一種五自由度的白光干涉原子力探針位姿調(diào)整機構(gòu)
本發(fā)明公開了一種原子力探針位姿調(diào)整機構(gòu)。包括探針座,調(diào) 節(jié)機構(gòu)和連接頭。其中探針座用于原子力探針的安裝固定;調(diào)節(jié)機構(gòu) 包括由下至上的第一調(diào)節(jié)部件、第二調(diào)節(jié)部件、第三調(diào)節(jié)部件以及第 四調(diào)節(jié)部件,分別用于原子力探針的里外水平偏擺、左右水平和上下 旋轉(zhuǎn)、上下俯仰以及上下豎直位姿調(diào)節(jié);連接頭用于與顯微物鏡相連。 本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)原子力探針姿態(tài)在五個自由度上的細(xì)微調(diào)節(jié),各個調(diào) 節(jié)動作相互獨立,彼此不發(fā)生干涉,互不影響,提高了探針姿態(tài)的調(diào) 節(jié)精度;且能夠?qū)φ{(diào)節(jié)后的位姿進(jìn)行鎖定,使其保持穩(wěn)定。
華中科技大學(xué)
2021-04-14