一種光學(xué)元件支撐參數(shù)的蒙特卡洛分析方法及系統(tǒng)
本發(fā)明公開(kāi)了一種光學(xué)元件支撐參數(shù)的確定方法,該方法具體為:確定保證面形精度的最少支撐點(diǎn)數(shù)為最優(yōu)支撐點(diǎn)數(shù),并計(jì)算支撐點(diǎn)的理想支撐力;依據(jù)理想支撐力定義多個(gè)不同支撐力波動(dòng)水平,計(jì)算不同支撐力水平下隨機(jī)支撐力引起的鏡片面形變化;統(tǒng)計(jì)并檢驗(yàn)鏡片面形畸變的隨機(jī)分布規(guī)律,建立不同支撐力水平與光學(xué)元件成像質(zhì)量的映射關(guān)系;根據(jù)質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn),確定支撐力的波動(dòng)范圍。本發(fā)明基于蒙特卡洛方法,解析不均勻支撐力作用下鏡片面形畸變的隨機(jī)分布規(guī)律,分析不同隨機(jī)支撐力水平對(duì)光學(xué)元件成像質(zhì)量的影響,從而確定合理的支撐力波動(dòng)范圍,為光
華中科技大學(xué)
2021-04-14