绱嶇背閲戝墰鐭�鑶�娑傚堡鍙婂伐妤噳鐢�
绱嶇背閲戝墰鐭崇殑閲戝墰鐭虫櫠绮掑昂瀵稿湪100nm浠ヤ笅, 琛ㄩ潰妤靛叾鍏夋粦骞虫暣, 鎽╂摝绯绘暩妤典綆(鍙皬浜�0.05), 鍥犳鏄崄鍒嗙悊鎯崇殑宸ュ叿(妯″叿)娑傚堡鍜屽厜瀛告秱灞ゆ潗鏂�, 鍚屾檪鍦∕EMs (寰闆荤郴绲�)鍜岄珮鎬ц兘澶у睆骞�(鍫寸櫦灏�)椤ず鎶€琛撶瓑闋樺煙涔熸湁闈炲父濂界殑鎳夌敤鍓嶆櫙銆� 鏈爡鐩祫閲囩敤寰尝绛夐洟瀛愰珨CVD鍜� DC Arc Plasma Jet CVD鍏╃ó宸ヨ棟鏂规硶, 鍦ㄧ幓鐠�, 纭�, 閴拰纭唱鍚堥噾绛夎ク搴曟潗鏂欎笂鎴愬姛鍒跺倷浜嗙磵绫抽噾鍓涚煶鑶�銆� 鍦ㄧ幓鐠冭ク搴曚笂鍒跺倷鐨勭磵绫抽噾鍓涚煶鑶滄櫠绮掑钩鍧囧昂瀵稿皬浜�100 nm, 琛ㄩ潰绮楃硻搴﹀皬浜嶳a 5nm, 閲囩敤绱嶇背鍔涘鎺㈤嚌娓噺鐨勯’寰‖搴﹂珮閬�8000kg/mm2, 鍦ㄥ彲瑕嬪強杩戠磪澶栧崁鍩熷叿鏈夐潪甯稿ソ鐨勯€忛亷鐗规€�, 绱鍠囨浖鍏夎瓬(鍦ㄦ柊鍔犲潯鍦嬬珛鍗楁磱鐞嗗伐澶у娓│)椤ず钖勮啘骞句箮鐐虹磾鍑堢殑閲戝墰鐭崇磵绫虫櫠绮掔祫鎴�銆傚湪鍏跺畠瑗簳涓婄殑绱嶇背閲戝墰鐭宠啘鐨勭祫绻旂祼妲嬪拰鎬ц兘娓│姝e湪閫茶涔嬩腑銆� 绱嶇背閲戝墰鐭宠啘娑傚堡纭唱鍚堥噾宸ュ叿: 鍏朵腑鏈€鏈夊墠鏅殑鏄磵绫抽噾鍓涚煶鑶滄秱灞ょ‖璩悎閲戝井鍨嬮墕闋�; 绱嶇背閲戝墰鐭宠啘娑傚堡鍏夊鎳夌敤: 鍖呮嫭璜稿鈥濇案涓嶇(鎼嶉墕鐭虫秱灞ょ幓鐠冭〃娈尖€濆拰鈥濇案涓嶇(鎼嶉墕鐭虫秱灞ょ幓鐠冪溂閺$墖鈥�, 鍙奪nS, Ge, Si绛夐噸瑕佺磪澶栬粛浜嬪厜瀛告潗鏂欑殑鎶�(闆ㄦ淮銆佹矙绮�)娌栧埛娑傚堡; 寰闆荤郴绲�(MEMs)鐨勫井姗熸妲嬩欢: 濡傚井鍨嬮綊杓�, 杌�, 杌告壙绛�; 楂樻€ц兘澶у睆骞曢’绀哄櫒浠�
鍖椾含绉戞妧澶у
2021-04-11