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“雙一
流
”建設(shè)與教育學一
流
學科建設(shè)高端論壇召開
為加快推進“雙一流”建設(shè),落實立德樹人根本任務(wù),培養(yǎng)一流人才,服務(wù)國家戰(zhàn)略需求,4月9日,“‘雙一流’建設(shè)與教育學一流學科建設(shè)高端論壇”以線上線下相結(jié)合的方式在廈門召開。
中國高等教育學會
2022-04-11
半導體設(shè)備超潔凈
流
控系統(tǒng)及其受制約
流
控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā),攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染,減少曝光缺陷,提升曝光良率,是國產(chǎn)高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn),直接關(guān)乎整機產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場競爭力。此外,作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件,超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷,使我國半導體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統(tǒng)國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng),自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持,聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā),攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù),完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試,為半導體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù),同時自主研發(fā)的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現(xiàn)了產(chǎn)品化,突破了國外技術(shù)的封鎖,為我國半導體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。
浙江大學
2022-07-22
深部沿
空
巷道圍巖“卸讓抗”協(xié)同控制關(guān)鍵技術(shù)
針對深部沿空巷道圍巖變形嚴重、控制困難問題,在深入揭示實體煤幫變形能驅(qū)動失穩(wěn)力學機理基礎(chǔ)上,提出了“巷旁-煤幫-頂板”系統(tǒng)失穩(wěn)的能量判據(jù),特別是從理論和技術(shù)層面解答了實體煤幫卸壓與加固的矛盾問題,發(fā)明了與三種典型圍巖類型相適應(yīng)的巷旁支護技術(shù)與支護設(shè)計方法,形成了深部沿空巷道圍巖“卸讓抗”協(xié)同控制關(guān)鍵技術(shù)。經(jīng)20多個多個煤礦推廣應(yīng)用實踐表明,該項技術(shù)成果具有針對性強、實用性強、安全可靠。中國煤炭工業(yè)協(xié)會組織專家委員會鑒定認為,該項成果鑒定達到國際領(lǐng)先水平。
山東科技大學
2021-04-22
液化天然氣
空
溫式氣化器增效消霧系統(tǒng)
本成果的思路方案:合理耦合太陽能熱泵、液化天然氣預(yù)熱設(shè)備和空溫式氣化器,改變氣化所用空氣的溫度和濕度,創(chuàng)造穩(wěn)定適宜的液化天然氣氣化微環(huán)境;并利用強制通風和合理的氣流組織,提升空溫式氣化器空氣側(cè)的傳熱傳質(zhì)系數(shù)。從本質(zhì)出發(fā),解決傳統(tǒng)空溫式氣化器堆霜結(jié)冰和成霧的問題。 解決問題: 空溫式氣化器是氣化液化天然氣的主要氣化設(shè)備,利用空氣能,節(jié)能環(huán)保,但是,液化天然氣(-161℃)的低溫特性造成空溫式氣化器外表面堆霜結(jié)冰嚴重,導致氣化器氣化性能嚴重惡化,需要額外配置備用空溫式氣化器定期切換及輔助水浴式氣化器進一步升溫。同時,空溫式氣化器周圍易形成霧區(qū),影響氣化區(qū)的操作安全。本成果可有效緩解空溫式氣化器堆霜結(jié)冰現(xiàn)象,并消除霧區(qū)。 創(chuàng)新點: 1、節(jié)能有效地營造不易結(jié)霜和成霧的氣化微環(huán)境; 2、利用太陽能熱泵和風機,使空溫式氣化器增效; 3、合理靈活控制,與傳統(tǒng)空溫式氣化相比,減少占地面積,降低氣化成本。 領(lǐng)先性: 國內(nèi)外尚未見相關(guān)技術(shù)及報導,處于領(lǐng)先地位
華北電力大學
2022-07-07
高速離心泵進口
空
化抑制機理的研究及應(yīng)用
針對高速離 心泵內(nèi)流速高, 進口段容易引起回流璇渦、葉輪中存在二
西華大學
2021-04-14
2621
J
30021不銹鋼蒸餾水器
產(chǎn)品詳細介紹3L/h,5L/h,10L/h,20L/h
浙江嘉興鳳橋電熱器廠
2021-08-23
J
12007數(shù)字計時器(智能型)
產(chǎn)品詳細介紹 J12007數(shù)字計時器(智能型) 計數(shù)范圍:0~65535 計時范圍:0.0ms~65.535s 速度范圍:0.ms~65.535/s 加速速度范圍::0.ms~65.535s2 周期:0.0s/65.535s 外型尺寸:23x21x10cm 裝箱數(shù):14/箱 包裝尺寸:83x53x31cm 電源:220V±10% 50Hz
慈溪市華徐衡器實業(yè)有限公司
2021-08-23
j
2422三項感應(yīng)電動機
寧波浪力儀器有限公司(余姚市朗海科教儀器廠)
2021-08-23
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2021-08-23
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溫州市育人教儀制造有限公司
2021-08-23
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