硅諧振微傳感器頻率特性測試儀
該儀器主要用于測量諧振微傳感器(也適用于所有諧振式傳感器)的動力學特性:諧振頻率,微振幅,品質因數、幅頻特性、相頻特性等;它也是實現閉環自激系統以及研制和開發各種諧振式微傳感器,如微加速度計和微陀螺等不可缺少的測試設備;本儀器的若干新技術也可直接應用于其他需要進行微弱信號檢測和處理的場合。適用于從事自動化、測控技術、傳感器、儀器儀表等科研院所、企業和高等院校的科研和教學方面的應用。測試儀的創新點為:綜合應用了多項新技術,研制過程中發展了弱信號相關檢測技術,超低頻、低噪聲恒流源技術。
北京航空航天大學
2021-04-13