高性能超快激光精密微加工裝備
幾年,隨著消費電子(手機、智能手表等)、生物醫(yī)療需求的快速發(fā)展,尤其是代表下一代柔性移動顯示屏OLED的巨大應用市場驅(qū)動下,超快激光精密微加工產(chǎn)業(yè)在世界范圍內(nèi)迅速增長。與傳統(tǒng)的納秒長脈沖相比,脈寬小于15皮秒的超快激光器用于材料加工時,由于脈沖的持續(xù)時間短于材料的熱弛豫時間,在加工過程中避免熱效應,基本不帶來附加損傷和毛刺,適合于微米乃至納米精度的超精細冷加工。超快激光的瞬間功率極大,幾乎可以和任何材料相互作用,因此適用于超快激光加工的材料范圍幾乎不受限制,尤其有優(yōu)勢的加工對象包括玻璃、藍寶石、陶瓷、太陽能薄膜、半導體晶圓、特種合金、精密醫(yī)療器件等。
南京大學
2021-04-10