基于激光誘導(dǎo)的 LED 熒光粉涂覆裝置及方法
本發(fā)明公開了一種基于激光誘導(dǎo)的 LED 熒光粉涂覆裝置及方法,包括激光陣列產(chǎn)生系統(tǒng)、固定件、 三維移動平臺、實時監(jiān)控系統(tǒng)、紫外固化裝置和控制中心,其中:激光陣列產(chǎn)生系統(tǒng),用來產(chǎn)生單束或 多束的激光陣列,且產(chǎn)生的激光陣列照射至透明基板上表面;固定件,用來將透明基板固定于三維移動 平臺上方;三維移動平臺,用來放置 LED 芯片并使 LED 芯片三維移動;實時監(jiān)控系統(tǒng),用來實時監(jiān)控 LED 芯片位置數(shù)據(jù)以及涂覆于 LED 芯片周圍的熒光粉層的形貌和分
武漢大學(xué)
2021-04-14