一種壓電-電磁復(fù)合式振動能量收集器及其制備方法
本發(fā)明提供了一種壓電?電磁復(fù)合式振動能量收集器及其制備方法,該能量收集器包括相互堆疊的襯底和背板;所述襯底經(jīng)刻蝕形成懸臂梁結(jié)構(gòu),其中,所述襯底的下表面形成有凹槽、所述凹槽上方為懸臂梁結(jié)構(gòu),所述凹槽和所述背板形成腔體,所述腔體內(nèi)設(shè)有永磁體;所述懸臂梁結(jié)構(gòu)的上表面設(shè)置有壓電層,在所述襯底上表面的除了所述懸臂梁結(jié)構(gòu)以外的周邊區(qū)域設(shè)置有第一電感線圈層,所述壓電層與所述第一電感線圈層相絕緣;所述背板的下表面設(shè)置有第二電感線圈層。通過本發(fā)明的制備方法所制備的壓電?電磁復(fù)合式振動能量收集器,具有較高的能量收集效率、高的輸出功率和輸出功率密度(W/cm2);改善了能量收集器的可靠性和使用壽命。
東南大學(xué)
2021-04-11