一種激光誘導(dǎo)液滴靶放電產(chǎn)生等離子體的裝置
本發(fā)明提出一種激光誘導(dǎo)液滴錫靶放電產(chǎn)生等離子體極紫外光 源的裝置,包括儲(chǔ)錫池、旋轉(zhuǎn)圓盤、錫液、溫度控制器、阻攔屏、旋 轉(zhuǎn)圓面屏、電極對和激光器等。該裝置通過將旋轉(zhuǎn)圓盤部分浸入液態(tài) 錫中,利用了高速圓周離心力作用產(chǎn)生逃逸的液態(tài)錫,阻攔屏和旋轉(zhuǎn) 圓面屏的阻擋和選通作用,產(chǎn)生周期性的錫液滴,通過電極對,在激 光的作用下產(chǎn)生極紫外光。本裝置通過讓激光作用在的錫液滴而非作 用在電極上的液態(tài)錫膜上,解決了傳統(tǒng)旋轉(zhuǎn)放電圓盤電極液體
華中科技大學(xué)
2021-04-14