一種多自由度光學(xué)測量系統(tǒng)
研發(fā)階段/n本發(fā)明公開了一種多自由度光學(xué)測量系統(tǒng),可應(yīng)用于二維小角度(或微位移)的測量。此種系統(tǒng)包括激光發(fā)射器、誤差敏感單元、光電接收單元以及信號處理單元。誤差敏感單元包括兩個(gè)直角棱鏡(2)、(3);光電接收單元包括光電接收器件(5)和準(zhǔn)直物鏡(4);測量位移時(shí)須把準(zhǔn)直物鏡(4)去掉。光電接收器件(5)置于準(zhǔn)直物鏡(4)的焦平面上,半導(dǎo)體激光器(1)發(fā)出的基準(zhǔn)光束經(jīng)直角棱鏡(3)和直角棱鏡(2)反射后,通過準(zhǔn)直物鏡(4)將其光斑成像在光電接收器件(5)的光敏面上,其中半導(dǎo)體激光器(1)和光電接收單元
湖北工業(yè)大學(xué)
2021-01-12