維意真空手套箱金屬有機蒸發鍍膜機支持定制
SEV-400手套箱金屬有機蒸發鍍膜機
真空腔室:采用立式方形結構,前門為水平滑開式,位于手套箱體內部,前開門便于蒸發材料和樣片在保護環境下裝卸,后開門便于真空室的清理維護(后門帶鎖緊裝置在充氣條件下保持腔室密閉與大氣環境隔離),整機位于手套箱體下面,節約占地面積;
真空系統:國產分子泵作為主抽泵,真空極限高達2.0?10-5Pa,另可選進口磁懸浮分子泵或是低溫泵作為主抽泵,真空極限高達3.0?10-6Pa;
真空抽速:大氣~5?10-4Pa≤30min(手套箱環境中);
基片臺:最大120mm基片/15~25mmITO/FTO玻璃25片,可定制一體化高精度刻蝕掩膜板,基片臺公轉,轉速0~20r/min可調,襯底可選擇加熱(室溫~300℃可調可控)或水冷,基片臺可選升降,源基距最大350mm;
蒸發源及電源:4~6組歐美技術金屬或有機束源爐蒸發源可選,多元共蒸獲得復合膜/分蒸獲得多層膜,功能強大,性能穩定;真空專業蒸發電源,恒流/恒功率控制,電流、功率可以預先設置,可實現一鍵啟動和停止的自動控制功能;
膜厚監控儀:采用國產或進口膜厚監控儀在線監測和控制蒸發速率、膜厚;
控制方式:PLC+觸摸屏控制系統,具備漏氣自檢與提示、通訊故障,實現一鍵抽停真空。
北京維意真空技術應用有限責任公司
2025-04-27