電玻璃直接貼壓法,得到對(duì)365nm 紫外光具有毫秒量級(jí)的快速響應(yīng)和恢復(fù)時(shí)間的紫外光電探測(cè)器。本方法工藝簡(jiǎn)單,材料成本低廉,在快速紫外光電傳感器和短長(zhǎng)光電器件領(lǐng)域有廣泛的運(yùn)用前景。
華中科技大學(xué)
2021-04-14