聲表面波傳感器及其應(yīng)用
聲表面波(SAW)器件由壓電材料、叉指換能器(IDT)和振蕩電路構(gòu)成。SAW器件已經(jīng)廣泛地應(yīng)用于通信、雷達(dá)、電子對(duì)抗、廣播電視等民用和軍用領(lǐng)域中。 由SAW器件可以構(gòu)成的多種傳感器,其原理是器件周?chē)锢砹俊⒒瘜W(xué)量和生物量的變化引起SAW器件振蕩頻率的偏移,通過(guò)檢測(cè)頻率的變化來(lái)監(jiān)測(cè)加速度、溫度、濕度、壓力、剪切、彎曲等參量。 SAW傳感器具有獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)。與常用的半導(dǎo)體氣敏傳感器相比,它不受溫度影響,靈敏度高,穩(wěn)定性好;設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)靈活,對(duì)電、熱、力、聲、光、化學(xué)及生物等多種因
南開(kāi)大學(xué)
2021-04-14