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“雙一流”建設(shè)與教育學(xué)一流學(xué)科建設(shè)高端論壇召開
為加快推進(jìn)“雙一流”建設(shè)，落實立德樹人根本任務(wù)，培養(yǎng)一流人才，服務(wù)國家戰(zhàn)略需求，4月9日，“‘雙一流’建設(shè)與教育學(xué)一流學(xué)科建設(shè)高端論壇”以線上線下相結(jié)合的方式在廈門召開。
中國高等教育學(xué)會
2022-04-11
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半導(dǎo)體設(shè)備超潔凈流控系統(tǒng)及其受制約流控零部件
浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)
一、項目分類
關(guān)鍵核心技術(shù)突破
二、技術(shù)分析
如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險。浙江大學(xué)流體動力與機(jī)電系統(tǒng)國家重點實驗室啟爾團(tuán)隊所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺核心超潔凈流控零部件實現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術(shù)的封鎖，為我國半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。
浙江大學(xué)
2022-07-22
酸性烤藍(lán)工藝制備高飽和磁通密度軟磁復(fù)合材料的方法
本發(fā)明公開了一種酸性烤藍(lán)工藝制備高飽和磁通密度軟磁復(fù)合材料的方法。采用酸性烤藍(lán)工藝在軟磁合金粉末表面包覆由尺寸均勻的納米Fe3O4形成的包覆層，經(jīng)粘結(jié)、壓制成型、熱處理工藝，制備新型的軟磁復(fù)合材料。本發(fā)明的優(yōu)點是：采用酸性烤藍(lán)工藝制備Fe3O4方法簡單，并且容易控制Fe3O4層的厚度, 由于該反應(yīng)是原位反應(yīng)，因此制備的絕緣層致密，與磁粉的結(jié)合度高。與傳統(tǒng)的軟磁復(fù)合材料相比，由于絕緣層為亞鐵磁性的Fe3O4，有效減少了磁稀釋現(xiàn)象，從而可以得到具有高飽和磁通密度、高磁導(dǎo)率的軟磁復(fù)合材料。
浙江大學(xué)
2021-04-11
堿性烤藍(lán)工藝制備高飽和磁通密度軟磁復(fù)合材料的方法
本發(fā)明公開了一種堿性烤藍(lán)工藝制備高飽和磁通密度軟磁復(fù)合材料的方法。采用堿性烤藍(lán)工藝使磁粉表面氧化生成一層均勻的Fe3O4的絕緣層，然后經(jīng)粘結(jié)、壓制成型、熱處理工藝，制備新型軟磁復(fù)合材料。本發(fā)明的優(yōu)點是：采用堿性烤藍(lán)工藝制備的Fe3O4是在軟磁粉末的表面原位生長，因此絕緣包覆層與磁粉之間結(jié)合度高，并且包覆均勻致密；由于Fe3O4具有較高的電阻率，因此具有較好的絕緣效果；另一方面，用亞鐵磁性的Fe3O4作為絕緣包覆劑，克服了傳統(tǒng)非磁性物質(zhì)作為包覆劑的磁稀釋現(xiàn)象，可以獲得更高的磁導(dǎo)率及磁通密度；堿性烤藍(lán)工藝操作簡單，成本較低，有利于實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)。
浙江大學(xué)
2021-04-11
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一種基于缺陷磁泄漏域反向場的漏磁檢測方法與裝置
本發(fā)明公開了一種基于磁真空泄漏原理的漏磁檢測方法及其裝置。該方法為①將待檢測導(dǎo)磁構(gòu)件磁化；②在上述被磁化的導(dǎo)磁構(gòu)件外圍，剔除已有背景磁場，形成磁真空區(qū)域；③采用磁敏元件布置于磁真空區(qū)域，拾取無磁壓縮效應(yīng)的缺陷漏磁場并轉(zhuǎn)化為電壓信號，如果電壓信號中存在突變，則說明待檢測導(dǎo)磁構(gòu)件中存在缺陷，否則無缺陷。裝置采用穿過式線圈對被檢測導(dǎo)磁構(gòu)件實施局部磁化，以便激發(fā)出該磁化區(qū)域內(nèi)導(dǎo)磁構(gòu)件上缺陷的漏磁場；在其內(nèi)腔布置永磁體對，產(chǎn)生反向磁場與原背景磁場疊加抵消，形成磁真空區(qū)域以供缺陷的漏磁場泄漏擴(kuò)散進(jìn)來，同時消除由
華中科技大學(xué)
2021-04-14
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新型磁致伸縮材料與應(yīng)用
