一種石墨烯微型流量傳感器
本實(shí)用新型公開了一種石墨烯微型流量傳感器,屬于 MEMS 器件,用于氣流流量測量,解決現(xiàn)有流量傳感器功耗大、襯底存在熱傳導(dǎo)、響應(yīng)時(shí)間長的問題。本實(shí)用新型之石墨烯微型流量傳感器,襯底上具有凹槽,凹槽上架有隔熱層,隔熱層上濺射有加熱體,加熱體的兩端濺射有電極。本實(shí)用新型的另一種微型流量傳感器,襯底上具有凹槽,凹槽上架有隔熱層,隔熱層上覆蓋有絕緣層,絕緣層上濺射有加熱體,加熱體的兩端濺射有金屬電極。本實(shí)用新型體積小、重量輕而且性能穩(wěn)定,能有效降低襯底傳熱導(dǎo)致的測量誤差,通過測量通入氣體前后加熱體的電阻差值
華中科技大學(xué)
2021-04-14