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硅
光子平臺開發
已有樣品/n成功開發了系列硅光子流片工藝模塊和初版PDK,其中標準單元庫主要包括單模波導、Y-分支、光交叉器、耦合光柵等無源器件,而最近有源工藝的成功開發,將向標準單元庫中添加加熱電極、調制器和Ge 光電探測器等有源器件。此次有源器件流片的成功,加上先導中心2016年上半年開發成功的硅光子無源工藝及器件(圖3),使微電子所硅光子平臺已具有為業界提供基于180nm工藝的硅光子流片服務的能力,成為國內首個基于8英寸CMOS工藝線向用戶
中國科學院大學
2021-01-12
硅
基
懸臂梁T型結間接加熱式未知頻率毫米波相位檢測器
本發明的硅基懸臂梁T型結間接加熱式未知頻率毫米波相位檢測器,實現結構主要由懸臂梁耦合結構、T型結和間接加熱式微波功率傳感器和開關構成。懸臂梁耦合結構包括兩組懸臂梁,每組懸臂梁由兩個對稱的懸臂梁構成兩個懸臂梁之間CPW傳輸線的電長度在所測信號頻率范圍內的中心頻率35GHz處為λ/4。為實現未知頻率毫米波相位的檢測,首先對待測信號的頻率進行檢測。頻率檢測通過測量兩路在所測信號頻率范圍內的中心頻率35GHz處相位差為90度的耦合信號的合成功率實現;相位檢測通過將兩路在中心頻率35GHz處相位差為90度的耦
東南大學
2021-04-14
硅
基
懸臂梁T型結直接加熱式未知頻率毫米波相位檢測器
本發明的硅基懸臂梁T型結直接加熱式未知頻率毫米波相位檢測器,其實現結構主要包括懸臂梁耦合結構、T型結和直接加熱式微波功率傳感器和開關。懸臂梁耦合結構包括兩組懸臂梁,每組懸臂梁由兩個對稱的懸臂梁構成,兩個懸臂梁之間CPW傳輸線的電長度在所測信號頻率范圍內的中心頻率35GHz處為λ/4。為實現未知頻率毫米波相位的檢測,首先對待測信號的頻率進行檢測。頻率檢測通過利用直接加熱式微波功率傳感器測量兩路在所測信號頻率范圍內的中心頻率35GHz處相位差為90度的耦合信號的合成功率實現;相位檢測通過將兩路相位差為9
東南大學
2021-04-14
基于
硅
基
懸臂梁T型結直接加熱在線式毫米波相位檢測器
本發明的基于硅基懸臂梁T型結直接加熱在線式毫米波相位檢測器,主要由懸臂梁耦合結構、T型結和直接加熱式微波功率傳感器構成。懸臂梁耦合結構中,兩個懸臂梁在CPW中央信號線上方,結構相同,用于耦合部分待測信號,通過錨區與T型結相連,兩個懸臂梁之間CPW傳輸線的電長度為λ/8。懸臂梁下方的CPW中央信號線上覆蓋了一層Si3N4介電層,用于防止電學短路。參考信號通過T型結分成兩路信號,分別與兩路懸臂梁耦合的信號通過T型結合成,T型結的輸出端連接到直接加熱式微波功率傳感器進行功率檢測。最后根據兩個直接加熱式微波
東南大學
2021-04-14
基于
硅
基
懸臂梁T型結間接加熱在線式毫米波相位檢測器
本發明的基于硅基懸臂梁T型結間接加熱在線式毫米波相位檢測器,主要由懸臂梁耦合結構、T型結和間接加熱式微波功率傳感器構成。懸臂梁耦合結構中,兩個懸臂梁在CPW中央信號線上方,結構相同,用于耦合部分待測信號,通過錨區與T型結相連,兩個懸臂梁之間CPW傳輸線的電長度為λ/8。懸臂梁下方的CPW中央信號線上覆蓋了一層Si3N4介電層,用于防止電學短路。參考信號通過T型結分成兩路信號,分別與兩路懸臂梁耦合的信號通過T型結合成,T型結的輸出端連接到間接加熱式微波功率傳感器進行功率檢測。最后根據兩個間接加熱式微波
東南大學
2021-04-14
基于
硅
基
微機械懸臂梁T型結直接加熱式毫米波信號檢測器
本發明的基于硅基微機械懸臂梁T型結直接加熱式毫米波信號檢測器,由懸臂梁耦合結構、T型結、直接加熱式微波功率傳感器和開關構成。懸臂梁耦合結構包括兩組懸臂梁,每組懸臂梁由兩個對稱的懸臂梁構成,兩個懸臂梁之間CPW傳輸線的電長度在所測信號頻率范圍內的中心頻率35GHz處為λ/4。功率通過第一直接加熱式微波功率傳感器進行檢測;頻率檢測通過利用直接加熱式微波功率傳感器測量兩路在中心頻率處相位差為90度的耦合信號的合成功率實現;相位檢測通過將兩路在中心頻率處相位差為90度的耦合信號,分別同兩路等分后的參考信號合
東南大學
2021-04-14
氮化
鎵高壓電力電子器件
已有樣品/n基于AlGaN/GaN異質結材料體系,通過采用導電機制融合和能帶分區調控的先進技術路線改變傳統氮化鎵肖特基二極管正向電壓與反向電流等參數之間的經典調控規律,采用無損傷工藝,提升了器件的均勻性和可靠性,進一步提升了氮化鎵肖特基二極管的性能。測試結果達到1700V反向耐壓,正向開啟電壓達到0.38V以及高防浪涌能力,為肖特基二極管器件市場提供了一種新選擇。
中國科學院大學
2021-01-12
氮化
硅超細粉流態化制備技術
氮化硅陶瓷是一種耐高溫耐磨材料,廣泛用于冶金、化工、能源等領域,氮化硅粉是制備氮化硅的原材料。實驗室提出了一種流態化直接氮化制備超細粉方法,可低成本生產晶相和非晶相氮化硅粉。
北京科技大學
2021-04-13
中硼
硅
玻璃安瓿
主要生產藥用玻管、中性硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅管制口服液體瓶等產品。現擁有14條國際先進的拉管生產線,70余臺國際先進的制瓶機,年產各類安瓿/管制瓶32億支,藥用玻管(精品7.0)30000噸。
山東力諾特種玻璃股份有限公司
2021-08-27
低硼
硅
玻璃安瓿
主要生產藥用玻管、中性硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅管制口服液體瓶等產品。現擁有14條國際先進的拉管生產線,70余臺國際先進的制瓶機,年產各類安瓿/管制瓶32億支,藥用玻管(精品7.0)30000噸。
山東力諾特種玻璃股份有限公司
2021-08-27
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