一、 項目簡介磁致伸縮材料具有磁致伸縮大、能量密度高、響應(yīng)速度快等特點，在功率換能器、精密控制系統(tǒng)、傳感器等方面得到廣泛應(yīng)用。針對磁致伸縮材料存在的制備工藝復(fù)雜、難于制備復(fù)雜形狀及高頻特性差等問題，提出一種方法來制備磁致伸縮材料。應(yīng)用制備的材料研制了換能器與傳感器等，在企業(yè)和大專院校得到應(yīng)用。二、 項目技術(shù)成熟程度已完成實驗工作，進(jìn)入中試階段，部分產(chǎn)品得到應(yīng)用。三、 技術(shù)指標(biāo)取向Tb-Dy-Fe合金樣品在40 kA/m磁場下的磁致伸縮為1000×10-6。粘結(jié)Sm-Dy-Fe合金樣品在低磁場下具有較高的磁致伸縮數(shù)值，當(dāng)磁場為100 kA/m時,磁致伸縮可達(dá)265×10-6。Fe-Ga合金樣品在10 kA/m磁場下的磁致伸縮為260×10-6。獲得實用新型專利，已申報發(fā)明專利。四、 市場前景材料在功率換能器、精密控制系統(tǒng)、有源消振及傳感器等方面得到廣泛應(yīng)用，市場前景廣闊。五、 規(guī)模與投資需求根據(jù)生產(chǎn)規(guī)模確定。六、 生產(chǎn)設(shè)備真空熔煉爐、模具、壓機(jī)等。七、 效益分析按每年生產(chǎn)4噸計算，可獲利約1500-2000萬，八、 合作方式面談。九、 項目具體聯(lián)系人及聯(lián)系方式王博文， 翁玲： 電話：022-60204363；E-mail: [email protected]
河北工業(yè)大學(xué)
2021-04-11
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磁致伸縮導(dǎo)波檢測儀
本項目綜合運用理論分析、數(shù)值仿真和實驗研究等方法，研制了基于磁致伸縮效應(yīng)的超聲導(dǎo)波檢測儀。該儀器集成度高，耗電少，可便攜，方便于現(xiàn)場檢測；傳感器可根據(jù)檢測結(jié)構(gòu)和檢測需求，該超聲 導(dǎo)波檢測儀可以根據(jù)檢測需要，更換不同結(jié)構(gòu)的傳感器，用于不同結(jié)構(gòu)的超聲導(dǎo)波檢測。可檢結(jié)構(gòu)包括 管道、板和桿等。該儀器檢測的先進(jìn)性包括：檢測信號可調(diào)；超聲導(dǎo)波模態(tài)可選；傳感器可安裝在某點， 對數(shù)米或數(shù)十米的結(jié)構(gòu)進(jìn)行檢測；檢測全面、效率高。該磁致伸縮導(dǎo)波檢測儀的軟硬件系統(tǒng)完全自主開發(fā)， 獲批多項國家發(fā)明專利、實用新型專利和軟件著作權(quán)，擁有完全核心知識產(chǎn)權(quán)，總體技術(shù)達(dá)到國際水平， 處于國內(nèi)領(lǐng)先水平。
北京工業(yè)大學(xué)
2021-04-13
磁通約束型超導(dǎo)限流開關(guān)
小試階段/n短路電流過大已經(jīng)成為制約現(xiàn)代電力系統(tǒng)發(fā)展的技術(shù)瓶頸之一。有效限制短路電流不僅可解決電力系統(tǒng)短路容量超標(biāo)問題，而且還可能大大降低電網(wǎng)中各種電氣設(shè)備如變壓器、斷路器等的設(shè)計容量標(biāo)準(zhǔn)。本成果基于超導(dǎo)線圈失超與電感解耦，可有效限制故障短路電流，采用超導(dǎo)材料提高線圈耦合度、降低穩(wěn)態(tài)阻抗，且利于設(shè)備小型化。該成果適用于交直流電力系統(tǒng)，限流率可達(dá)到50%，響應(yīng)時間在毫秒級，能靈活配合系統(tǒng)的重合閘，具有自穩(wěn)定與自保護(hù)能力
華中科技大學(xué)
2021-01-12
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稀土變磁通電機(jī)及其控制
? 成果簡介：為了克服直流電機(jī)及斬波控制系統(tǒng)效率低、體積與重量大、電機(jī)換向極需要頻繁維護(hù)、難于有效實現(xiàn)電動車輛再生制動以及交流電機(jī)及控制器低速大轉(zhuǎn)矩穩(wěn)定特性較差以及一般永磁直流電機(jī)斬波控制系統(tǒng)不能滿足電動車輛大扭矩需求的缺點，發(fā)明了一種全新的牽引電機(jī)自動控制模式，設(shè)計出稀土變磁通電機(jī)及驅(qū)動系統(tǒng)。將驅(qū)動電機(jī)的增磁繞組接到永磁電機(jī)的續(xù)流回路中，使得該電機(jī)及其控制器既有稀土永磁電機(jī)的高效和高功率密度的優(yōu)點，又具備直流串激牽引電機(jī)低速大扭矩的特性，并具有比串激直流電機(jī)更優(yōu)良的自動弱磁性
北京理工大學(xué)
2021-01-12
脈磁沖焊接技術(shù)及裝備
北京工業(yè)大學(xué)
2021-04-14